דגם |
MDTS-WT2200 |
מספר צירים של דקיקה |
2 |
מספר ספסלי עבודה |
3, שיטת אינדקס |
ציר מוט גלגל גרירה |
מספר צירי אוויר: 2 מנוע ציר: מנוע תדר משתנה של 7.5 קילוואט מהירות: 0~6000 סיבובים לדקה, התאמה ללא שלבים מימדי גלגל חיתוך: Φ203 מ"מ סוג גלגל חיתוך: גלגל חיתוך יהלומי |
מערכת אספקת גלגל חיתוך |
כמות: 2 קבוצות שיטת שליטה במערכת תזון: מסלול LM וספירלה כדורית הרכבה מנוע הובלה: מנוע סרבו מהירות תזון מינימלית: 0.1 מיקרון/שנייה מהירות תזון מקסימלית: 50 מ"מ/שנייה |
שולחן עבודה |
כמות: 3, מצב אינדקס מנוע ציר: מנוע סרבו מהירות: 0~300 סיבובים לדקה, ניתן להגביר ללא שלבים שיטת היצמדות: היצמדות חלולה |
טבלת עבודה מסתובבת |
מצב הובלה: מנוע סרבו טווח围 סיבוב: 0~240° צורת מיקום: מיקום מדויק בעזרת חיישן |
עובי אוטומטי מערכת מדידה |
שיטת מדידה: מדידה בזמן אמת באמצעות מגע IPG מקוון מספר ראשי מידה: 2 חיישן מידה: חיישן ברמה של 0.1 מיקרון |
העלאה אוטומטית\ מערכת הורדה |
סוג תיבה: קאסטת 6-8 אינץ', 25 שכבות שיטת העלאה\הורדה אוטומטית: משתמש במניפולטור וויפר כדי לוודא שוויפרים דקים מועברים ללא נזק עובי וויפר: 150מ"מ-1000מ"מ |
פונקציית ניקוי שולחן עבודה |
שיטת ניקוי: מברשת שמן & מים + אוויר דו-זרמי |
ניקוי אוטומטי/ מערכת יבוש |
ניקוי: נוזל מים DIW שיטת יבוש: النفחה + יבוש מהירות: עד 1000rpm תואם ללא שלבים |
מערכת ביטול סטטיות |
סרגל יונים או פנימת אוריאון |
מקרר ספינדל |
טמפרטורה: 18-22°C שיעור זרימה: 4~8L/דקה |
מערכת בקרה |
מערכת שליטה: מערכת שליטה ב-PC, מסך מגע עם אור אזהרה בצבעים שלושה INTERFACE אדם-מכונה בשני שפות: סינית/אנגלית |
גודל וויפר מקסימלי |
תואם עד 8 אינץ' מקסימום |
טווח מהירות |
0~6000 RPM |
מהלך ציר Z |
160 מ"מ |
מהירות הזנה ציר Z |
0.1~100מיקרון/שניה |
מהירות חזרה מהירה של ציר Z |
50 מ"מ לשנייה |
דقة ציר Z |
0.1um |
טווח מדידת עובי מקוון |
0~1800 מ"מ |
דقة מדידת עובי מקוון |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved