PECVD Plasma aukinn efnagufuútfellingarbúnaður / Háhita PECVD ferli, Kína PECVD Plasma aukinn efna gufuútfellingarbúnaður / Háhita PECVD ferli Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

PECVD Plasmabættur efnagufuútfellingarbúnaður

◆ Alveg sjálfvirk stjórn á vinnslutíma, hitastigi, gasflæði, ventilvirkni og viðbragðshólfsþrýstingi er að veruleika með
iðnaðar tölva.
◆ Innflutt þrýstingsstýringarkerfi og lokað lykkjakerfi eru samþykkt, með miklum stöðugleika.
◆ Innfluttir tæringarþolnir ryðfríu stáli píputengi og lokar eru notaðir til að tryggja loftþéttleika gasrásarinnar.
◆ Það hefur fullkomna viðvörunaraðgerð og öryggislásbúnað.
◆ Það er með ofurháhitaviðvörun og undirhitaviðvörun, MFC viðvörun, viðvörunarhólfsþrýstingsviðvörun, RF viðvörun, viðvörun um lágan þjappað loftþrýsting, viðvörun um lágan N2 þrýsting og viðvörun um lágt kælivatnsflæði.
◆ Núverandi PECVD hefur það hlutverk að vaxa SiO2 filmu eftir uppfærslu, sem leysir PID vandamál rafhlöðueiningarinnar. Hægt er að rækta SiNxOy filmu (afturvirkunarferli), sem getur bætt umbreytingarskilvirkni rafhlöðunnar til muna.

PECVD Plasmabættur efnagufuútfellingarbúnaður / PECVD ferliupplýsingar fyrir háhita

PECVD Plasma aukinn efnagufuútfellingarbúnaður / Háhita PECVD vinnsluverksmiðja

Gerð

◆ Hleðslumagn: 384 stykki/bátur (125 * 125); 336 stykki/bátur (156 * 156)
◆ Hreinlæti hreinsunartöflu: Gráða 100 (Bekk 10000 planta)
◆ Sjálfvirkni gráðu: sjálfvirk stjórn á hitastigi og ferli.
◆ Flíssending og tökustilling: mjúk lendingargerð, með stöðuga og áreiðanlega eiginleika, engin skrið, nákvæm staðsetning, mikil burðargeta og langur endingartími.

Specification

Hámarks hleðsla á rör	384 stykki / bátur（125125） 336 stykki / bátur（156156）
Vinnuvísitala	± 3% í töflu, ± 3% á milli taflna, ± 3% á milli lota
vinnuhitastig	200 ~ 500 ℃
Nákvæmni og lengd hitasvæðis (truflanir í lokuðu túpuprófi)	1200mm±1℃
Nákvæmni gasflæðis	± 1% FS
Loftþéttleiki loftrásarkerfisins	1×10-7Pa.m³/S
stjórn	Alveg innflutt sjálfvirkt þrýstingsstýrikerfi með lokuðu lykkju, nákvæm stjórn á viðbragðslofttæmi; 40KHz hátíðni afl framboð; Handverksbátur mjúk lending; Full stafræn stjórn, fullkomin og örugg ferlistýringarvörn.
1 rör, 2 rör, 3 rör og 4 rör eru valfrjáls; Sjálfvirkur hleðslubúnaður er valfrjáls og afköst búnaðarins og vinnsluafköst geta verið sambærileg við bestu svipaðan búnað í heimi.