יחידת מארחת פלזמה חלולה (150) |
||||
גודל ציוד |
L 1100×W 940×H 1755 מ"מ |
|||
משקל |
600 ק"ג |
|||
מגזר כוח לפי דרישה |
AC380V, 50/60Hz, 5 קווים, 25A (סוג פתוח כולל C ומעלה) |
|||
תנאים של גנרטור פלזמה |
||||
כוח |
תדר רדיו |
תדר בינוני |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
תדר אספקה |
13.56 מגה-הרץ |
40 K Hz |
||
מערכת וואקום |
||||
משאבת ואקום |
מ唧 מונופול לייפ VSV 65 + מ唧 בוס Lots BSJ 70 |
|||
קו תרמוסטטי |
כל הקו עשוי מסת"ל, וכן חיבוטי תרמוסטף חזקים |
|||
איכות איכות quality |
אלופר |
|||
עובי |
25 מ"מ |
|||
סגורות |
חתימת דיוידים במגמה צבאית |
|||
מימדים פנימיים של המגש |
500*500*600mm (רוחב * גובה * עומק) |
|||
מידת לוח החשמל הפועלת |
372(W) X 451(D)mm |
|||
מרחב זמין |
24mm |
|||
סדרה חשמלית |
לוח אלקטר קתוד אופקי |
|||
מגש |
קבוצה סטנדרטית, החומר ניתן לבחירה (אלומיניום, רשת פלדה) |
|||
מרחב עבודה |
8 שכבות |
|||
גז תהליך |
||||
טווח זרימה |
0~300SCCM |
|||
נתיב גז תהליך |
סטנדרטי בשני צינורות, ניתן להתאים. צינור הגז של תהליך עשוי מפרופילון |
|||
מערכת בקרה |
||||
SC |
בקרת מחשב שולחני |
|||
מצב אינטראקטיבי |
INTERFACE של Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved