תהליך שטיחת מכאנית-כימית CMP עם דיוק גבוה , China תהליך שטיחת מכאנית-כימית CMP עם דיוק גבוה Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

דיוק גבוה ציוד להשכבה ממוצעת כימית-מכנית (CMP)

הציוד CMP מדוייק משיג הסרה יעילה של חומרים עודפים על פנים של לוחות, והשכבה הממוצעת גלובלית ברמת ננומטר באמצעות התאמה הכימית והשחיקה המכנית.

מכונה מרובעת לפוליש כימי שמשמשת במיוחד עבור יישומים של CMP ופוליש קוטר, אשר דורשים דיוק גיאומטרי חמור ובקרת איכות פנייתית, יכולה להשיג רמת Ra מתחת לננומטר.

המכשיר זה יכול לבצע מיצוי דיוק ברמה של ננומטרים על מolds בודדים, כמו גם מיצוי של לוחות דקים בעלי קוטרים של עד 8 אינץ'. בנוסף, הוא יכול לשמש גם בתכונות מיצוי לא טראדיציונליות כגון מיצוי של תחתית קשה, הכנת פני Epi ושיפור שיפור רכיבי חזרה.

כדי להסתגל למכונות סדרת CDP לתכונות חומר ותהליך שונים, טכנאים מותאמים ומעצבים תבניות מיצוי מתאימות לפי דרישות טכניות של המשתמש כדי לקיים בדיוק את דרישות תהליך CMP. התמונה השמאלית מציגה את הטווח של לוח יחיד עם קוטר של 8 אינץ'.

כדי לוודא מדידה והגדרה מדויקות של לוחות או מכשירים שמיצויים על מכונות CDP, פיתחנו מערכת EPD, שהתוכנית גרפי מסריקה CDP מותאמת לעיצוב שלה יכולה להריץ על מחשבים ניידים. התוכנית מוניטרת ומציגה גרפית את תהליך המיצוי, ומפסיקה באופן אוטומטי כאשר נקודה סופית מגיעה.

מניעמנת מברשת יתר. סריקת CDP יכולה גם לשמש כתכונה לביטחון. אם נגלה שינוי כלשהו בפרמטר תהליך מוניטור, סריקת CDP תגרום להתרת אזהרה אודיו כדי לעזור למנוע מברשת יתר. דוגמאות对此 regard כוללות שינוי מהירות המנוף מהערך שהותאם מראש. מערכת EPD תבחין במצב זה מכיוון שרמת החיכוך בין הפד ל物ריאל מומס ישתנה עקב כל שינוי במהירות המנוף, מה שעשוי להאיים על התוכנית הצלחתה של המישוריות של הwafer/C. בשלב זה, מערכת EPD תגרום להתרת אזהרה קולית לפני הסרת הכלי משטח הפד, או שהיא יכולה להיות מותאמת להפסקה אוטומטית.

מערכת ACP יכולה לשמש בצורה טובה יותר בהיקף רחב של יישומים, והטבלה מציגה את תוצאות הניסוי של תהליך CMP עבור חמצן סיליקוני, נחושת, ניטריד סיליקון, אלומיניום נחושת, גרמניום סיליקון וטונגסטן.
הטבלה מראה שאחרי תהליך CMP, WTWNU יכול להגיע ל-2.82%.

שימוש

המישוריות של פלטות סיליקון
המישוריות של תרכובות II-V
השוואת אוקסיד
השמדת משטח חומר אינפראאדום
השוואת מסד ספיר, ניטריד גליום ופחמיד סיליקון, השוואת מסד EPI
לעשות דק את פלחי SOS ו-SOI למטה מ-20 מיקרונים
הנדסה הפוכה היררכית או יישומי FA

מפרט

ספק כוח	220v 10A
גודל וויפר	4"/100mm 6"/150mm 8"/200mm 12"/300mm
קוטר דיסק עבודה	520mm, 780mm
מהירותitesse של דיסק עבודה	0-120דprm
מהירותitesse של קלאט	0-120דprm
תדירות התנודה של הקלאט	0-30spm
לחץ על הגב של וויפר	0-150psi
לחץ במרכז נקודת הוויפר	0-50psi
זמן מזומן	0-10 שעות
תעלת תזונה	≥2
מהירות אספקה	0-150מ"ל/דקה

אריזה & שipment

פרופילrofile של החברה

Minder-Hightech הוא נציג מכירות ושירות בתעשיית ציוד מוצרים חשמליים וסמיקונדוקטורים. מאז 2014, החברה מתחייבת לספק ללקוחות פתרונות ייחודיים, אמינים וייעודיים עבור ציוד מכני.

שאלות נפוצות

1. אודות מחיר:
כל המחירים שלנו הם מתחרים ונגופי-משא ומתן. המחיר משתנה בהתאם לתצורה והסיבוכיות של ההעתקה של המכשיר שלך.

2. אודות דוגמה:
אנחנו יכולים לספק לך שירותי ייצור דוגמאות, אך עשויים להיות עליך לשלם כמה סכומים.

3. על תשלום：
לאחר שהתוכנית מאושרת, יש להשלים תחילה תשלום מזומן, והמפעל יתחיל להכין את המוצרים. לאחר שה
ציוד יהיה מוכן ואתה תשלם את השארית, נשלח אותו.

4. על משלוח:
לאחר השלמת ייצור המיתוג, נשלח אליכם את וידאו ההסכמה, ואתם גם יכולים לבוא לאתר כדי להעריך את המיתוג.

5. התקנה ובדיקה:
לאחר שהמיתוג מגיע למפעל שלכם, נוכל לשלוח מהנדסים להתקין ולהדביק את המיתוג. נספק לכם הצעת מחיר נפרדת עבור שכר השירות הזה.

6. על אחריות:
למיטלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם ניזוקים וצריכים להוחלף, נטיל רק את מחיר העלות.