1.Orka sem þarf fyrir búnað: Aflgjafi fyrir aðalramma: 220V, 50HZ, orkunotkun≤1.5KW;
2.Útbúin með tómarúmdælu með aflgjafa 220V;
3.Stærð og þyngd: Stærð: 1200(lengd)×720(breidd)×1500(há). Þyngd ≤170 kg;
4. Settu vélarhlutann á sérstakan vinnubekk;
5.Lýsingargerð: snertitegund, plöturöðun, tvíhliða útsetning;
6.Lýsingarsvæði:φ100mm;
7.Ójöfn útsetning: ≤±3%;
8. Útsetningarstyrkur: ≥5mw/cm2;
9.Lýsingarupplausn: 2μm;
10.Lýsingarstilling: Tvíhliða samtímis lýsing;
11.Jöfnunarsvið: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Engraving nákvæmni: 2μm;
13. Snúningssvið: Q-átt snúningsstilling ≤±5°;
14. Örsjárkerfi: tvöfalt sjónsvið CCD kerfi, hlutlinsa 1.6X~10X, tölvumyndvinnslukerfi, 19" LCD skjár;
15. Grímustærð: Getur um lofttæmi aðsog