מארח פלזמה ואקום(200) |
||
גודל ציוד |
1050×1700×1050 מ"מ (רוחב, גובה ועומק) |
|
מִשׁקָל |
800Kg |
|
לדרוש כוח |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
מפרט מחולל פלזמה |
||
חשמל רשת |
תדר רדיו |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
תדירות כוח |
13.56MHz |
קילוהרץ 40 |
שואב אבק |
||
משאבת ואקום |
משאבת Feiyue חד קוטבית VSV100+משאבת שני השורשים BSJ70 |
|
קו ואקום |
כל צינורות הנירוסטה, ומפוח ואקום בעל חוזק גבוה |
|
חוֹמֶר |
סגסוגת אלומיניום |
|
עוֹבִי |
25mm |
|
אטימות |
חותם מרותך בדרגה צבאית |
|
מידות פנימיות של חלל |
600×600×600 מ"מ (W×H×D) |
|
גודל יעיל של לוחית האלקטרודה |
472 X 451 מ"מ (W×D) |
|
שטח פנוי |
35mm |
|
פריסת לוחית אלקטרודה |
לוח אלקטרודה אופקית |
|
מגש עבודה |
סט אחד הוא סטנדרטי, והחומר הוא אופציונלי (אלומיניום, רשת פלדה) |
|
מרחב עבודה |
רצפות 8 |
|
עיבוד גז |
||
טווח זרימה |
0~300SCCM |
|
מעגל גז לעיבוד |
מצויד בגז O2, Ar, N2 תלת כיווני |
|
מערכת בקרה |
||
בקרת מערכת |
שליטה במחשב |
|
מצב אינטראקטיבי |
ממשק Windows |
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת