מִבְנֶה |
להמחיש |
חשיפת השיש |
אזור חשיפה: משטח, אזור מיקום המצע |
מערכת אופטית |
אזור דפוס פליטת לייזר |
מערכת בקרת איכות הסביבה |
שליטה בטמפרטורה הפנימית ובלחץ החיובי של המכשיר |
מערכת פלטפורמה |
שולט בתנועת טבלת החשיפה להשלמת פעולת נתיב החשיפה |
מערכת בקרה |
מערכת בקרה של כל הציוד |
'מס |
סביבה |
דרוש |
1 |
סביבת מקור אור |
אור צהוב |
2 |
טֶמפֶּרָטוּרָה |
22 ℃ ± 2 ℃ |
3 |
לחות |
50% ± 10% |
4 |
נִקָיוֹן |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa，200LPM, אוויר יבש ונקי |
6 |
ספק כוח |
220~240V、50/60Hz、2.5KW；חוט ההארקה חייב להיות מוארק， |
7 |
מי קירור |
טמפ': 10℃ ~ 20℃ לחץ: 0.3MPa ~ 0.5MPa קצב זרימה: 20 ליטר לדקה הפרש לחץ: 0.3MPa以上 השתלט על קליבר: Rc3/8 |
8 |
מָקוֹם מִפגָשׁ |
רמה: ±3 מ"מ/3000 מ"מ ניעור: מיסב VC-B: 750 ק"ג/㎡ |
10 |
אינטרנט |
יציאת רשת אחת |
11 |
גודל מכונית |
1300 * 1100 * 2100mm |
12 |
משקל המכשיר |
1500kg |
'מס |
פרויקט |
מפרט. |
הֶעָרָה |
1 |
החלטה |
0.6um/או דרישה אחרת |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
עובי התשתית |
0.2 מ"מ ~ 4 מ"מ |
|
4 |
דיוק רשת תאריך |
60nm |
|
5 |
כיסוי |
± 500 ננומטר |
130mmx130mm |
6 |
דיוק תפירה |
± 200 ננומטר |
AZ703 |
7 |
גודל חשיפה MAX |
190X190mm |
|
8 |
התפוקה |
≥300 מ"מ/דקה |
≤50mj/cm2； |
9 |
מקור אור |
LD 375nm |
|
10 |
כוח אור |
6W |
|
11 |
אחידות אנרגטית |
≥% 95 |
|
12 |
חיים אור |
10000hr |
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
לא
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
