MD-SPV150 ואקום פלזמה מכונת טיפול פלזמה מעבד ניקוי פלזמה, סין MD-SPV150 ואקום פלזמה מכונת טיפול משטח פלזמה יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

MD-SPV150 מטפל משטח פלזמה ואקום

MD-SPV150 ואקום פלזמה מכונת טיפול משטח פלזמה מעבד מעבד לניקוי ניקוי פלזמה

היתרונות של ניקוי פלזמה בוואקום

ניקוי פלזמה הוא שיטה חשובה לשינוי פני חומר ונמצאת בשימוש נרחב בתחומים רבים.
ולכמה שיטות ניקוי מסורתיות, כגון ניקוי קולי, ניקוי UV וכו', יש את היתרונות הבאים:
（א） טמפרטורת עיבוד נמוכה
טמפרטורת העיבוד יכולה להיות נמוכה עד 80 מעלות צלזיוס - 50 מעלות צלזיוס. טמפרטורות עיבוד נמוכות מבטיחות ללא השפעות תרמיות על משטח המדגם.
（B） ללא זיהום במהלך כל התהליך
מנקה הפלזמה עצמו הוא מכשיר ידידותי מאוד לסביבה שאינו גורם לזיהום כלשהו, ואינו גורם לזיהום במהלך תהליך הטיפול.
（C） אפקט עיבוד יציב
השפעת הטיפול של ניקוי פלזמה אחידה ויציבה מאוד, והשפעת שמירה על המדגם לאחר תקופה ארוכה טובה.
（D） יכול להתמודד עם דוגמאות של צורות שונות
עבור דגימות מורכבות, ניקוי פלזמה יכול למצוא את הפתרון הנכון.

חלק ממדגם

MD-SPV150 ואקום פלזמה מכונת טיפול משטח פלזמה ניקוי מעבד ייצור מעבד

מִפרָט

יחידת מארח פלזמה ואקום (150)
גודל ציוד	L 1100×W 940×H 1755mm
מִשׁקָל	600Kg
ביקוש אספקת חשמל	AC380V, 50 / 60Hz, 5 קווים, 25A (סוג פתוח כולל מעל C)
מפרט מחולל פלזמה
כּוֹחַ	תדר רדיו	תדר ביניים
		0 ~ 1000W	0-2000W
תדירות אספקה	13.56MHz	40 קילו הרץ
שואב אבק
משאבת ואקום	משאבת מונופול לזינוק VSV 65 + משאבת Bowse Lots BSJ 70
צינור ואקום	כל קו נירוסטה, כמו גם מפוח ואקום חוזק גבוה
איכות חומר	אלופר
עוֹבִי	25mm
אטימות	חותם ריתוך ברמה צבאית
מידות פנימיות של החלל	500500600 מ"מ (רוחב* גבוה * עומק)
פלטה חשמלית גודל יעיל	372（W） X 451(D) מ"מ
מרווח שטח פנוי	24mm
סידור צלחות אלקטרו	לוח אלקטרודה אופקית
מגשים	סט סטנדרטי, חומר אופציונלי (אלומיניום, רשת תיל פלדה)
מרחב עבודה	8 שכבה
עיבוד גז
טווח זרימה	0~300SCCM
תוואי גז לעיבוד	סטנדרטי עם שתי דרכים, ניתן להתאים אישית. צינור גז התהליך עשוי מפרופלון
מערכת בקרה
SC	שליטה במחשב
מצב אינטראקטיבי	ממשק חלונות