הכלה / מכונת התאמה פוטוליתוגרפיה , China הכלה / מכונת התאמה פוטוליתוגרפיה Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור מוצרים

מכונת ליתוגרפיה למיכל מכוון

מכונת מכוון למיכל משמשת בעיקר לפיתוח ויצור של מעגלים משלבים קטנים ומتوוכים, רכיבי חומרה חשמלית, תחומים אופטו-אלקטרוניים, תחומים של גלי קול על פני שטח, מעגלי דק ורכיבי אלקטרוניקה חזקה
התקן.Aligner מסכה ידוע גם בשם: מכונה לאלינמנט והשעיה, מערכת חשיפה, מערכת ליתוגרפיה וכו ', הוא המלך של ציוד לייצור חיפושיות. זה משתמש בטכנולוגיה דומה להדפסת תמונות כדי להדפיס את הדפוסים הקטנים על המסכה אל הפלטה הסיליקונית באמצעות חשיפה באור
מורכב בעיקר מ: שולחן עבודה עם אינספורציה מדויקת, מיקרוסקופ אנכי דו-עין עם שדה ראייה מופרד, מיקרוסקופ אופקי דו-עין עם שדה ראייה מופרד, מצלמה דיגיטיטלית, מערכת זיכרון תצוגה ממוחשבת, ראש חשיפה מרובע נקודות אור (fly eye), מערכת בקר PLC, מערכת אוויר דחוס, מערכת וואקום, פומבי וואקום ישיר, שולחן עבודה עם הגנה מפני רעידות שנייה וארון עזר

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

מאפיין

1. ראש חשיפה fly-eye עם אחידות גבוהה / מנגנון הרמת שטף אוויר / חשיפה בהדבקהvakuumliable. התאמה גבוהה.
2. שיטת התאמת מסכות על ידי שמירה יציבה ושיגור משטח הבסיס, מה שמבטיח את התאימות של כוח ההדרכה והכוח.
3. שימוש בהדרכת ישר ללא פערים, דיוק גבוה, מהירות גבוהה.
4. כל מודל מתאים לעבודה עם כל פוטורזיסטים סטנדרטיים. כמו AZ, Shipley, SU 8.
5. כל מודל האיכות של התבנית שמועברת על ידי המערכת למשטח לאחר חמש פעולות מסך צריכה להיות זהה לאיכות התבנית לאחר הפעולה הראשונה של המסך.
6. זמן חשיפה ניתן להגדרה בין שנייה אחת לשעה אחת. דיוק התאמת 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

מפרט

דגם	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
סוג חשיפה	צד אחד			התאמת שני צדדים וחשיפה בשני צדדים
מצב חשיפה	מגע קשה, רך ואלתרון ללא מגע
כמות ראש חשיפה	1 ראש חשיפה			2 ראש חשיפה
סוג מקור אור	נורה כדורית של חמצן עם כספית GCQ350						ראש חשיפה UV(LED)
שיטת קירור	קירור אוויר
אזור חשיפה	Φ100מ"מ	110×110mm	Φ100מ"מ		150mm×150mm
מצב חשיפה	תואם עם מגע קשה, רך
אי-שווה בהשראת	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
דقة השראת	2μm	1 μm
עוצמת קרן (365 נמ)	≥6mw/ cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
אי-הומוגניות של העמודה	≤±4%	≤±3%
זווית סטייה מקסימלית של אור אולטרה-סגול	4°	3°
טווח תאורה	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		לפני ואחרי ≥ Φ115mm
מצב תקון שגיאות契	התקנה אוטומטית חצי-כדורי			הסרה אוטומטית		פיצוי indemnification אוטומטית של 3 נקודות
טווח התנועה של צירי X ו-Y	±4 מ"מ	±5 מ"מ	±4 מ"מ		±5 מ"מ
טווח התנועה של θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
תדרוך תזוזה של מסד XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
מערכת מיקרוסקופ	שני מיקרוסקופים בודדים / שתי מצלמות CCD
גודל תצוגה	15 אינץ'
תדרוך מערכת צילום	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
מרחק מידה בין מסכה למשטח הבסיס	0.5 µm	0.3 µm
ממד אלכסוני של משטח המטרה של CCD	1⁄3, (6mm)						40mm～110mm
גודל שולחן הגדרה	≤ ריבוע 5*5 אינץ' (תנאים לפי בקשת הלקוח)
גודל בסיסים	Φ 100mm או ריבוע 100*100mm	ריבוע 60*49.5 מ"מ	2"-4"		1"x1"-5"x5"
עובי בסיס	1-3mm	≤5 מ"מ	1-3mm		≤5 מ"מ
משאבת ואקום	אוויר דחוס ללא שמן (־0.07～－0.08MPα)
אוויר דחוס נקי	≥0.4MPα
ספק כוח	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
דרגת חדר נקי	כיתה 100
טמפרטורת החדר נקי	25℃±2℃
ריכוז לחות של החדר נקי	≤60%
עוצמת רעידות בחדר נקי	≤4μm
גודל ציוד	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
משקל ציוד	200 ק"ג				280 ק"ג

