חיתוך יון אקטיבי נשמע כמו מונח מפחיד, אך למעשה זו השיטה שאנשים משתמשים בה כדי להפוך חלקים קטנים לטכנולוגיה לחתיכות בגודל בריינץ'. החלקים הקטנים האלה הם מרכיבים עיקריים ברוב המכשירים שמשתמשים בהם כל יום, כמו טלפונים חכמים, מחשבים וכו'. הפונקציה העיקרית של תהליך זה היא להסיר חלקים של החומר כדי ליצור חתיכות קטנות ומדויקות. מאמר זה ידון במהו חיתוך יון אקטיבי - הצדדים החיוביים והשליליים לעבודה עם RIE בהשוואה לשיטות אחרות לטיפול פלזמה-כימי; התפקיד של הכימיה של הפלזמה בתהליך זה; כיצד ניתן להשיג תוצאות איכותיות על ידי שימוש נכון בציוד RIE, ובסוף, איפה הוא נמצא ככלי טכנולוגי.
חיתוך יונים אקטיבי הוא שיטה מורכבת שמשתמשת ביונים קטנים וגז כדי להסיר חלקים של חומר. דמיינו זאת כזרם חזק שמפרץ בחירה את החומר כדי ליצור צורה מדויקת. השיטה כוללת את הזרקת היונים אל פני השטח של החומר. כאשר היונים פוגעים בחומר, הם מגיבים איתו ופוררים אותו לחתיכות קטנות מאוד שאפשר להסירן. מחמירים את החומר בתיבה סגורה לחלוטין ללא אוויר, שנקראת תאי ואקום. החלקיקים הקטנים נוצרים באמצעות אנרגיית רדיו, שבה הם יוצרים יונים.
חיתוך יוני ריאקטיבי הוא אחד המובילים כשמדובר בפרטים. זה אומר שהוא יכול לייצר תכונות מדויקות עם זוויות וקשתות, אך נעשה זאת באמצעות גז במקום שימוש בנוזל. זה אומר שהחלקים שנוצרים בשיטה זו הם ממש מתאימים למטרה בטכנולוגיה [1].ßerdem, זו אחת התהליכים המהירות ביותר; מספר גדול של חלקים יכול להיבנות בתקופה קצרה. מכיוון שהתהליך הזה כל כך מהיר, הוא יכול להיות די יעיל עבור חברות עם דרישה גדולה לחלק מסוים.
אבל לחיתוך יוני ריאקטיבי יש גם בעיות. זה לא מתאים לכל סוגי החומרים, כיוון שחלקם לא יוכלו לעבור חיתוך לייזר כזה. Además, זה דורש טמפרטורות ושיטות לחץ מתאימות על אתר. התנאים המתאימים צריכים להיות קיימים, אחרת התהליך החדש עשוי שלא להגשים את הפוטנציאל שלו. ההפסד היחיד הוא שזה עשוי להיות יקר מדי להקים בהשוואה לתהליכים אחרים של חיתוך, מה שעשוי להרתיע את חלק מהחברות מלתפוס את ההזדמנות של אגירת שכבה.
מקום משמעותי מובטח תופס הכימיה של פלזמה בתהליך של חיתוך יוני תגובתי. האיונים האלה שנוצרים על ידי הפלזמה גורמים לקישורים כימיים של החומר להפריד, מה שגורם לחיתוך. לאחר שהקישורים נשברו, החומר מתפרק לחתיכות קטנות מאוד שאז טסות עם זרם של גז. מה שנוצר במהלך תגובה כימית יכול להיות מושפע מסוג הגז שנמצא בשימוש. למשל, גז איטום יכול לתת חיתוך נקי המאפשר להסיר חומרים ללא השארת שרידים לא רצויים, בעוד שגז חמצן נותן סוג אחר של חיתוך שעשוי להיות מתאים תלוי בדרישה.
השליטה העזה בפרוצס קריטית כדי להשיג תוצאות טובות עם חיתוך יון ריאקטיבי. זה דורש מדידת מספר פרמטרים כולל טמפרטורה, לחץ, זרימת גז ואנרגיהnergie של יונים. סביבה יציבה תורמת לתוצאות עקביות וניתנות להצפה בחיתוך הקו. אם אחת מהמשתנים הללו אינה נשלטת בצורה יעילה, זה עלול להשפיע על המוצר הסופי.ßerdem, ניקוי החומר והכנתו בצורה מתאימה הם הכרחיים לפני שמתחילים בחיתוך. אם כל הזמן הוקדש בהכנה של החומר לחיתוך מראש, זה אמור להוביל לתוצאות טובות יותר.
דוגמה לכך היא חיתוך יון ריאקטיבי שמשתמשים בו באופן נפוץ בתעשייה של מיקרופב, כדי ליצור חלקים קטנים מאוד לטכנולוגיות שונות. אחת מהדברים שבהם גרפיין שימושי היא בייצור מעגלי חשמל מיקרוסקופיים, חיישנים ומכשירים מיקרופלואידים שמהווים אבן יסוד בטכנולוגיה המודרנית. הוא גם משמש בייצור מערכות מיקרו-אלקטרומכניות (MEMS) שזוהי מכשירים קטנים שיוכלו למעשה לראות, לשמוע, להרגיש ולנוע את דברים מולקולה אחר מולקולה. ה-MEMS הללו מployed בשימושים רבים: ממכשירים קטנים כמו טלפונים חכמים לכלי גדולים יותר ואף ציוד רפואי. בין התהליכים האלה, חיתוך יון ריאקטיבי משחק תפקיד קריטי כיוון שהוא יכול ליצור תכונות קטנות ודיוקיות הנדרשות לטכנולוגיות מתקדמות כאלה.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
