גודל וויפר
|
4”~ 8” ווופר
|
עובי ווופר
|
100~750 מיקרונים
|
סוג ווופר
|
Si, SiC, GaN או חומרים אחרים
|
סוג סרט
|
סרט כחול, סרט UV
רוחב: 230 ~ 300 מ"מ אורך: 100 מטר עובי: 0.05 ~ 0.2 מ"מ |
טבעת נושא לחתיכות וויפר
|
6", 8" DISCO
|
שיטת טעינה והפרקה
|
הצבה והסרה ידנית של וויפר/טבעת נושא
|
דיוק מיקום הסרט
|
±0.5mm
לוחות קמח סטנדרטיים בגודל 6" ו-8" עבור קמחים בגודל 6" ו-8" |
משאבת ואקום
|
Minder-Hightech
|
בקרת אנטי-סטטית
|
מזרק דהיאוניזציה
|
יחידה שליטה
|
בנימוס של בקרת PLC, עם מסך מגע בגודל 10"
|
הגנהגנה מפני סכנות
|
מתוכנן עם הגנה על ידי מסך אור ופתון עצירה חירום
|
מתח אספקת כוח
|
חד-פАЗי AC 220V, 16A
|
אוויר מדחוס
|
0.45~0.6MPa, שיעור זרימה 70L/דקה
|
מיכל מכונה
|
מיכל מתכת מוסך פלסטי בלבן
|
כמות
|
850mm (רוחב)*1750mm (עומק)*1970mm (גובה)
|
משקל נטו
|
480 ק"ג
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved