Minder-Hightech היא חברה לייצור חומרים חצי-תעשייתיים. חומרים חצי-תעשייתים הם חלקים קריטיים של הרבה מהדברים שמאפשרים את החיים המודרניים, כמו טלפונים ניידים ומחשבים. כעת, יש מספר שלבים ליצור חומרים חצי-תעשייתים, אך השלב הראשון הוא ליצור תבנית על משטח שטוח שנקרא פלטה.

כדי להדפיס את התבנית הזו, אנו מטילים חומר מיוחד על הפלטה. החומר הזה נקרא פוטורזיסט. לאחר שהנחנו את הפוטורזיסט, אנו מחשיפתו לאור. תחת האור, אזור מסוים של הפוטורזיסט מתверד והופך חזק. האזורים בצללים נשארים רכים ויכולים להוסר.

לאחר קבלת התבנית הרצויה על הפלטה, יש להסיר את הפוטורזיסט מהאזורים שבהם נבצע עיבוד נוסף. זה המקום שבו מְצַפֵּא פְלָזְמָה נכנס לפעולה, ממש כך.

שיטות מבוססות פלזמה להסרת פוטורזיסט

פלזמה היא מצב של גז עם רמת אנרגיה גבוהה, עקב מטען חשמלי גבוה שיושם עליו. והגז המופעל הזה הוא מאוד שימושי להסרת הפוטורזיסט מהפניית השטח של הwafer. באמצעות פלזמה, הפוטורזיסט יכול להפוך לשביר יותר, וניקויו נעשה הרבה יותר קל.

יש לנו שתי טכניקות שונות המשתמשות בפלזמה להסרת הפוטורזיסט: חיתוך יבש ואשוח.

החיתוך היבש: בטכניקה זו, הפלזמה עצמה מתאימה לפוטורזיסט. הפלזמה מגיב עם הפוטורזיסט במקום שבו הם נוגעים זה בזה. התגובה הזו מפרקת את הפוטורזיסט וממירה אותו לגס. החומר הגזי הזה יכול לאחר מכן להיות נקי מהשטח של הwafer, מה שגורם לחשיפה של האזורים שאנו דורשים להיות נקיים זמינים להתקדמות.

אשינג — זו דרך שונה לעשות זאת, ובשיטה זו משתמשים בפלזמה לא ריאקטיבית כדי להסיר את הפוטורזיסט. הפלזמה מפוצצת את הפוטורזיסט לחתיכות קטנות מאוד במקום. לאחר מכן, החתיכות הקטנות האלה יכולות להיסחטף מהווסה. השיטה הזו מתאימה ומצילה את הווסה בעת הסרת הפוטורזיסט העדיף.

שימוש בפלזמה ריאקטיבית להסרת פוטורזיסט

טיפול פלזמה בשטח הוא כלי חזק מאוד שעוזר לנו להסיר את הפוטורזיסט הקשה ביותר מהווסה. הפלזמה היא מדהימה בפני עצמה, אבל החלק הטוב ביותר הוא שאנו יכולים להפוך אותה לagenta סלקטיבי במיוחד. זה אומר שהיא יכולה להיות מתוכננת להגיב רק עם הפוטורזיסט, ולא עם החומרים האחרים מתחתיו.

לדוגמה: אם יש לנו תבנית על הלוח בו מוצב מתכת מתחת לפוטורזיסט, נוכל להשתמש בסוג של פלזמה שמשתנה רק עם הפוטורזיסט. כך, נוכל להציף את הפוטורזיסט ללא נזק למתכת שמתחתיו. עכשיו, זה מאוד קריטי מכיוון שנדרש לכל חלקים של הלוח לשמור על שלמותם במהלך התהליך.

הטכניקה של פלזמה להסרת פוטורזיסט

Minder-Hightech משתמשת בטכנולוגיית פלזמה חדשה להסרת הפוטורזיסט מהלוחות שלנו. זה מאפשר לנו לייצר חומרים חשמליים ללא שגיאות, בעלי איכות גבוהה.

מהיר, ניתן להתאמה לצרכים שלך. מערכותינו תוכננו כדי להשתלב בצורה חלקה לתוך זרימת העבודה שלך. זה אומר שאנו יכולים להסיר את הפוטורזיסט בזריזות. ובגלל שהמערכת שלנו מהירה, אנו מספקים את כל הצריכה של לקוחותינו, ומספקים להם מוצרים מצוינים כשרוצים אותם.

אבל מערכות הפלזמה שלנו גם די מדויקות, בנוסף להיעילות שלהן. מה שמדוייק זה נותן לנו הוא את היכולת להסיר אך ורק את הפוטורזיסט עצמו. הטכנולוגיה שלנו מנעה מכל השאר חלקים של הwafer להיפגע מהпроцס שלנו, ואנחנו לא יכולים להרשות זאת. העיקרון הזה נעשה כל כך חיוני לאיכותה במחצית המוליכים שאנו מייצרים שם בחוץ.

הסרת פוטורזיסט תחת השפעת פלזמה על מחצית מוליכים

אז, בקיצור, פלזמה היא כוח על שמאפשר לנו להסיר חלק מהפוטו-ריזיסט מעל פני הwafer בצורה מוגברת ויעילה מאוד. אנחנו, במינדר הייטק, משתמשים בטכנולוגיה המתקדמת והטובה ביותר של פלזמה כדי לייצר חומרים חשמליים איכותיים לחלוטין ללא תקלות. כשמדובר במערכות פלזמה, הפתרונות שלנו מיוצרים כדי לשקול בין מהירות הדיוק, בעוד שהם עדיין יעילים מאוד. זה אומר להיות מסוגלים לענות על דרישותיהם של לקוחותנו וכן לספק מוצרים איכותיים ללא כשלון. זה מתייחס לשיפור תהליך החומרים החשמליים שאנו משתמשים בהם. הסרת פלזמה טכנולוגיה הטכנולוגיה שלנו גורמת לחומרים החשמליים שלנו להיות הטובים ביותר עבור כל סוגי מכשירי אלקטרוניים כדי להיות אמינות.