item |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Vöru Stærð |
≤6 þyngdi |
≤8 þyngdi |
≤8 þyngdi |
||
RF vöruvöruvörn |
0-300W/500W/1000W Uppstillt, sjálfvirkt samstillt |
||||
Sameindar pumpe |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sérsniðin |
Efnahreinsun620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sérsniðin |
|||
Forspánpumpe |
Vélamælupumpe\/turrpumpe |
Þurrdæla |
|||
Ferliþrýsting |
Óstjórnvað þrýsting\/0-1Torr stjórnaður þrýsting |
||||
Gástegund |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Sérsniðin (Upplín að 9 slemborð, enginn korrósívar\/giftig gás) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr (Upp í 9 kanar) |
|||
gássvið |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/sérsniður |
||||
Hleðslulæsi |
Já/Nei |
Já |
|||
Hitastjórnun prufu |
10°C~Herbergis hiti/-30°C~100°C/sérsniður |
-30°C~100°C/sérsniður |
|||
Bakvið heliumkyling |
Já/Nei |
Já |
|||
Línun á ferlihólunni |
Já/Nei |
Já |
|||
Hitastjórnun veggja hólunnar |
Engin/Rúmstempur~60/120°C |
Rúmstempur-60/120°C |
|||
Stjórnkerfi |
Sjálfvirkt/sérsniðið |
||||
Ettingarmaterial |
Silíkonfyrirtæk:Sí/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnúsafjöldamaterial/flokkamaterial Metallmaterial:Ni/Cr/Al/Au. Frumefnaskyn: PR/PMMA/HDMS/Frumefnisþokk. |
Silíkonfyrirtæk: Sí/SiO2/SiNx. III-V (athugasemd 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (athugasemd 3): CdTe. Magnúsafjöldamaterial/flokkamaterial Metallsmaterial: Ni/Cr/A1/Au. Frumstofumaterial: PR/PMMA/HDMS/frumstofuhylur. |
Sérsniðin fyrir mikrobólusetur, kraftasetur o.s.frv.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) vél er frábær tækni sem getur hrynnú og greinat ýmis gerðir af efnum með ótrúlegt nákvæmni. Þessi vél er úttakinn fyrir notkun í ýmsum efnisfræðiþverslögum þar sem mikrogerð eða hrynnun er kraftríkjandi. Hún er gerð af háþekju efnum sem gera hana sterkja, fullyrðilega og færð til að búa til frábær niðurstöður.
Með RF plasma generator er afmarkaður. RIE kerfið notar tenging sem er inductive til að búa til plasma frá feed gasoline. Þessi tegund gerir plasma sem er háþétt og bætir etching hraða sem er tengd vöru. Etching ferlið í RIE vélina er afmarkað, nákvæm og mjög stjórnaraðlig, leyfandi gildi á specifíkri djupi. Þessi einkasvið gerðir það venjalegt val myndunar eða ívinna verkefnanna.
Verkfræði hefur víddar rekstri, þáttur af þeim er mikroelektroník, MEMS framleiðsla og rafmagnsframleiðsla. Þessi vél spilar mikilvægan hlut í skurði og mikroverkfræði rafmagnsstofnana eins og silíkon, gallíumarsenid og germáníum innan rafmagnsvirkjunar. Minder-High-tech RIE tækjann hefur líka verið sett upp í MEMS virkjunina til að búa til mjúk og harðar stofn eins og polyimid, silíkonsýrsni og silíkonnitrið. Auk þess er hún einnig tiltæk fyrir viðskipta greiningu í vöru- og þjónustuveita sem tengjast elektrónísku vönum.
Innlitur eiginleikum sem eru margföld og gera það auðvelt að nota. Hugbúnaðurinn er notendaveittur og býst við notanda fullt áhrif yfir sniðmátin sem notuð eru í tækinu. Stillingarnar á vélina eru vistuð í innri minni og geta vistuð yfir 100 setningar af stillingum. Það hefur söguskráan sem leyfir notanda að stilla mælingar eins og rafskífamótun, vöxtunarþykkt, og þrýstingur. Minder-High-tech RIE vélinn hefur líka hitastjórnunartengilið sem varnar að stofnun sé gerð á réttum hiti og forðar skada á þeim.
Þetta er fullkomilegt fyrir fyrirtæki sem þurfa píslu sem er treystanleg og nákvæm sem gefur nákvæma niðurstöður. Þessi tímariti hefur verið útfærður með fremsta teknologi og háttala. Fjölbreytni og einfaldleiki í notkun gera það valið er mjög gott til rannsóknar-og efnahagsnotkunar á mismunandi svæðum.
Það einkennir líka hagbýmis vandamálasögu kerfi sem gerir kleift fyrir því að verkæki geti uppgötumt og lagað hvaða vefjarvægi sem er eins hratt og mögulegt. Þetta kerfi varnar um að RIE verkæki heldur áfram háttækni og treystileika gegnum allan lifandi síðu hans. Fyrir hvaða efnahagsgreind sem krefst nákvæma og hagbýmis skurnar eða mikrofræslu, er Minder-High-tech RIE verkæki fullnægenda lausn.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved