1. Vísbendingartegund: sambandsvísbending, plötulagning, tvíhliðin vísbending en eingin.
2. Kenningarvöruð: 110X110mm;
3. Jafnvægi kenningar: ≥ 97%;
4. Styrkur kenningar: 0-30mw/cm2 justanlegur;
5. UV straumshorn: ≤ 3 °
6. Miðlengd UV líkis: 365nm;
7. Lífshænni UV lýsingar: ≥ 20000 klukkustundir;;
8. Vinnumyndhiti: ≤ 30 ℃
9. Notandí af elektrónskjota;
10. Skýring aukin: 1 μ M (aukinn þvermál er um 10 sinnum stærri en línu breidd)
11. Aukin stilling: Tveggja hliða samanauki
12. Jafnvægi skíra: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Nákvæmni jafnvægis plötta: 2 μ m
14. Snúningur: Snúningur í Q-átt ≤ ± 5 °
15. Lítill sýnarskipulag: tvö sýnargildi CCD-skipulags, liti 1.6X~10X, tölvu myndarvinnsluskipulag, 19 "LCD skjár; Heildarstækking 91-570x
16. Stærð máls: Getur tekið við 5" ferningsmál með vakuum, engar sérstök kröfur fyrir þickeð máls (frá 1 upp í 3mm).
17. Stærð grunnþoka: Passar fyrir 4" grunnþokur, með þickeð grunnþokanna frá 0.1 upp í 2mm.
18. Við pöntun eru engar sérstök kröfur, og 5" X5 rúm er venjulegt; hægt að sjálfgefa rúm fyrir neðan 5" X5: