1. Nýtingarvottorð fyrir tæki: Virkjanaflokkur: 220V, 50HZ, nýting≤1.5KW;
2. Með fylgiskotavél með virkjanaflokka 220V;
3. Stærð og vætt: Stærð:1200(lengd)×720(breidd)×1500(hæð). Vætt ≤170kg;
4. Setja vélin á sérstaka verkborð;
5. Skemmtunartegund: skemmtunar tegund, plátta stilling, tvíhiðra skemmtun;
6. Skemmtunarvöld:φ100mm;
7. Ojákvæð skemmtun: ≤±3%;
8. Skemmtunarstyrkur: ≥5mw/cm2;
9.Afsláninguprósésstærð: 2μm;
10.Afsláningarmóður: Tveggja hliða samanafram afsláning;
11.Jafnaðarrás: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Grifastæðu nákvæmni: 2μm;
13.Snúningarrás: Q-átt snúningur stjórnmál≤±5°;
14.Mikroskópkerfi: tvíundar sjónargervi CCD kerfi, hlutdrætti lass 1.6X~10X, tölvu myndvinnslu kerfi, 19"LCD skjár;
15.Máskustærð: Nákvæm að draga með vafrasugunni