Tæknilegar breytu | Mælingarstilling | PSI/VSI/súper dýpt sviðs/björtu sviði |
Sjónsvið eitt mælingar (20× linsa) | 500*350μm (sjálfvirk sauma) | |
Hornstillingu | ±12° handbók | |
Stilling á Z-ás | 20mm rafmagns + 50mm handvirkt (gróft og fínstillingarkerfi) | |
Lengdarskönnunarsvið | 0-10mm | |
Lengdarupplausn | <0.2 nm | |
Endurtekningarhæfni lengdargrófmælinga | 0.01nm (PSI ham) | |
vísbendingarvilla um þrepahæð mæling | <0.75% (VSI ham) | |
Hliðupplausn: @550nm | 0.69μm (20× hlutlinsa) | |
Mælanleg endurspeglun sýnishorns | 0.1%-100% | |
Mælitími | <5s (PSI ham) | |
Greining virka | Greining virka | 3D hæðarmæling, 3D grófleikagreining, 2D víddarmæling |
3D gagnaúttak | 3D punktskýjagögn, grátónamyndagögn, sérsniðin skýrsla |
Hlutlæg stækkun | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Tölulegt ljósop | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optísk upplausn @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Dýpt fókus (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Vinnufjarlægð (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Höfundarréttur © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Allur réttur áskilinn