PECVD Plasmarannsóknareinkunn viðhverfandi vöktunarferli höfuðrétt , China PECVD Plasmarannsóknareinkunn viðhverfandi vöktunarferli höfuðrétt Manufacturers, Suppliers, Factory

Vöruskýring

PECVD efnafræðilegt gufuafsetningarbúnaður með aukinni plasmavirkni

◆ Algjör sjálfvirk stjórnun á vinnslu tíma, hitastig, gasflæði, vallarvirkni og viðbragðshólf þrýstingur er gerð með
Vinnuvél.
◆ Notuð er innfluttið þrýsturkerfi og lokað kerfi með hári stöðugleiki.
◆ Notuð eru innflutt frosnarfastanleg stainless steel leitir og hlotar til að varga gæði luftkerfisins.
◆ Hann hefur fullkomið viðvirkunarfall og tryggja tengslatæki.
◆ Hann hefur yfirheppuð hættilegt hitastig viðvirkun og undirstig viðvirkun, MFC viðvirkun, viðskiptakambarþrýstur viðvirkun, RF viðvirkun, lág þrýstur af þverstrikluftar viðvirkun, lág N2 þrýstur viðvirkun, og lág kólna vatnsfær viðvirkun.
◆ Það PECVD sem nú er, hefur vöruð breytt til að hafa fall til að fyrirtaka SiO2 pláta, sem úthlutar PID vandamáli í reiknistofu. SiNxOy pláta getur verið framleidd (bakviðgerð ferli), sem getur mikilvís bætt umsetningareffiði reiknisins.

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

tegund

◆ Fjöldi hlaðna: 384 hlutir/skipu (125 * 125); 336 hlutir/skipu (156 * 156)
◆ Hreintækni rannsóknartöflunnar: Flokkur 100 (Flokkur 10000 vistfang)
◆ Áhersluleiki: sjálfvirkt stjórnun á hiti og ferli.
◆ Skífa sendingar- og taka árgerð: þyngistur af gerð, með stöðugum og fullyrtækum einkenni, án krúkunar, nákvæm staðsetning, mikil bæ取承 kyssandi og langt notkunartíma.

Stafrænir

Hæsta hlaða per rúm	384 hlutir/bátur (125125) 336 hlutir/bátur (156156)
Vinnuvísitala	± 3% í töflum, ± 3% milli töfla, ± 3% milli flocka
Vinnuhitastig	200~500℃
Nákvæmni og lengd hitnahóps (stillað lokað rúm próf)	1200mm±1℃
Nákvæmni loftafla	±1%FS
Gæði af luftslöðu kerfis	1×10-7Pa.m³/S
eftirlit	Fullt innfluttið sjálfvirk tryggjað stýringarkerfi, nákvæm stjórnun yfir reaktionsþyngd; 40KHz háþrýstingarvirkni virkjun; Skipaður blöndunarlendingur; Fullt tölulegt stýring, fullkomið og öruggt ferli stýring aðgerð.
1 rør, 2 rör, 3 rör og 4 rör eru val possibility; Sjálfvirk hlaðari er valkostur, og efnisþátta gagnastærð og ferli gagnastærð getur verið jafngild því bestu heimsins eins sambærilegri tengibank.