צילום מכונת יישור / מכונת יישור, סין יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור מוצרים

מכונת ליטוגרפיה של מסכת יישור

Mask Aligner משמש בעיקר בפיתוח וייצור של מעגלים משולבים בקנה מידה קטן ובינוני, רכיבי מוליכים למחצה, התקנים אופטו-אלקטרוניים, התקני גל אקוסטיים משטחים, מעגלי סרט דק והתקני חשמל.
Mask Aligner הידוע גם בשם: מכונת חשיפה ליישור מסכות, מערכת חשיפה, מערכת ליתוגרפיה וכו', היא ציוד הליבה לייצור שבבים. הוא משתמש בטכנולוגיה הדומה להדפסת תמונות כדי להדפיס את הדפוסים העדינים על המסכה על גבי פרוסת הסיליקון על ידי חשיפה לאור
מורכב בעיקר מ: שולחן עבודה עם יישור דיוק גבוה, מיקרוסקופ אנכי מופרד בשדה ראייה, מיקרוסקופ אופקי מופרד בשדה ראייה, מצלמה דיגיטלית, מערכת זיכרון הדמיה ממוחשבת, ראש חשיפה למקור אור רב-נקודתי (עין זבוב), מערכת בקרת PLC, מערכת פנאומטית, מערכת ואקום, משאבת ואקום מחוברת ישירה, שולחן עבודה משני נגד רעידות ותיבת אביזרים

ייצור פוטוליתוגרפיה של מכונת יישור/יישור

מפעל פוטוליתוגרפיה של Aligner / Alignment Machine

מאפיין

1. ראש חשיפה לעין זבוב באחידות גבוהה / מנגנון פילוס ציפה באוויר / חשיפה מהידוק ואקום אמינה. רזולוציה גבוהה.
2. שיטת יישור על ידי מסכה לשמור על האכלה יציבה ומצע, אשר מוודאים את העקביות של כוח המשיכה והכוח.
3. שימוש במדריך ישר ללא פערים, דיוק גבוה, מהירות מהירה.
4. כל הדגמים מתאימים לעבודה עם כל הפוטורסיסטים הסטנדרטיים. כגון AZ, Shipley, SU 8.
5. כל הדגמים איכות הדפוס המועברת על ידי המערכת למצע 5 יישומי המסכה צריכה להיות זהה לאיכות הדפוס לאחר יישום המסכה הראשונה.
6. זמן חשיפה מתכוונן בין שנייה אחת לשעה. דיוק היישור 1 מיקרומטר

מִפרָט

מספר סימוכין	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
סוג חשיפה	צד אחד			יישור צד כפול וחשיפת צד כפולה
מצב חשיפה	מגע קרבה קשה, רכה וללא מגע
כמות ראש החשיפה	1 ראש חשיפה			2 ראש חשיפה
סוג מקור האור	מנורת כספית כדורית GCQ350						ראש לחשיפת UV LED
שיטת קירור	קירור אוויר
אזור חשיפה	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
מצב חשיפה	תואם למגע קשה, רך
אי אחידות בחשיפה	Φ100 מ"מ<±3%<>	≤ ± 3%
רזולוציית חשיפה	2μm	1 מיקרומטר
עוצמת קרן (365 ננומטר)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0~30mw/cm2
חוסר הומוגניות של קרן	≤ ± 4%	≤ ± 3%
אור UV זווית סטייה מקסימלית	4 °	3 °
טווח תאורה	≤Φ117 מ"מ	Φ117mm	≤Φ117 מ"מ		מלפנים ומאחור ≥ Φ115 מ"מ
מצב פיצוי שגיאות טריז	פיצוי אוטומטי חצי כדורי			חיסול אוטומטי		פיצוי אוטומטי של 3 נקודות
המהלך של צירי X ו-Y	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 מ"מ
המסע של ה-θ	± 3 °	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
רזולוציית תזוזה של מצע XYZ	0.5μm	0.3μm	0.3μm		0.01μm
מערכת מיקרוסקופ	שני מיקרוסקופים עם חבית אחת/שתי מצלמות CCD
גודל תצוגה	סנטימטרי 15
רזולוציית מערכת הדמיה	2μm	1.5μm	1.5μm		1.5μm
מסכה ומרחק מדידת המצע	0.5 מיקרומטר	0.3 מיקרומטר
ממד אלכסוני של משטח יעד CCD	1/3, (6 מ"מ)						40 מ"מ ~ 110 מ"מ
גודל שולחן עריכת	≤ מרובע 5*5 אינץ' (מפרט להתאמה אישית)
גודל מצע	Φ 100 מ"מ או 100*100 מ"מ ריבוע	60*49.5 מ"מ ריבוע	2 "-4"		1"x1"-5"x5"
עובי התשתית	1-3mm	≤5 מ"מ	1-3mm		≤5 מ"מ
משאבת ואקום	אילם ללא שמן（-0.07～－0.08MPα）
אוויר דחוס נקי	≥0.4MPα
ספק כוח	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
דרגת חדר נקי	כיתת 100
טמפרטורת חדר נקי	25 ℃ ± 2 ℃
לחות יחסית של חדר נקי	≤60%
משרעת רטט של חדר נקי	≤4 מיקרומטר
גודל ציוד	1300 × 720 × 1600 מ"מ				1500 × 800 × 1600 מ"מ
משקל ציוד	200kg				280kg

לייצור מערכת יישור דיוק גבוהה צריכה להיות תהליך מכני דיוק כמעט מושלם. בעיה טכנית נוספת של מערכת יישור היא מיקרוסקופ יישור. על מנת לשפר את שדה הראייה של המיקרוסקופ, מכונות ליתוגרפיה מתקדמת רבות משתמשות בתאורת LED. ישנן שתי סטים של מערכת יישור עם פונקציית מיקוד. הוא מורכב בעיקר משתי עיניים ושני שדות ראייה המכוונים לגוף הראשי של המיקרוסקופ, זוג אחד של עינית וזוג אחד של עדשות אובייקטיביות (מכונת ליטוגרפיה מספקת בדרך כלל עינית ועדשת אובייקטיבית עם הגדלה שונה למשתמשים). הפונקציה של מערכת יישור CCD היא להגדיל את סימני היישור של המסכה והדגימה ולתת תמונה שלהם על הצג.

שלב חלקי העבודה הוא חלק מרכזי במכונת הליטוגרפיה, המורכבת משלב התנועה הכוללת של דגימת המסכה (XY), שלב התנועה היחסית של דגימת המסכה (XY), שלב הסיבוב, מנגנון פילוס הדגימה, מנגנון מיקוד הדגימה. , שלב הוופל, מהדק המסכה ושלב המסכה הנשלפת. מנגנון הרמה לדוגמה כולל מושב כדור והמיספרה. בתהליך הרמה, ראשית, אוויר לחץ מופעל על מושב הכדור ועל חצי הכדור, ולאחר מכן מושב הכדור, חצי הכדור וחתך המדגם נעים כלפי מעלה דרך גלגל היד המתמקד, כך שניתן ליישר את החלק המדגם כנגד המסכה, ולאחר מכן שסתום הסולנואיד הדו-כיווני מעביר את מושב הכדור ואת חצי הכדור לוואקום לצורך נעילה כדי לשמור על מצב הרמה.

מינדר-הייטק מביאה לך טכנולוגיה מתקדמת לפוטוליתוגרפיה באמצעות מכונת יישור/יישור.

האם אתה נאבק עם דיוק לא מספיק בזמן הדפסת מעגלים על המוצרים האלקטרוניים שלך? עם מכונת יישור/יישור של Minder-Hightech, אתה יכול לנוח בידיעה שתשיג דיוק ברמה גבוהה בייצור המעגלים המודפסים שלך.

עם פריט מהפכני זה, אתה יכול להעביר בצורה חלקה תמונה ברזולוציה גבוהה למוצר באמצעות פוטוליתוגרפיה. מכונה זו מבטיחה דיוק באמצעות מערכת תפעולית של יישור החומר לתמונה.

לאחר הדפסת והעלאת התמונות, המכונה מחשבת את כמות החשיפה הנדרשת וכיצד יישור החומר עם אזכור התמונות. חישוב זה נעשה באמצעות תוכנת המחשב העדכנית ביותר הניתנת לעדכון כדי לעמוד בהתפתחות הטכנולוגית בענף הייצור.

זה יאפשר לך ליצור מגוון רחב, כולל מיקרו-מעגלים, מעגלים בתדר רדיו (RF) ומעגלים מובנים. היחידה יכולה לייצר את עומק החריטה, רוחב המסילה ויישור שכבה לשכבה הטובים ביותר באמצעות הוספת הליכים משלימים שונים, כגון תחריט כימי וציפוי אלקטרוני.

היתרון של המוצר שלנו טמון ביכולתו לייצר יישור גבוה, מה שמבטיח שדוגמאות ממוקמות בדיוק רב על החומר. אתה יכול להדפיס בנוחות הרבה עיצובים מסובכים ללא כל עיוותים.

הוא ידידותי למשתמש, קומפקטי ויעיל, מה שהופך אותו מתאים למתקני ייצור שונים או לגודל החברה. בנוסף, המכשיר שלנו מגיע עם תחזוקה ידנית והדרכה באתר עם צוות התמיכה הטכנית שלנו.

מכונת היישור/יישור של מינדר-הייטק משתמשת בטכנולוגיית פוטוליתוגרפיה כדי לעזור לך להשיג את התוצאות הטובות ביותר בזמן הדפסת המעגלים שלך. התנסה ברמה חדשה של טכנולוגיה שמציעה לך דיוק ודיוק גבוהים שלא ניתן להשתוות לשיטות הדפסה מסורתיות. מכונת היישור/יישור של מינדר-הייטק היא מה שחברת הייצור שלך צריכה כדי להישאר צעד לפני המתחרים. צור איתנו קשר עוד היום כדי ליהנות מהיתרונות של טכנולוגיית Aligner/Alignment Machine הטובה ביותר בשוק.