יחידת מארח פלזמה ואקום(150) |
||
גודל ציוד |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|
מִשׁקָל |
600Kg |
|
ביקוש אספקת חשמל |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 קווים, 25A (סוג פתוח כולל מעל C) |
|
מפרט מחולל פלזמה |
||
כּוֹחַ |
תדר רדיו |
תדר ביניים |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
תדירות אספקה |
13.56MHz |
40 קילו הרץ |
שואב אבק |
||
משאבת ואקום |
משאבת מונופול לזינוק VSV 65 + משאבת Bowse Lots BSJ 70 |
|
צינור ואקום |
כל קו נירוסטה, כמו גם מפוח ואקום חוזק גבוה |
|
איכות חומר |
אלופר |
|
עוֹבִי |
25mm |
|
אטימות |
חותם ריתוך ברמה צבאית |
|
מידות פנימיות של החלל |
500*500*600 מ"מ (רוחב* גבוה * עומק) |
|
פלטה חשמלית גודל יעיל |
372(W) X 451(D) מ"מ |
|
מרווח שטח פנוי |
24mm |
|
סידור צלחות אלקטרו |
לוח אלקטרודה אופקית |
|
מגשים |
סט סטנדרטי, חומר אופציונלי (אלומיניום, רשת תיל פלדה) |
|
מרחב עבודה |
8 שכבה |
|
עיבוד גז |
||
טווח זרימה |
0~300SCCM |
|
תוואי גז לעיבוד |
סטנדרטי עם שתי דרכים, ניתן להתאים אישית. צינור גז התהליך עשוי מפרופלון |
|
מערכת בקרה |
||
SC |
שליטה במחשב |
|
מצב אינטראקטיבי |
ממשק חלונות |
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת