Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Heim
Um okkur
MH tæki
lausn
Erlendir notendur
Video
Hafðu samband við okkur
Heim> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining
  • Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining

Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining

Vörulýsing 
Viðbragðsjónaætingarkerfi
Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining birgir
Umsókn
Hlutlaus lag: SiO2, SiNx
Bakkísill
Límlag: TaN
Í gegnum gat: W
Lögun
1. Æting á passiveringslagi með eða án hola;  
2. Æsing á límlagi;  
3. Bakkísilæting
Specification
Verkstillingar og uppbygging vélar skýringarmynd
Liður
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Vara stærð
≤6 tommur
≤8 tommur
≤8 tommur


RF aflgjafi
0-300W/500W/1000W Stillanleg, sjálfvirk samsvörun


Sameindadæla
-/620(L/s)/1300(L/s)/Sérsniðin

Sótthreinsandi620(L/s)/1300(L/s)/Sérsniðin

Forlína dæla
Vélræn dæla/þurrdæla

Þurr dæla

Vinnuþrýstingur
Óstýrður þrýstingur/0-1Torr stýrður þrýstingur


Bensíngerð
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Sérsniðin
(Allt að 9 rásir, ekkert ætandi og eitrað gas) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Gassvið
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Já Nei


Dæmi um tímastjórnun
10°C~Herbergishiti/-30°C~100°C/Sérsniðin

-30°C ~ 100°C / Sérsniðin

Helíumkæling að aftan
Já Nei


Aðferð holrúm fóður
Já Nei


Tímastjórnun holveggs
Nei/Herbergi~60/120°C

Herbergishiti -60/120°C

Control System
Sjálfvirk/sérsniðin


Ætsefni
Kísil byggt: Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Segulefni/blendiefni
Málmefni: Ni/Cr/Al/Au. 
Lífrænt efni: PR/PMMA/HDMS/Lífræn filma. 

Kísil byggt: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Segulefni/blendiefni
Málmefni: Ni/Cr/A1/Au. 
Lífrænt efni: PR/PMMA/HDMS/lífræn filma. 

1. Komið í veg fyrir að franskar fljúgi
2. Lágmarkshnútur sem hægt er að vinna úr: 14nm:
3. SiO2/SiNx ætingarhraði: 50~150 nm/mín;
4. Grófur yfirborðs ætið:5. Stuðningur við passivation lag, viðloðun lag og aftur sílikon ætingu;
6. Valhlutfall Cu/Al:>50
7. Allt-í-einn vél LxBxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Stuðningur við framkvæmd með einum smelli
Niðurstaða ferli

Kísil-undirstaða efni æting

Kísil-undirstaða efni, nanó-imprint mynstur, array
mynstur og linsumynsturæting
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreiningarverksmiðja

InP eðlilegt hitastig ets

Mynsturæting á InP byggðum tækjum sem notuð eru í sjónsamskiptum, þar á meðal bylgjuleiðarauppbyggingu, uppbyggingu ómunhola.
Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining birgir

SiC efni æting

Hentar fyrir örbylgjuofn, rafmagnstæki osfrv.


Reactive ion etsing system RIE vél RIE Upplýsingar um bilunargreiningu

Líkamleg sputtering, etsing Lífræn efni tching

Það er notað við ætingu á efnum sem erfitt er að etsa eins og suma málma (eins og Ni / Cr) og keramik, og
Mynstraður tching.
Það er notað til að æta og fjarlægja lífræn efnasambönd eins og photoresist (PR) / PMMA / HDMS / fjölliða
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreiningarverksmiðja
Sýning á niðurstöðum bilunargreiningar
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreining framleiðsla
Nánari lýsing 
Reactive ion etsing system RIE vél RIE Upplýsingar um bilunargreiningu
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreining framleiðsla
Reactive ion etsing system RIE vél RIE Bilunargreining birgir
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreiningarverksmiðja
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreining framleiðsla
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreiningarverksmiðja
Pökkun og afhending 
Reactive ion ets kerfi RIE vél RIE Bilunargreiningarverksmiðja
Reactive ion etsing system RIE vél RIE Upplýsingar um bilunargreiningu
lóð vél
Company Profile

Minder-High-Tech Reactive Ion Etching (RIE) vélin er fullkomnasta tækni sem getur etið og greint ýmsar gerðir af efnum með ótrúlegri nákvæmni. Þessi vél er hönnuð til notkunar í ýmsum atvinnugreinum þar sem örframleiðsla eða æting er nauðsynleg reglulega. Það er gert úr hágæða efnum sem gera það endingargott, áreiðanlegt og fær um að skila framúrskarandi árangri. 

 

Útbúin með RF plasma rafall er áhrifarík. RIE kerfið notar tengingu sem er inductive til að koma upp plasma úr fóðurbensíninu. Þessi tækni skapar plasma með miklum þéttleika sem eykur etshraða sem tengist vörunni. Ætingarferlið RIE vélarinnar er skilvirkt, nákvæmt og mjög stjórnanlegt, sem gerir ráð fyrir að dýpt sé sérstakt til að nást. Þessi eiginleiki er einstakur, hann er frábær kostur fyrir rannsóknir eða iðnaðarverk. 

 

Vélin hefur breitt úrval, þar á meðal örraeindatækni, MEMS-framleiðslu og hálfleiðaraframleiðslu. Þessi vél gegnir mikilvægu hlutverki við ætingu og örvinnslu á hálfleiðaraefnum eins og sílikoni, gallíumarseníði og germaníum í hálfleiðaraiðnaðinum. Minder-High-tech RIE tækið hefur auk þess verið komið á fót í MEMS iðnaðinum til að búa til mjúk og efni sem eru hörð eins og pólýímíð, kísildíoxíð og kísilnítríð. Að auki er það aðgengilegt fyrir bilanagreiningu í atvinnugreinum sem tengjast þjónustu og vörum sem eru rafrænar. 

 

Inniheldur ýmsa eiginleika sem gera það auðvelt að nota. Það er notendavænt hugbúnaður sem veitir rekstraraðila fullkomna stjórn á ætingarbreytum sem notaðar eru í tækinu. Stillingar vélarinnar eru vistaðar í minni hennar er innra það getur geymt yfir 100 sett af stillingum. Það er snertiskjár sem gerir stjórnandanum kleift að stilla breytur eins og hreyfingu gass, aflþykkt og þrýsting. Minder-High-tech RIE vélin er einnig með hitastýringareiginleika sem tryggir að efnin séu ætuð við rétt hitastig og stöðvar skemmdir á þeim. 

 

Fullkomið fyrir fyrirtæki sem krefjast áreiðanlegrar og skilvirkrar vélar getur veitt nákvæmar og nákvæmar niðurstöður. Þetta tæki hefur verið hannað með hágæða tækni og stigi er mikið af. Fjölhæfni þess og notendavænir eiginleikar gera það að verkum að það er val um mjög góðar rannsóknir og iðnaðarumsóknir í mismunandi geirum. 

 

Það hefur einnig skilvirkt bilanagreiningarkerfi sem gerir vélinni kleift að greina og leiðrétta öll vélræn vandamál eins fljótt og auðið er. Þetta kerfi tryggir að RIE vélin viðheldur háum gæðum og áreiðanleika allan lífsferil sinn. Fyrir hvaða iðnað sem krefst nákvæmrar og skilvirkrar ætingar eða örframleiðslu er Minder-High-tech RIE vélin fullkomin lausn.


fyrirspurn

fyrirspurn Tölvupóstur WhatsApp WeChat
Top
×

Komast í samband