MDXN-25X High Precision Einhliða Lithography Machine, Kína MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

Þessi búnaður er nákvæmni steinþrykk vél þróuð af fyrirtækinu okkar sérstaklega fyrir notkunareiginleika steinþrykkja véla í ýmsum framhaldsskólum og rannsóknarstofnunum. Það er aðallega notað til þróunar og framleiðslu á litlum og meðalstórum samþættum hringrásum, hálfleiðaraíhlutum, sjónrænum tækjum og yfirborðshljóðbylgjubúnaði.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine verksmiðja

Specification

Helstu tæknilegar breytur

1. Tækið getur lofttæmi aðsogað 5 "X5" fermetra grímu, án sérstakra krafna um þykkt plötunnar (á bilinu 1 til 3 mm).
2. Hægt er að setja tækið á ф 100mm hringlaga undirlag;
3. Þykkt undirlags ≤ 5mm;
4. Lýsing:
Ljósgjafi: GCQ350Z ofurháþrýstingur kvikasilfursjafnstraums kvikasilfurslampi er notaður.
Ljósasvið: ≤ ф 117mm Lýsingarsvæði: ф 100mm
dvöl ф Innan 100 mm bils er ójafnvægi lýsingar ≤ ± 3% og lýsingarstyrkur >6mw/cm2 (þessi vísir er mældur með UV ljósgjafa I-line 365nm).
5. Þetta tæki samþykkir innflutt tímagengi til að stjórna pneumatic lokaranum, sem tryggir nákvæma og áreiðanlega notkun.
6. Þessi vél er snertiútsetningarvél sem getur náð:
7. Harðar snertingar: Notaðu lofttæmi í leiðslu til að fá mikla lofttæmissnertingu, lofttæmi ≤ -0.05MPa
8. Mjúk snertiáhrif: Snertiþrýstingurinn getur hækkað lofttæmið í milli -0.02MPa og -0.05MPa.
9. Örsnerting: minna en mjúk snerting, lofttæmi ≥ -0.02MPa.
10. Lýsingarupplausn: Upplausn við harða snertingu þessa tækis getur náð 1 μ yfir m (nákvæmni "plötu" og "flís" notandans verður að vera í samræmi við landsreglur og umhverfið, hitastig, raki og ryk geta vera strangt stjórnað Innflutt jákvæð photoresist er notað, og þykkt samræmdu photoresist er hægt að stranglega stjórna að framan og aftan ferli.
11. Jöfnun: Athugunarkerfið samanstendur af tveimur CCD myndavélum sem eru festar á tvær smárör smásjár og tengdar við skjáinn í gegnum myndbandssnúru.

Pökkun og afhending