MDHS-AL8 מכונה ליתיוג אוטומטית חד-צדדית בגודל 8" , China MDHS-AL8 מכונה ליתיוג אוטומטית חד-צדדית בגודל 8" Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

MDHS-AL8 מכונה ליתיוג אוטומטית חד-צדדית בגודל 8"

1. תבנית עבודה: רובוט ההעלאה מטען אוטומטית פלטות מהקופסה הניתנת להחזרה A-B לשולחן התאמה מוקדם

שולחן עבודה, ובאמצעות התאמה של תבליט מיקום המצלמה ומערכת סיבוב אוטומטית, מושגת ההערכה המוקדמת של התבליט; הרובוט של הטעינה מטיל את התבליטים שהוערכו מראש על שולחן ההתאמה. באמצעות זיהוי תמונה ממוחשב ומיזוג מערכת התאמה אוטומטית, ניתן להשיג התאמת אוטומטית של התמונות על מסך המגננה והתבליטים. גם ניתן להשלים חשיפה אחת ללא התאמת התמונות. לאחר חשיפה אוטומטית על ידי מערכת החשיפה עודף, הרובוט של הפינוי ממקם אוטומטית את התבליטים לתוך הקופסה של התבליטים C-D (ניתן להחזיר).
2. שטח חשיפה: 160 × 160 מ"מ;
3. אי-הומוגניות באור החשיפה: ≤ 3%;
4. עוצמת חשיפה: 0~≥ 40mw/ס"מ2🎉(זווית קרן 2 °);
5. זווית קרן UV: ≤ 3 °;
6. אורך גל מרכזי של אור אולטרה-סגול: 365nm;
7. תקופת חיים של מקור אור UV: ≥ 20000 שעות;
8. יכולת הפרדה: 0~≥ 1000um🎉(זווית קרן 2 °);
9. דיוק התאמה: ≤ ± 1.5 μ M;
10. דיוק חשיפה: חשיפה בהגעה ± 1 μ m. הפרדה של חשיפה קרובת של 20 μ M זווית קרן 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. שיטות חשיפה: חשיפה בהגעה קשה, הגעה רכה, והשגת חשיפה קרובת;
12. מצב חשיפה: ניתן לבחור בין חשיפה חד פעמית או חשיפה עם אופסט;
13. מערכת זיהוי תמונה וסיבוב מוקדם (כולל שולחן עבודה למיקום מוקדם): זווית סיבוב Q ≥ ± 180 °, דיוק סיבוב Q ≤ 0.01 °;
14. מערכת זיהוי תמונה והזנה אוטומטית (כולל שולחן עבודה להזנה UVW): טווח התאמה X Y ≥ ± 5mm, זווית סיבוב Q ≥ ± 3 °, ושני העדשות של המיקרוסקופ נשלטים על ידי שני תחנות חשמליות XYZ.
15. גודל מסך: 5 "× 5" ו-7" × 7 ";
16. גודל וויפר: 4 "ו-6";
17. תחנות עבודה לקופסאות סרט עליונות ותחתונות: שתי תחנות עבודה;
18. כריות אוויר לתמיכת רגלים
19. זרוע רובוטית דו-זרוע לטעינה ופריקה: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. מספר ווופרים בתיבה של הווופרים: נקבע על פי מספר הווופרים בתיבת הווופרים של הלקוח;
21. העלאה של שולחן helyezése: Z ≥ ± 25 מ"מ;
22. זמן חשיפה: ניתן להתאים מ-0 עד 999.9 שניות;
23. קצב ייצור:> 120 חלקי בשעה;
24. תשתית חשמלית: חד-フェזה AC220V 50Hz, הצריכה ≤ 3KW;
25. לחץ אוויר נקי: ≥ 0.4MPa;
26. רמת ואקום: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. גודל: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. משקל: כ-400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

המכונה זו מורכבת מראש חשיפה אולטרה-סגול עם LED, מערכת זיהוי תמונה והגירה אוטומטית, שולחן עבודה להעלאה מוקדמת, ומערכות זיהוי דומה לתמונה וההיאמה אוטומטית, שולחנות lavoro להיאמה, רובוטי טעינה, רובוטי פטירה, מדפים, וציוד שליטה חשמלית, כולל חלקי עזר וכו'.

מפרט

1. ראש חשיפה: ראש חשיפה אולטרה-סגול אחד עם LED (365nm);
2. שולחן זיהוי תמונה ותפיסה מוקדמת:
1) מצלמה אחת (1.3 מיליון פיקסלים)
2) מתקן מיקום מרכזי
3) קבוצת מסד סיבוב אחת (מופעלת על ידי מנוע סרוו)
4) מערכת מיקום אחת
3. מערכת זיהוי תמונה והעתקה אוטומטית:
1) שתי מצלמות (5 מיליון פיקסלים בתדירות גבוהה)
2) שני עדשות (עדשות ברזולציה גבוהה 4x)
3) מחשב תעשייתי אחד
4) מושל אחד (נשלט על ידי PLC)
5) קבוצת אחת של פלטפורמת התאמת (משתמשת במנוע צעד 5-פזים)
6) קבוצת מערכת ספורט
7) התקן הלוח העליון משתמש במנוע להעלאת והורדת
7) התוכנה משתמשת בגרסה האחרונה של LabVIEW Professional Edition
4. זרוע מכנית לטעינה ופריקה:
1) X Y. קבוצת Z מנגנון תנועה אוטומטי
2) זרוע רובוט דו-זרועות (זרועות טעינה ופריקה)
5. מנגנון קביעת תיבת וופר:
1) AB הוא הקצון המוקד של תיבת הדיווח
2) CD הוא מיקום קבוע של תיבת סירק הקציעה
3) G הוא מיקום קבוע של תיבת סירק ה-NG
6. פלטפורמה קבעה למכונת צילום:
7. שתי קבוצות של מנגנוני התאמה חשמליים Y.Z (מוחזקים על ידי מנועי סרוו)
8. מדף ו콘סול שליטה חשמלית:
1) מחשב תעשייתי אחד
2) קבוצה אחת של PLC;
3) קבוצה אחת של שסתומים אלקטרומגנטים ומערכת שליטה
4) קבוצה אחת של כלים פנאומטיים דיגיטליים
5) קבוצה אחת של קונסול שליטה
8. חליפות אופציוניות:
1) טראכיאלי: 15 מטרים
2) שני תאי סולנואיד
3) מטיל שואב: יחידה אחת
9. נתוני טכניים:
1) מדריך אחד לשימוש
2) תעודה אחת של התאמה
10. נוסף
התוכנה של המיתוג צריכה להיבנה עם פרוטוקול תקשורת SECS, והקונה מספק ספרייה דינמית עם פונקציית חיבור למערכת MES של הקונה, רישום אוטומטי של מספר גלדה של המוצר, מספר משימה וסטטוס הפעולה והעלאה שלהם. בו זמנית יש לה את הפונקציה לזהות את קוד QR של לוח המסכות, להשוות אותו עם קוד QR של לוח המסכות במערכת MES ולהימנע מהחזרת לוח מסכות שגוי.

אריזה & שipment