יחידת מארח פלזמה ואקום(100) |
||
גודל ציוד |
L 1000×W 900×H 1750mm |
|
מִשׁקָל |
500Kg |
|
ביקוש אספקת חשמל |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 קווים, 25A (סוג פתוח כולל מעל C) |
|
מפרט מחולל פלזמה |
||
כּוֹחַ |
תדר רדיו |
תדר ביניים |
0 ~ 600W |
0-1000W |
|
תדירות אספקה |
13.56MHz |
40 קילו הרץ |
שואב אבק |
||
משאבת ואקום |
משאבת סיבובית (משאבת שמן): 60 מ"ק לשעה |
|
צינור ואקום |
כל קו נירוסטה, כמו גם מפוח ואקום חוזק גבוה |
|
איכות חומר |
אלופר |
|
עוֹבִי |
25mm |
|
אטימות |
חותם ריתוך ברמה צבאית |
|
מידות פנימיות של החלל |
450*450*500 מ"מ (רוחב* גבוה * עומק) |
|
פלטה חשמלית גודל יעיל |
322*351 מ"מ (רחב *עומק) |
|
מרווח שטח פנוי |
20mm |
|
סידור צלחות אלקטרו |
לוח אלקטרודה אופקית |
|
מגשים |
סט סטנדרטי, חומר אופציונלי (אלומיניום, רשת תיל פלדה) |
|
מרחב עבודה |
8 שכבה |
|
תהליך גז |
||
טווח זרימה |
0~300SCCM |
|
תוואי גז לעיבוד |
סטנדרטי עם שתי דרכים, ניתן להתאים אישית. צינור גז התהליך עשוי מפרופלון |
|
לנווט |
||
SC |
PLC |
|
מצב אינטראקטיבי |
מסך מגע 7 אינץ' |
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת