1. Tölvunan getur vacuum-sugnað á ferningsskjal af stærð 5 "x5" með engum sérstökum kröfum um þrafaskrá sem fer frá 1 upp í 3mm.
2. Tölvan er hentimleg fyrir rúmfræðileg skjöl af stærð ф 100mm;
3. Skjalþraftur ≤ 5mm;
4. Bjargun:
Bjargaratri: Notuð er GCQ350Z ultra-hátrykk mercury lámpi með beinum straumis mercury ljósi.
Bjargunarummörk: ≤ ф 117mm Bjargunar svæði: ф 100mm
innan ummörks ф 100mm, er ójafnaði bjargunar ≤ ± 3%, og bjargunarstyrkur er>6mw/cm2 (þessi mál er metið með UV bjargaratri I-línu 365nm).
5. Þessi tól notar innflutti tímaferli til að stjórna luftskjöldum, með vist sem tryggja nákvæm og fullyrðan virkni.
6. Þetta vél er bjargaframleiðsla sem getur náð:
7. Hárður bjargaframleit: Notað er pipalín-vacuum til að ná hágæfu vacuum-framleit, vacuum ≤ -0.05MPa
8. Láger fletið: Fletiprýðið getur hækkað vacuum að milli -0,02MPa og -0,05MPa.
9. Smár fletið: minna en láger fletið, vacuum ≥ -0,02MPa.
10. Birtir greinargerð: Greinargerð lágerflets þessa tækja getur náð 1 μm eða meira (nákvæmni notenda "plata" og "chip" verður að samanstöðu við ríkisstofnunareglur, og umhverfi, hiti, fukni og stjörnu geta verið strengt kynnt. Notuð er innfluttið jákvætt ljósþolustofu, og þykkt líkanljósþolustofu getur verið strengt kynnt. Í lagi eru einnig fremstu fyrirferðir).
11. Jafna: Sýnarkerfið består af tveimur CCD myndavélum, sem eru settar á tvær enni ennsku mikroskop og tengdar skjásskjali í gegnum myndsímanál.