פלזמה
|
RF
|
RF
|
||
כוח
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
BIAS
|
600w(אופציה)
|
600w(אופציה)
|
||
טווח תוקף
|
4~8 אינץ'
|
4~8 אינץ'
|
||
מספר פרוסות עיבוד יחיד
|
1
|
2
|
||
מימדים חיצוניים
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
בקרת מערכת
|
מערכת שליטה תעשייתית
|
מערכת שליטה תעשייתית
|
||
רמת רמת אוטומציה
|
אוטומטי
|
אוטומטי
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved