מברשת כימית מכנית אוטומטית למשטח יחיד של פלטה של וויפר , China מברשת כימית מכנית אוטומטית למשטח יחיד של פלטה של וויפר Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

ATOM Single Platen CMP

תכונות מכונה

המכשיר הוא גמיש ויכול לתמוך במספר ראשיות.
היכולת התהליך של המתקן קרוב לרמת המודל המרכזי של מוצרים באותו הגודל.
עקביות טובה של תהליך בין מכשירים.

תחומי יישום

טיפוח בקוטר 4-8 אינץ' STI, ILD/IMD, TSV, TGV וטיפוח פני שטח של תרכובות כמו SiC, LT, LN, GaAs וכו'.

פרמטרים טכניים

ראשות בגודל 4 אינץ', 6 אינץ' ו-8 אינץ', עם שליטה רב-זונתית.
סוג של לוח טיפוח Φ20 אינץ' 508MM.
דיוק שליטה בלחץ הראש <0.05PSI.
דיוק שליטה במהירות סיבוב של הראש והלוח <2RPM.

יחידה של LoadPort.

הפורט יכול להפוך כדי לטבול קסטט' ב-Qtank, מה שמונע את היווצרותystals קריסטלים של Slurry על
השטח הטופח של הוויפר. מצויד בפונקציית Cassette Mapping.

יחידה לאיסוף חומרים רובוטי.

מצויד ברובוט בעל ארבע צירים, שיוכל להעביר אוטומטית וויפרים מקסטט' ליחידת הטיפוח.

3. מה? יחידת הפוליר

יחידה זו מצוידת עם צלחת * 1, ראש * 1, PC *
1, זרוע המוצק * 1, HCLU * 1, ו- EPD נקודת הסיום
גילוי. זה יכול להשיג טעינה אוטומטית של גבישים ופרדה, בקרת ראש רב-אזורי,
נקודת נחיתה משתנה עם הגדרות של המתכון, זיהוי נקודת קצה ותפקודים אחרים.

ראש מברח CMP

ראשי הפוליש שנקבעו במכשיר זה פותחו, תוכננו וייצרו באופן עצמאי על ידי החברה שלנו.
בין אלה, ראש 4 אינץ'3 חלל הוא מוצר ייחודי שנוצר על ידי החברה שלנו, מילוי הפער של לא רב חלל ראש 4 אינץ'בסין. החברה שלנו יכולה לשנות במהירות או להתאים אישית את הראש בהתאם לתכונות של המוצר של הלקוח. בפיתוח מוצרי סרט דק TGV (200um), המבנה הפנימי של הראש שונה כדי לענות על דרישות של ניקוי סרט דק. במהלך תהליך הפיתוח של טכנולוגיית ניקוי OX של פני השטח LN, החברה שלנו שפרה עמוק את ראש 6 אינץ 'ויפגשה בהצלחה את דרישות המוצר של הלקוח.

יישומים

תהליך מיצוי שטוח מסורתי של IC;

תהליך TGV/TSV;

CMP חיתוך חכם וקישור מקדים;

מיצוי בסיס SIC/מיצוי גליום ארסניד.

