יִשְׂרָאֵל

מינדר-הייטק היא יצרנית מוליכים למחצה. מוליכים למחצה הם מרכיבים קריטיים בחלק גדול ממה שיוצר את החיים המודרניים, כמו טלפונים ניידים ומחשבים. כעת, ישנם כמה שלבים ביצירת מוליכים למחצה, אך הצעד הראשון הוא יצירת דפוס על משטח שטוח המכונה רקיק.

על מנת לעבד דפוס זה, אנו מפקידים חומר מיוחד על הפרוסה. חומר זה ידוע בתור photoresist. לאחר שהנחנו את הפוטורסיסט, אנו חושפים אותו לאור. מתחת לאור, אזור של הפוטו-רזיסט מתקשה ונעשה חזק. האזורים בצל נשארים רכים וניתן למחוק אותם.

לאחר קבלת הדוגמה הרצויה על הוואפר, יש להסיר את הפוטו-רזיסט מהאזורים בהם נבצע עיבוד נוסף. זה המקום שבו מנקה פלזמה נכנס לתמונה, תרתי משמע.

שיטות מבוססות פלזמה להסרת פוטו-רזיסט

פלזמה היא מצב של גז עם רמת אנרגיה גבוהה, עקב מטען חשמלי גבוה המופעל עליו. והגז המופעל הזה שימושי מאוד להפשטת הפוטו-רזיסט על משטח הוופל. באמצעות פלזמה, הפוטורסיסט יכול להיות שביר והניקוי שלו הופך להיות הרבה יותר קל.

יש לנו שתי טכניקות שונות באמצעות פלזמה להסרת photoresist: תחריט יבש ואפר.

התחריט היבש: בטכניקה זו, הפלזמה בפועל שמקיימת אינטראקציה עם הפוטו-רזיסט. הפלזמה מגיבה עם הפוטו-רזיסט במקום שבו היא יוצרת מגע. תגובה זו מפרקת את הפוטורסיסט והופכת אותו לגז. לאחר מכן ניתן לנקות את החומר הגזי הזה ממשטח הוופל, וכתוצאה מכך לחשוף את האזורים הדרושים לנו נקיים וזמינים להתקדמות.

אפר - זוהי דרך אחרת לעשות זאת, בשיטה זו משתמשים בפלזמה לא תגובתית עבור הפוטו-רזיסט. הפלזמה מנפצת את הפוטורסיסט לחתיכות זעירות וקטנות במקום זאת. לאחר מכן ניתן לשטוף את החתיכות הקטנות הללו מהוופל. גישה זו מתאימה ומגינה על הוואפר תוך הסרת הפוטו-רזיסט המיותר.

שימוש בפלזמה תגובתית להפשטת פוטו-רזיסט

טיפול משטח פלזמה הוא כלי חזק מאוד שעוזר לנו להסיר את הפוטו-רזיסט הקשיח ביותר מהוופל. הפלזמה היא מדהימה בפני עצמה, אבל החלק הכי טוב הוא שאנחנו יכולים להפוך אותה לסוכן סופר סלקטיבי. זה אומר שניתן לכוון אותו כך שיגיב ספציפית רק עם הפוטורסיסט, לא עם החומרים האחרים שמתחתיו.

לדוגמא: אם יש לנו תבנית על הפרוסה שבה מתכת מונחת מתחת לפוטו-רזיסט, נוכל להשתמש בסוג של פלזמה המגיבה רק עם הפוטורסיסט. לפיכך, אנו יכולים לחרוט את הפוטו-רזיסט מבלי לפגוע במתכת שמתחתיו. כעת, זה קריטי מאוד מכיוון שאנו זקוקים לכל חלקי הפרוסה כדי לשמור על שלמותו במהלך התהליך.

טכניקת הפלזמה להפשטת פוטו-רזיסט

מינדר-הייטק משתמשת בטכנולוגיית פלזמה מהעידן החדש בהפשטת הפוטו-רזיסט מהוופלים שלנו. זה מאפשר לנו לייצר מוליכים למחצה ללא שגיאות, שהם באיכות גבוהה.

מהירים, ניתנים להתאמה לצרכים שלך המערכות שלנו מתוכננות להשתלב בצורה חלקה בזרימת העבודה שלך. זה מצביע על כך שאנו מסוגלים להפשיט את הפוטורסיסט בקיצור. ומכיוון שאנחנו מהירים, אנחנו עונים על הביקוש המלא של הלקוחות שלנו, ומספקים מוצרים נהדרים כשהם צריכים אותם.

אבל גם מערכות הפלזמה שלנו מדויקות מאוד, בנוסף ליעילות שלהן. מה שהדיוק הזה מספק לנו הוא היכולת להסיר אך ורק את הפוטורסיסט עצמו. הטכנולוגיה שלנו מונעת מכל שאר החלקים של הפרוסה להיפגע מהתהליך שלנו, ואנחנו לא יכולים להרשות לעצמנו לעשות זאת. תרגול מתודי זה הופך חיוני יותר לאיכות המוליכים למחצה שאנו מייצרים שם בחוץ.

הסרת Photoresist המושרה על ידי פלזמה על מוליכים למחצה

אז בקיצור, פלזמה היא כוח על שמאפשר לנו להסיר קצת פוטו-רזיסט ממשטח הוופל בצורה יעילה ביותר. אנו, ב-Minder-Hightech, מיישמים את טכנולוגיית הפלזמה העדכנית והטובה ביותר לייצור מוליכים למחצה באיכות אפס פגומים בדיוק. בכל הנוגע למערכות פלזמה, הפתרונות שלנו מיוצרים כדי לאזן את המהירות בדיוק, תוך כדי היותם יעילים מאוד. זה אומר להיות מסוגל לעמוד בדרישות של הלקוחות שלנו, כמו גם לספק מוצרים איכותיים בלי להיכשל. זה מקפץ לשפר את התהליך של מוליכים למחצה בזמן שאנו משתמשים הסרת פלזמה טכנולוגיה שהופכת את המוליכים למחצה שלנו טובים ככל האפשר עבור כל סוגי המכשירים האלקטרוניים להיות גאדג'טים אמינים.