יחידת מארח פלזמה ואקום (100) |
||||
גודל ציוד |
L 1000×W 900×H 1750mm |
|||
מִשׁקָל |
500Kg |
|||
ביקוש אספקת חשמל |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 קווים, 25A (סוג פתוח כולל מעל C) |
|||
מפרט מחולל פלזמה |
||||
כּוֹחַ |
תדר רדיו |
תדר ביניים |
||
0 ~ 600W |
0-1000W |
|||
תדירות אספקה |
13.56MHz |
40 קילו הרץ |
||
שואב אבק |
||||
משאבת ואקום |
משאבת סיבובית (משאבת שמן): 60 מ"ק לשעה |
|||
צינור ואקום |
כל קו נירוסטה, כמו גם מפוח ואקום חוזק גבוה |
|||
איכות חומר |
אלופר |
|||
עוֹבִי |
25mm |
|||
אטימות |
חותם ריתוך ברמה צבאית |
|||
מידות פנימיות של החלל |
450*450*500 מ"מ (רוחב* גבוה * עומק) |
|||
פלטה חשמלית גודל יעיל |
322*351 מ"מ (רחב *עומק) |
|||
מרווח שטח פנוי |
20mm |
|||
סידור צלחות אלקטרו |
לוח אלקטרודה אופקית |
|||
מגשים |
סט סטנדרטי, חומר אופציונלי (אלומיניום, רשת תיל פלדה) |
|||
מרחב עבודה |
8 שכבה |
|||
תהליך גז |
||||
טווח זרימה |
0~300SCCM |
|||
תוואי גז לעיבוד |
סטנדרטי עם שתי דרכים, ניתן להתאים אישית. צינור גז התהליך עשוי מפרופלון |
|||
לנווט |
||||
SC |
PLC |
|||
מצב אינטראקטיבי |
מסך מגע 7 אינץ' |
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת