מלטש מכני מכני אוטומטי CMP, סין מלטש מכני כימי מכני CMP אוטומטי יצרני, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

ATOM יחיד צלחת CMP

תכונות מחשב

המכשיר גמיש ויכול לתמוך במספר ראשים.
יכולת העיבוד של הציוד קרובה לרמת הדגם המרכזי של מוצרים באותו גודל.
עקביות טובה של תהליך בין מכשירים.

שדות יישום

4-8 אינץ' STI, ILD/IMD, TSV, TGV ליטוש משטח של תרכובות כגון SiC, LT, LN, GaAs וכו'

פרמטרים טכניים

ראשים בגודל 4 אינץ', 6 אינץ', 8 אינץ', בקרת ריבוי אזורים
סוג צלחת Φ20 אינץ' 508 מ"מ
דיוק בקרת לחץ ראש<0.05PSI
דיוק בקרת מהירות סיבוב ראש ולוח <2RPM

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-53

1. יחידת LoadPort

ניתן להפוך את היציאה כדי לטבול את הקסטה ב-Qtank, ולמנוע היווצרות של גבישי Slurry על גבי
משטח מלוטש של וואפר. מצויד בפונקציית מיפוי קלטות.

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-54

2. יחידת אחזור רובוטחומר

מצויד ברובוט 4 צירים, הוא יכול להעביר אוטומטית פרוסות מקסטה ליחידת הליטוש.

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-55

3. יחידת פוליש

יחידה זו מצוידת בלוח * 1, ראש * 1, מחשב *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 ונקודת קצה EPD
זיהוי. זה יכול להשיג טעינה ופריקה אוטומטית של פרוסות, בקרת ראש מרובת אזורים, Slurry
נקודת נחיתה משתנה עם הגדרות מתכון, זיהוי נקודת קצה ופונקציות אחרות.

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-56

ראש פוליש CMP

ראשי הפוליש המוגדרים במכשיר זה פותחו, תוכננו ומיוצרים באופן עצמאי על ידי החברה שלנו.
ביניהם, ראש 4 אינץ' 3 חללים הוא מוצר ייחודי שנוצר על ידי החברה שלנו, הממלא את החסר של שום ראש 4 אינץ' רב חללים בסין. חברתנו יכולה לשנות או להתאים במהירות את ה-head בהתאם למאפייני המוצר של הלקוח. בפיתוח מוצרי TGV סרט דק (200um), המבנה הפנימי של הראש שונה כדי לעמוד בדרישות של ליטוש סרט דק. במהלך תהליך הפיתוח של טכנולוגיית ליטוש משטח LN OX, החברה שלנו שדרגה עמוקות את הראש בגודל 6 אינץ' ועמדה בהצלחה בדרישות המוצר של הלקוח.

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-57

יישומים

תהליך ליטוש יישור IC מסורתי;

תהליך TGV/TSV；

חיתוך חכם והדבקה מוקדמת CMP；

ליטוש מצע SIC/ ליטוש גליום ארסניד.

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-58

מִפרָט

נָמָל	כמות * 1, עם Q-tank
Robotic	כמות * 1, להעברת רקיק
HCLU	כמות * 1, לטעינה ופריקה אוטומטית של ופלים
ליטוש ראש	כמות * בקרת חלל 13, דיוק בקרה של 0.1PSI, יכול לתמוך בפעולות של 400-1200 UM.
ליטוש מהירות ראש	5-150RPM
ליטוש דיסק	כמות * 1 דיסק ליטוש גודל 508 מ"מ, מהירות כרית ליטוש 10-150 סל"ד.
זרוע חיתוך	כמות * 1 כרית פוליש. ניתן ללטש את רפידת הליטוש אונליין (בו זמנית) או לא מקוון (לאחר ליטוש). הגזירה הזרוע מצוידת בפיר חיתוך, שיכול להסתובב ולנוע מעלה ומטה, וניתן לשלוט במהירות ובכוח הירידה. ה כלי חיתוך מותקן על פיר הזיזום והוא יכול להיות מהיר הוסר. בהתאם לסוגים השונים של רפידות ליטוש, מוגדרים סוגים שונים של כלי חבישה, כולל חבישה מברשות, טבעות יהלומים ודיסקיות יהלומים.
יחידת בקרת לחץ אוויר UPA ראש ליטוש	כמות * 13Zone מתכוונן לאפקט יישור פני השטח טוב יותר
משאבת אספקת נוזל ליטוש	כמות * 2. משאבות פריסטלטיות משמשות לאספקת נוזלים, עם 2 משאבות פריסטלטיות המוגדרות לספק ליטוש שונה נוזלים לדיסק הליטוש. ניתן להשתמש בכל משאבה בכל שלב בתהליך.
Slurry Arm	כמות * 1 יכולה לשלוט בנקודת הנחיתה של התרחיץ ויכולה לנקות את כרית הליטוש.
מערכת בקרת הפעולה יכולה להשיג שליטה ברמת המשתמש, כגון מצב מפעיל, מצב תחזוקה ומצב טכני, ו- var מצבים אחרים נשלטים על ידי סיסמאות. תוכנת המערכת יכולה לערוך את פרמטרי התהליך של כל שלב תהליך ולשטח ו להבריק את הסרט הדק על משטח השבב לפי התוכנית. זה יכול לפקח על מצב הפעולה של ציוד, לפקח עיבוד פרמטרים בזמן אמת, והתוכנה יכולה לאחסן באופן אוטומטי נתוני תהליך שונים. מצויד בעצירת חירום לחצן, המשמש להפסקת פעולת הציוד מיידית ולניתוק מתח הבקרה.

אריזה ומשלוח

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-59

מוצר אוטומטי יחיד platen מלטש כימי מכאני מלטש cmp-60

פרופיל החברה

שאלות נפוצות

1. על המחיר:
כל המחירים שלנו תחרותיים וניתנים למשא ומתן. המחיר משתנה בהתאם למורכבות התצורה וההתאמה האישית של המכשיר שלך.

2. על מדגם:
אנו יכולים לספק שירותי ייצור לדוגמה עבורך, אך ייתכן שתספק כמה עמלות.

3. לגבי תשלום:
לאחר אישור התוכנית, עליך לשלם לנו תחילה פיקדון, והמפעל יתחיל להכין את הסחורה. לאחר ה
הציוד מוכן ואתה משלם את היתרה, אנחנו נשלח אותו.

4. על משלוח:
לאחר סיום ייצור הציוד, נשלח אליכם את סרטון הקבלה, ותוכלו גם להגיע לאתר לבדיקת הציוד.

5. התקנה וניפוי באגים:
לאחר הגעת הציוד למפעל שלך, נוכל לשלוח מהנדסים כדי להתקין ולאפות באגים בציוד. אנו נספק לך הצעת מחיר נפרדת עבור עמלת שירות זו.

6. על אחריות:
לציוד שלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם פגומים ויש להחליפו, אנו נגבה רק את מחיר העלות.