Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

דף הבית
עלינו
MH Equipment
פִּתָרוֹן
משתמשים מחוץ לארץ
וידאוideo
צור קשר איתנו
בית> MH Equipment> מחק ומשחצן
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP
  • ניקוי אוטומטי לאחר CMP

ניקוי אוטומטי לאחר CMP

תיאור המוצר

ציוד טיהור לאחר טיהור וויפר כימיקלי מכני

טיהור לאחר CMP

תכונות מכונה

יכולת תהליך חזקה
גלישה דו-חדרית עם טווח רחב של התאמה לתהליכים
המתקן תופס שטח קטן, עם מימדים של 2200 * 800 * 2200 (mm)

תחומי יישום

גלישה לאחר CMP בקוטרים של 6-8 אינץ'
ניקוי לאחר גרירת SIC או משטחים אחרים

פרמטרים טכניים

ניקוי לאחר CMP באורך 4 אינץ' ו-6 אינץ'
עיצוב דו-חדרי, פעולת חדר עצמאית לחילוף לח והוצאת יבשה או כניסה יבשה והוצאת יבשה
יבוש סיבוב מהיר SRD

יחידת LoadPort, יחידת טעינה

LoadPort היא יחידת הטעינה של המכשיר זה
הובלה של מגש לח
יש לה פונקציית ריסוס לחיה

יחידת מברשת, יחידת ניקוי לוחות

יחידת דו-חדרים, מסוגלת לתמוך בשתי תמיסות ניקוי שונות
מיקום הריצה ניתן להתאים על פי המתכון

יחידת SRD, יחידת יבשת גבישים

יבשיית ספין מסוג מחבטת גלילים, במהירות מקסימלית של 4000RPM
יכול לבצע AS ניקוי על פני השטח של לוחות וזרוק DIW

יחידת פתיחה, יחידת חיתוך

יחידת Unload יש FFU עצמאית כדי להבטיח את נקיון הפלט של לוחות

מעביר

אזור רטוב הוא מחברת חגורה
אזור יבש לטלפורטציה של רובוט.

תיאור יחידת המברשת

כפי שמוצג בתמונה השמאלית, יחידת המברשת של המכשיר מורכבת משתי יחידות מברשת, כלומר BU1 BU2.
הלחץ של מברשת בכל יחידה יכול להיבדוק בנפרד (כפי שצוין בתכנית), וכל יחידת לוח מברשות יכולה להינקה בנפרד עם פתרונות ניקוי כימיים שונים.
מברשת המכונה היא מברשת PVA, שהיא הסוג הנפוץ בשוק.
ההובלה בין המרחבים היא על ידי מזחלת. יש binnen DIW RINSE בתוך המרחב

יחידה SRD

היחידה SRD מצוידת ב-CHUCK לחיזוק וב-Z ARM, שיכולים לנטרל ולסובב את השטח הפיזי של הwafer.
מפרט
מידות ציוד:
2200 * 800 * 2200 (mm)
שיטות טעינה ופריקה
יובש לתוך/לח לתוך/יובש החוצה
מספר יחידות מברשות
2
מספר יחידות SRD
1
שיטת תחבורה
הובלה בפס נטול, הובלה רובוטית באזור יבש
גודל המתקן עם תא גלישה של 1 הוא 1850 * 800 * 2200
אריזה & שipment
פרופילrofile של החברה
שאלות נפוצות
1. אודות מחיר:
כל המחירים שלנו הם מתחרים ונגופי-משא ומתן. המחיר משתנה בהתאם לתצורה והסיבוכיות של ההעתקה של המכשיר שלך.

2. אודות דוגמה:
אנחנו יכולים לספק לך שירותי ייצור דוגמאות, אך עשויים להיות עליך לשלם כמה סכומים.

3. על תשלום:
לאחר שהתוכנית מאושרת, יש להשלים תחילה תשלום מזומן, והמפעל יתחיל להכין את המוצרים. לאחר שה
ציוד יהיה מוכן ואתה תשלם את השארית, נשלח אותו.

4. על משלוח:
לאחר השלמת ייצור המיתוג, נשלח אליכם את וידאו ההסכמה, ואתם גם יכולים לבוא לאתר כדי להעריך את המיתוג.

5. התקנה ובדיקה:
לאחר שהמיתוג מגיע למפעל שלכם, נוכל לשלוח מהנדסים להתקין ולהדביק את המיתוג. נספק לכם הצעת מחיר נפרדת עבור שכר השירות הזה.

6. על אחריות:

למיטלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם ניזוקים וצריכים להוחלף, נטיל רק את מחיר העלות.

חֲקִירָה

חֲקִירָה Email WhatsApp Top
×

צור קשר