וופר לשטח |
גוֹדֶל |
אינצ'ים |
4,5,6,8 |
קאסטיין וופר |
מספר |
- |
2 |
דרך חיכוך |
- |
שיטת גרירת תקיעתית אנכית |
|
ציר מוט גלגל גרירה |
סוגים |
- |
מצעי אוויר |
כמות |
- |
2 |
|
מהירות |
סל"ד |
0~5000 |
|
הספק פלט |
קילוואט |
5.5/7.5 |
|
העתק |
מ"מ |
150 |
|
מהירות אספקה |
מיקרון/ש |
0.01~100 |
|
מהירות קדימה מהירה |
מ"מ/דקה |
300 |
|
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
ציר גוף עבודה |
סוּג |
- |
גלגלים כדוריים |
כמות |
- |
3 |
|
סוג כף שטח |
- |
ספוגים קרמיים |
|
שיטת סחיבה של וויפר |
- |
הצמדה בvakuum |
|
מהירות |
סל"ד |
0~300 |
|
העברת מעבר של וויפר |
- |
זרוע רובוט |
|
- |
דיסק מסתובב |
||
פונקציות נוספות |
Zentrierung של וויפר |
- |
העתקת פין |
ניקוי וויפר |
- |
ניקוי מים ואוויר, יבוש ספין |
|
ניקוי כוסי שטיה |
- |
ניקוי אבן שמן |
|
גלגל הגריבה |
מ"מ |
φ200 |
|
באינטרנט מדידה |
טווח מדידה |
ממ |
0~1800 |
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
מדויק חוזר |
ממ |
±0.5 |
|
עיבוד דיוק |
דיוק פנימי-וואפר (TTV) |
ממ |
≤2 |
דיוק בין וואפרים (WTW) |
ממ |
±3 |
|
ח意见反馈ת משטח (Ry) |
ממ |
0.13(2000#סיום) |
|
מראה |
צביעת מראה |
ממ |
דפוס כתום |
ממדים(ר×ע×ג) |
מ"מ |
1200×2750×1950 |
|
משקל |
ק"ג |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved