Víðtæk notkun plasmahreinsivéla í hálfleiðaraiðnaði

Notkun plasmahreinsivéla í hálfleiðaraiðnaði er mjög víðtæk, aðallega endurspeglast í eftirfarandi þáttum:

▘Yfirborðsvirkjunarhreinsun: Fyrir yfirborðsvirkjunarhreinsun á flísum, IC flísum, hálfleiðurum kísilskífum osfrv., hefur plasmahreinsitækni það hlutverk að fjarlægja oxíðfilmur, lífræn efni, grímur o.s.frv. , og forðast sýndarlóðunarfyrirbæri.

▘Eftirpökkunarvinnsla: Eftir að flísumbúðunum er lokið er umbúðaefnið hreinsað til að fjarlægja suðuleifar og aðskotaefni sem myndast við pökkunarferlið og tryggja gæði vörunnar. Plasmahreinsivélar geta náð mengunarlausri meðferð en forðast notkun skaðlegra leysiefna sem geta skaðað heilsu manna.

▘Fjarlægja leifar af ljósþolnum: Notað í ljóslitafræðiferli hálfleiðaraframleiðslu til að skilgreina mynstur búnaðar. Eftir að steinþurrkun er lokið getur plasmahreinsivélin fjarlægt ljósþolsleifar fljótt og vandlega til að tryggja nákvæmni mynstrsins og áreiðanleika búnaðarins.

▘Fyrirmeðhöndlun á filmuútfellingu: Á meðan á filmuútfellingu stendur verður yfirborðið að vera mjög hreint til að tryggja viðloðun og einsleitni filmunnar. Plasmahreinsun getur í raun fjarlægt mengunarefni og leifar fyrir útfellingu og þar með bætt gæði þunnra filma.

▘Yfirborðsbreyting: Plasmameðhöndlun er ekki aðeins notuð til að hreinsa, heldur getur einnig náð yfirborðsbreytingum. Með því að stilla gassamsetningu og vinnslubreytur getur plasmatækni bætt vatnssækni eða vatnsfælni efna, aukið afköst og stöðugleika tækja.

▘ Bæta viðloðun: Hægt er að nota plasmahreinsivélar til að hreinsa umbúðir, svo sem plast, keramik osfrv., til að auka viðloðun og áreiðanleika umbúðaefna; Bættu viðloðunafköst milli leiðandi líms fyrir korn og púða, íferðarárangur lóðmálmalíms, aukið tengingarspennu leiðslna og bættu áreiðanleika pakkaðra tækja.