הצורך בייצור מערכת התאמת דיוק גבוה הוא להחזיק במערכת מכנית בעלת דיוק כמעט מושלם. בעיה טכנית נוספת של מערכת ההתאמה היא המיקרוסקופ של המערכת. כדי להגדיל את שדה הראייה של המיקרוסקופ, הרבה מכונות דפוס עם דיוק גבוה משתמשות באור LED. יש שתי מערכות התאמה עם תכונה של התמקדות. הן מורכבות בעיקר משני עיניים ושני שדות ראייה שמכוונים למיקרוסקופ העיקרי, זוג מראה וזוג עדשות אובייקטיב (מכונות הדפסה מספקות למשתמשים מראות ועדשות אובייקטיב עם כפיפיות שונות). תפקיד המערכת CCD של מערכת ההתאמה הוא להגדיל את סימני ההתאמה של המסכה והדגימה ולהציג אותם על המוניטור.

המגמה של חתיכת העבודה היא חלק מפתח במכונה לפוטוליתוגרפיה, שכוללת את מגרש התנועה הכוללת של הדגם והמדגם (XY), את מגרש התנועה היחסית של הדגם והמדגם (XY), את מגרש הסיבוב, את מנגנון השיווי משקל של המדגם, את מנגנון התמקדות של המדגם, את מגרש הפלאף, את קלאם המ스크 ואת מגרש המסק עם תזוזה. מנגנון השיווי משקל כולל כיסא כדור וספירה חצי-גלובית. בתהליך השיווי משקל, ראשית, אוויר UNDER מופעל על הכיסא הכדורי ועל הספירה החצי-גלובית, ולאחר מכן הכיסא הכדורי, הספירה החצי-גלובית וחתיכת המדגם עולים דרך גלגל התמקדות, כך שהמדגם ישתווה כנגד המסק, ואז ציר השליטה בהילוך של שלושה נתיבים מחליף את הכיסא הכדורי והספירה החצי-גלובית לvacuum כדי להעניק נעילה שמורכת את מצב השיווי משקל.

Minder-Hightech מביאה לכם טכנולוגיה מתקדמת לפוטוליתוגרפיה באמצעות מכונת.Aligner/Alignment

האם אתה מתקשה עם דיוק לא מספיק WHILE הדפסת קרקעות על המוצרים האלקטרוניים שלך? עם מכונת.Aligner של Minder-Hightech你可以 להירגע לדעת שתקבל דיוק גבוה בהדפסת הקרקעות שלך.

עם פריט מהפכני זה, אתה יכול להעביר ללא שבירות תמונה בדרגה גבוהה של התמונות באמצעות פוטוליתוגרפיה. המכונה מבטיחה דיוק דרך מערכת פעילה של התאמת החומר לתמונה.

לאחר שהתמונות נדפסו ונתעלו, המכונה מחשבת את כמות ההשראור הדרוש והאיך שהחומר מתאים לתמונות. החישוב נעשה באמצעות תוכנה מחשבית חדשה@update עד כדי התאמה להתפתחות הטכנולוגית בתעשיית הייצור.

זה יאפשר לך ליצור טווח רחב של מוצרים, כולל מיקרוקרקים, קרקים רדיו-תדריים (RF) וקרקים מובנים. היחידה יכולה לייצר את עומק ההשחתה הטוב ביותר, רוחב מסלול וסימון התאמה בין שכבות באמצעות הוספת מגוון תהליכיםPLEMENTALים, כמו השחתה כימית והצטברות חשמלית.

היתרון של המוצר שלנו נמצא בכישוריו לייצר תאמה גבוהה, שמבטיחה שהדפוסים ממוקמים עם דיוק רב על החומר. אתה יכול להדפיס Conveniently תכונות מורכבות רבות ללא כל פגיעה.

הוא קל לשימוש, קטן ויעיל, מה שגורם לו להיות מתאים למשתלות ייצור שונות או לגודל החברה. בנוסף, המכשיר שלנו מגיע עם תחזוקה ידנית והכשרה באתר עם צוות התמיכה הטכנית שלנו.

המכונה של Minder-Hightech ליצירת התאמה משתמשת בטכנולוגיית פוטוליתוגרפיה כדי לעזור לך להשיג את התוצאות הטובות ביותר בעת הדפסת המעגלים שלך. חוו מפלגה חדשה של טכנולוגיה שמציעה דיוק ו정확ות גבוהים שאינן ניתנים השוואה על ידי שיטות הדפסה מסורתיות. המכונה של Minder-Hightech להתאמה היא מה שהחברה היוצרת שלך צריכה כדי להישאר צעד לפנימי התחרות. תקן איתנו קשר היום כדי להנות מתועלת הטכנולוגיה המובילה ביותר של מכונת התאמה בשוק.