מערכת תחריט פלזמה אינדוקטיבית (ICP) ציוד מוליכים למחצה, סין מערכת תחריט פלזמה אינדוקטיבית (ICP) ציוד מוליכים למחצה יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

מערכת תחריט פלזמה (icp) עם צימוד אינדוקטיבי

מערכת תחריט פלזמה אינדוקטיבית (ICP) פרטי ציוד מוליכים למחצה

מערכת תחריט פלזמה אינדוקטיבית (ICP) ספק ציוד מוליכים למחצה

מערכת חריטת פלזמה אינדוקטיבית (ICP) מפעל ציוד מוליכים למחצה

תוצאת תהליך

תחריט קוורץ / סיליקון / סורג

שימוש במסכת BR כדי לחרוט חומרי קוורץ או סיליקון, לתבנית מערך הסורגים יש את הקו הדק ביותר עד 300 ננומטר ותלולות הדופן של התבנית קרובה ל-> 89°, שניתן ליישם על תצוגה תלת מימדית, התקנים מיקרו אופטיים, תקשורת אופטו-אלקטרונית, וכו

תחריט מתחם / מוליכים למחצה

בקרה מדויקת של טמפרטורת פני הדגימה יכולה לשלוט היטב במורפולוגיית התחריט של חומרים מבוססי GaN, GaAs, InP וחומרי מתכת. הוא מתאים להתקני LED כחולים, לייזרים, תקשורת אופטית ויישומים אחרים.

מערכת תחריט פלזמה אינדוקטיבית (ICP) ייצור ציוד מוליכים למחצה

תחריט חומר על בסיס סיליקון

הוא מתאים לחריטת חומרים מבוססי סיליקון כגון Si, SiO2 ו-SiNx. הוא יכול לממש תחריט קו סיליקון מעל 50nm וחריטת חור עמוק סיליקון מתחת ל-100um

מִפרָט

תצורת פרויקט ומבנה מכונה

פריט	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
גודל מוצר	≤6 אינץ'	≤8 אינץ'	≤6 אינץ'	≤8 אינץ'	מותאם אישית≥12 אינץ'
מקור כוח SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
מקור כוח BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
משאבה מולקולרית	לא קורוזיבי: 600/1300 (L/s)/מותאם אישית			נגד קורוזיה: 600/1300 (L./s)/מותאם אישית		600/1300(L/s) /מותאם אישית
משאבת פורליין	משאבה מכנית/משאבה יבשה			משאבה יבשה נגד קורוזיה		משאבה מכנית/משאבה יבשה
משאבת קדם שאיבה	משאבה מכנית/משאבה יבשה			משאבה מכנית/משאבה יבשה
לחץ תהליך	לחץ לא מבוקר/0-0.1/1/10 לחץ מבוקר טור
סוג גז	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (עד 12 ערוצים, ללא גז מאכל ורעיל)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ מותאם אישית (עד 12 ערוצים)
טווח הגז	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	כן לא			יש
בקרת טמפרטורה לדוגמה	10°C~חדר / -30°C~150°C /מותאם אישית			-30°C~200°C/מותאם אישית
קירור הליום אחורי	כן לא			יש
רירית חלל תהליך	כן לא			יש
בקרת טמפרטורת קיר חלל	לא/חדר טמפ'-60/120°C			טמפרטורת החדר~60/120°C
מערכת בקרה	אוטומטי/מותאם אישית
חומר תחריט	בסיס סיליקון: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... חומרים אורגניים: יחסי ציבור/אורגני סֶרֶט......			בסיס סיליקון: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... חומר מגנטי / חומר סגסוגת חומרים מתכתיים: Ni/Cr/Al/Cu/Au... חומרים אורגניים: יחסי ציבור/סרט אורגני...... תחריט סיליקון עמוק