Hálfleiðara iðnaðarbúnaður MDLB-MC200 Ljósmyndagrímuhreinsiefni , Kína Hálfleiðaraiðnaðarbúnaður MDLB-MC200 Ljósmyndagrímuhreinsiefni Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

MDLB-MC200

Photomask hreinsiefni

Hreinsunareining:

Hreinsunarhólfið er unnið með tæringarþolnum efnum, sem hafa slétt yfirborð og auðvelt er að þrífa það. Það er losunargátt fyrir úrgang neðst í innra holrýminu, sem nýtir þyngdarafl til að gera úrgangsvökva kleift að losa í losunarleiðslu verksmiðjunnar. Það er sogport inni í holrýminu, sem getur tímanlega dregið andrúmsloftið úr holrýminu. Útbúin með 3 sjálfvirkum sveifluörmum, getur það náð sjálfvirkri hreinsun.

Stillingarfæribreytutafla:

Nei	Project	upplýsingar	Athugasemdir
1	Yfirlit yfir búnað	Nafn tækis: Photomask Cleaner
		Búnaðargerð: MDLB-MC200
		Heildarmál (u.þ.b.): 1300 mm (B) * 1000 mm (D) * 1950 mm (H)
		Heildarþyngd vélarinnar (u.þ.b.): 300KG
		Hæð skurðborðs: 900 ± 50 mm
		Stærðarforskriftir undirlags: hentugur fyrir 2/4/5/6/8 tommu fermetra grímuplötur
		Ferlisflæði: handvirk staðsetning obláta → hreinsun (bursti, hreinsilausn → háþrýstivatn → megasonic vatn → afjónað vatn → köfnunarefnisgasþurrkun) → handvirk fjarlæging
		Gerð búnaðar: hálfsjálfvirkur, handvirk hleðsla og afferming
2	Búnaðarsmíði	Skel: ryðfríu stáli, slétt, tæringarþolið, auðvelt að þrífa
		Hreinsunarhólf: PP, slétt, tæringarþolið, auðvelt að þrífa
		Leiðsla: PU/PFA samsvarandi leiðsla er notuð
		Vinnulýsing: ryðvarnargul ljósalýsing
		Hurðaropnunarstíll: Tvöföld hurð með hurðaropnunarviðvörun
		Snertiskjár: 10 tommu snertiskjár í fullum lit * 1
		FFU: Flokkur 100
		Lekaheldur botnstuðningur: í boði
3	Servo mótor með mikilli nákvæmni	Magn: 1
		Hraði: -3000~3000rpm	Tóm hleðsla
		Hámarkshröðun snúnings snúnings: 3000rpm/S	Tóm hleðsla
		Hraða nákvæmni: ± 1rpm (50rpm ~ 3000rpm)
		Hraðaupplausn: 1rpm
4	Sjálfvirkur sveifluarmur	Magn: 3
4	Sjálfvirkur sveifluarmur	Sveifluarmhraði: 1~30 °/S
5	Þrifareining	Hreinsunarsveiflaarmur: 1 rás af afjónuðu vatni, 1 rás af köfnunarefnisgasi Megasonic armur: 1 Megasonic, 1 háþrýstivatn Burstaarmur: 1 bursti, 1 vatn, 1 hreinsilausn
		Hreinsunaraðferð: sjálfvirk þrif
		Afjónað vatnssogsaðgerð: í boði
		Bakþvottur (afjónað vatn): 1 leið
		Birgðaaðferð: Hreinsunarlausn: Þinddæla Afjónað vatn: afhent beint af verksmiðjunni
		Þrýstitankur með vökvastigsgreiningu
6	Bursta bursta	Magn: 1 (með sjálfhreinsandi virkni)
		Hraði: allt að 1000 snúninga á mínútu, stillanlegur hraði
		Hæð stillanleg handvirkt
7	Hlaða bakka	Magn: 5
		Efni: PPS+ryðfrítt stál
		Stærð: Hentar fyrir 2/4/5/6/8 tommu fermetra grímuplötur
		Festingaraðferð undirlags: Klófestingaraðferð
8	Eftirlitskerfi	Stýrikerfi: með PLC stjórn
		Dagskrá: 100 hópar, hver hópur samanstendur af 100 skrefum, með hámarks tíma í einu skrefi upp á 3000.0 sekúndur Upplausn: 0.1S
		Forritið er hægt að vista, hringja í, breyta og eyða
		Stilltu dulkóðunarheimildir: fyrir stjórnendur tækja, tæknimenn, stjórnendur og framleiðendur í sömu röð
		Tegund merkjaturna: rauður, gulur, grænn 3 litir