מפרט

נמל	כמות * 1, עם אגף Q
רובוט	כמות * 1, להעברת פלטות
HCLU	כמות * 1, לטעינה ופריקה אוטומטית של פלטות
ראש מיצוי	כמות * 13 שליטה במעיינות, דיוק שליטה של 0.1PSI, יכול לתמוך בפעולות של פלטות בגודל 400-1200 מיקרו מטר.
מהירות קדמת מברשת	5-150DPM
מברשת דיסק	כמות * 1 מברשת דיסק גודל 508 מ"מ, מהירות מברשת פד 10-150dpm.
זרוע חיתוך	כמות * 1 מברשת פד. המברשת הפד יכולה להבריש מקוון (במקביל) או מחוץ לקו (לאחר ההברשה). החיתוך הזרוע מצוידת בשフト חיתוך, שיכולה לסובב ולזוז למעלה ומטה, ומהירות והכח כלפי מטה ניתנים לשליטה. כלי החיתוך מותקן על השフト של החיתוך והוא יכול להוסר במהירות לפי סוגי המברשות השונים, כלים שונים לבושה מותקנים, כולל בושת brushes, אבנים יקרות טבעות, ואבני יקרות דיסקים.
יחידה שליטה בלחץ אוויר לראש מבריק UPA	כמות * 13 תזמון ניתן להדרכה ליעילות שטח טובה יותר של השטח הממיש
מARNING נוזל מבריק	כמות * 2. מימרים פריסטלטיים משמשים להאספקת נוזל, עם שני מימרים פריסטלטיים מתוכננים כדי להגיש מבריקות שונות נוזלים לתוך דיסק המבריק. כל מימר יכול לשמש בכל שלב של התהליך.
זרוע חומר מבריק	כמות * 1 יכולה לשלוט בנקודה בה חומר מבריק נוחת ויכולה לנקה את המבריק-pad.
המערכת שליטת הפעולה יכולה להשיג שליטה ברמת משתמש, כמו מצב מפעיל, מצב תחזוקה, ומודי טכני, והโหมด השונים נשלטים על ידי סיסמאות. תוכנת המערכת יכולה לערוך את הפרמטרים התהליך של כל שלב תהליך ומישור ו למברך את.slim-העל פני הפלאף לפי התוכנית. היא יכולה לעקוב אחר מצב פעולת המכשיר ולעקוב אחר מפרטים של תהליך בזמן אמת, והתוכנה יכולה לאחסן אוטומטית את נתוני התהליך השונים. מצויד עם כפתור עצירה חירום כדי להפסיק מיד את פעולת המתקן ולקרוע את זרם הבקרה.

אריזה & שipment

פרופילrofile של החברה

שאלות נפוצות

1. אודות מחיר:
כל המחירים שלנו הם מתחרים ונגופי-משא ומתן. המחיר משתנה בהתאם לתצורה והסיבוכיות של ההעתקה של המכשיר שלך.

2. אודות דוגמה:
אנחנו יכולים לספק לך שירותי ייצור דוגמאות, אך עשויים להיות עליך לשלם כמה סכומים.

3. על תשלום：
לאחר שהתוכנית מאושרת, יש להשלים תחילה תשלום מזומן, והמפעל יתחיל להכין את המוצרים. לאחר שה
ציוד יהיה מוכן ואתה תשלם את השארית, נשלח אותו.

4. על משלוח:
לאחר השלמת ייצור המיתוג, נשלח אליכם את וידאו ההסכמה, ואתם גם יכולים לבוא לאתר כדי להעריך את המיתוג.

5. התקנה ובדיקה:
לאחר שהמיתוג מגיע למפעל שלכם, נוכל לשלוח מהנדסים להתקין ולהדביק את המיתוג. נספק לכם הצעת מחיר נפרדת עבור שכר השירות הזה.

6. על אחריות:
למיטלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם ניזוקים וצריכים להוחלף, נטיל רק את מחיר העלות.

דף הבית

עלינו

MH Equipment

פִּתָרוֹן

משתמשים מחוץ לארץ

וידאוideo

צור קשר איתנו

מברשת כימית מכנית אוטומטית למשטח יחיד של פלטה של וויפר

תכונות מכונה

תחומי יישום

פרמטרים טכניים

יחידה של LoadPort.

יחידה לאיסוף חומרים רובוטי.

3. מה? יחידת הפוליר

מוצרים נוספים

סדרה MD-FS של מכונת כריכה לקפצרים

סדרה MD-FDS של מכונת כריכה אוטומטית לקפצרים

סדרה MD-EFS - מכונה לסיבוב קפצ'ר

סדרה MD-EDFS - מכונה לסיבוב קפצ'ר מסוג סרט

חֲקִירָה

Articles

Products

Get In Touch