MCXJ-MLS8 מערכת ליתיוג ללא מסכה , China MCXJ-MLS8 מערכת ליתיוג ללא מסכה Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

דוגמה:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

תרשים מבנה ציוד

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

מפרט

תרשים מבנה מארח חשיפה

מבנה	ממחיש
חשיפת השולחן	אזור חשיפה: שולחן, אזור הנחת משטח
מערכת אופטית	אזור יצור פליטת לייזר
מערכת בקרת סביבה	בקר את הטמפרטורה הפנימית והלחץ החיובי של המכשיר
מערכת פלטפורמה	בוקר את תנועת שולחן ההשראה כדי להשלים את פעולת נתיב ההשראה
מערכת בקרה	מערכת הבקרה של כל המתקנים

הערה: עקב לשדרוג המכונה עלול להשתנות המראה האמיתי, הנושא הספציפי תלוי במכסה האמיתית.

לא.	סביבה	דורש
1	סביבה מקור אור	אור צהוב
2	טמפרטורה	22℃±2℃
3	רטובות	50%±10%
4	ניקיון	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, אוויר יבש ונקוי
6	ספק כוח	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; על החוט הארצי להיות מחובר לאדמה,
7	מים להקרנה	טמפרטורה: 10℃~ 20℃ לחץ: 0.3MPa ~ 0.5MPa זרימה: 20L/דקה הפרש לחץ: מעל 0.3MPa קוטר חיבור: Rc3/8
8	מקום האירוע	רמה: ±3mm/3000mm רעידות: VC-B מוטס: 750kg/מ"ר
10	אינטרנט	פתחת רשת אחת
11	גודל מכונה	130011002100mm
12	משקל המכשיר	1500 ק"ג

לא.	פרויקט	-תדריך.	הערה
1	רזולוציה	0.6מ"מ/או דרישה אחרת	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1מ"מ
3	עובי בסיס	0.2מ"מ～4מ"מ
4	דיוק רשת תאריך	60נ"מ
5	השכבה	±500נ"מ	130mmx130mm
6	דיוק תקיעת מחט	±200nm	AZ703
7	גודל חשיפה מקסימלי	190X190mm
8	הפקה	≥300mm2/דקה	≤50mj/ס"מ2;
9	מקור אור	LD 375nm
10	כוח אור	6W
11	הומוגניות אנרגיה	≥95%
12	חיים של אור	10000hr

אריזה & שipment

פרופילrofile של החברה

יש לנו 16 שנים של נסיון במכירות ציוד. אנו יכולים להציע לכם פתרון מקצועי כולל של שורות חבילה לבידוד סמי-קונדוקטורים מהסיניים, כולל שלבים ראשוניים וסופיים.