סגנוןצורת מבנה |
אופקי, מערכת חד-טובה או רב-טובה בקרת אוטומטית |
מתאים לגודל וויפר |
2-8 ″ |
שיטה לשליחה ולקבלת וויפר |
ספינה קוארטצית אוטומטית עם מנגנון דחיפה-משיכה, שמשולבת עם אخذ ושחרור ידני של שבבים. |
טמפרטורה מקסימלית |
1050℃ |
טמפרטורת עבודה |
400 ℃~850 ℃ תקן מתמשך |
יציבות טמפרטורה בנקודה אחת |
400℃~850℃≤±0.5℃/24h |
ריקון מערכת גבול |
טוב יותר מ-1Pa |
מהירות ריקון |
זמן ריקון לגבול ≤ 15 דקות |
טווח לחץ עבודה |
5Pa ל-1 × 105Pa תקן מתמשך |
ספק כוח |
3 פאזה 5-תubi 380V±10%, 50Hz |
מים להקרנה |
2~4 ק"ג/סמ², 8ל'/דקה; |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
