יחידת פלזמה בvakum (150) |
||
גודל ציוד |
L 1100×W 940×H 1755 מ"מ |
|
משקל |
600 ק"ג |
|
מגזר כוח לפי דרישה |
AC380V, 50/60Hz, 5 קווים, 25A (סוג פתוח כולל C ומעלה) |
|
תנאים של גנרטור פלזמה |
||
כוח |
תדר רדיו |
תדר בינוני |
0~1000W |
0-2000W |
|
תדר אספקה |
13.56 מגה-הרץ |
40 K Hz |
מערכת וואקום |
||
משאבת ואקום |
מ唧 מונופול לייפ VSV 65 + מ唧 בוס Lots BSJ 70 |
|
קו תרמוסטטי |
כל הקו עשוי מסת"ל, וכן חיבוטי תרמוסטף חזקים |
|
איכות איכות quality |
אלופר |
|
עובי |
25 מ"מ |
|
סגורות |
חתימת דיוידים במגמה צבאית |
|
מימדים פנימיים של המגש |
500*500*600mm (רוחב * גובה * עומק) |
|
מידת לוח החשמל הפועלת |
372(W) X 451(D)mm |
|
מרחב זמין |
24mm |
|
סדרה חשמלית |
לוח אלקטר קתוד אופקי |
|
מגש |
קבוצה סטנדרטית, החומר ניתן לבחירה (אלומיניום, רשת פלדה) |
|
מרחב עבודה |
8 שכבות |
|
גז תהליך |
||
טווח זרימה |
0~300SCCM |
|
נתיב גז תהליך |
סטנדרטי בשני צינורות, ניתן להתאים. צינור הגז של תהליך עשוי מפרופילון |
|
מערכת בקרה |
||
SC |
בקרת מחשב שולחני |
|
מצב אינטראקטיבי |
INTERFACE של Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved