MDHS-AL8 8" מכונת ליטוגרפיה חד-צדדית אוטומטית לחלוטין, סין MDHS-AL8 8" מכונת ליטוגרפיה חד-צדדית אוטומטית לחלוטין יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

MDHS-AL8 8 אינץ' מכונת ליטוגרפיה חד צדדית אוטומטית לחלוטין

1. מצב עבודה: רובוט הטעינה טוען אוטומטית פרוסות מקופסת פרוסות AB (הניתנת למחזור) למיקום המוקדם

שולחן עבודה, ובאמצעות התאמת פרוסית מיקום המצלמה ומערכת הסיבוב האוטומטית, מושגת המיקום המוקדם של הפרוסה; לאחר מכן, רובוט הטעינה טוען את הפרוסות הממוקמות מראש על שולחן העבודה היישור. באמצעות זיהוי תמונה ממוחשב והתאמת מערכת היישור האוטומטית, ניתן להשיג את היישור האוטומטי של הגרפיקה על המסכה והוופלים. אפשר גם להשלים חשיפה אחת מבלי ליישר את הגרפיקה. לאחר חשיפה אוטומטית על ידי מערכת חשיפת יתר, רובוט הפריקה מכניס אוטומטית את הפרוסים לקופסת ה-CD (ניתנת למחזור).
2. אזור חשיפה: 160 × 160 מ"מ;
3. עוצמת הארה בחשיפה לא אחידה: ≤ 3%;
4. עוצמת החשיפה: 0~≥ 40mw/cm2 מתכוונן (זווית אלומה 2°);
5. זווית קרן UV: ≤ 3 °;
6. אורך גל מרכזי של אור אולטרה סגול: 365nm;
7. תוחלת חיים של מקור אור UV: ≥ 20000 שעות;
8. קיבולת הפרדה: 0~≥ 1000um מתכוונן;
9. דיוק היישור: ≤ ± 1.5 מיקרומטר;
10. דיוק חשיפה: חשיפה למגע ± 1 מיקרומטר. הפרדת חשיפה קרובה של זווית אלומה של 20 מיקרומטר 2° ≤ ± 2 מיקרומטר
11. שיטות חשיפה: מגע קשה, מגע רך וחשיפה לקרבה;
12. מצב חשיפה: ניתן לבחור בין חשיפה חד פעמית או חשיפה מאופסט
13. זיהוי תמונה מראש מיקום ומערכת סיבוב אוטומטית (כולל שולחן עבודה מראש מיקום): זווית סיבוב Q ≥ ± 180 °, דיוק סיבוב Q ≤ 0.01 °;
14. מערכת זיהוי תמונה ויישור אוטומטי (כולל שולחן עבודה ליישור UVW): טווח יישור XY ≥ ± 5 מ"מ, זווית סיבוב Q ≥ ± 3 מעלות, ושתי עדשות של המיקרוסקופ נשלטות על ידי שתי פלטפורמות חשמליות XYZ.
15. גודל מסכה: 5" × 5" ו-7" × 7";
16. גודל רקיק: 4 "ו-6";
17. תחנות עבודה עם קופסת סרטים עליונה ותחתונה: תחנות עבודה כפולות;
18. כרית אוויר של כרית כף הרגל
19. טעינה ופריקה זרוע רובוטית כפולה: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. מספר פרוסות בקופסת הפרוסים: נקבע על פי מספר הפרוסים בקופסת הפרוסים של הלקוח;
21. הרמת שולחן מיקום: Z ≥ ± 25 מ"מ;
22. תזמון חשיפה: מתכוונן מ-0 ל-999.9 שניות;
23. קצב הפקה:>120 חתיכות לשעה;
24. ספק כוח: חד פאזי AC220V 50Hz, צריכת חשמל ≤ 3KW;
25. לחץ אוויר נקי: ≥ 0.4MPa;
26. דרגת ואקום: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. גודל: 1400 * 1000 * 2100 מ"מ;
28. משקל: כ-400 ק"ג

ספק מכונות ליטוגרפיה חד-צדדיות אוטומטיות לחלוטין MDHS-AL8 8 אינץ'

מכונה זו מורכבת מראש חשיפה אולטרה סגול LED, מערכת זיהוי תמונה וסיבוב אוטומטי, שולחן עבודה מוצב מראש ומערכות זיהוי ויישור אוטומטי של תמונה, ספסלי עבודה ליישור, רובוטים להעמסה, רובוטים לפריקה, מתלים ובקרה חשמלית המורכבת מציוד , אביזרים נלווים וכו'.

מִפרָט

1. ראש חשיפה: ראש חשיפה אולטרה סגול LED אחד (365nm);
2. שולחן עבודה לזיהוי תמונה ויישור מראש:
1) מצלמה אחת (1 מיליון פיקסלים)
2) מתקן מיקום מרכזי
3) סט אחד של פלטפורמה מסתובבת (באמצעות מנוע סרוו)
4) סט אחד של מערכת מיקום
3. מערכת זיהוי תמונה ויישור אוטומטי:
1) 2 מצלמות (קצב פריימים גבוה של 5 מיליון פיקסלים)
2) 2 עדשות (עדשה בחדות גבוהה פי 4)
3) מחשב תעשייתי אחד
4) בקר אחד (נשלט על ידי PLC)
5) סט אחד של פלטפורמת יישור (באמצעות מנוע צעד 5-פאזי)
6) סט של מערכת ספורט
7) התקן הלוח העליון מאמץ מנוע להרמה והורדה
7) התוכנה מאמצת את הגרסה העדכנית ביותר של LabVIEW Professional Edition
4. זרוע מכנית לטעינה ופריקה:
1) X Y. סט של מנגנון תנועה אוטומטי של Z
2) זרוע רובוטית כפולה (זרועות טעינה ופריקה)
5. מנגנון קיבוע קופסת רקיק:
1) AB הוא המיקום הקבוע של תיבת סרט ההזנה
2) CD הוא המיקום הקבוע של תיבת הסרט החיתוך
3) G הוא המיקום הקבוע של תיבת הסרט של מיקום NG
6. פלטפורמה קבועה למצלמה:
7. שני סטים של מנגנוני כוונון חשמליים של YZ (נשלטים על ידי מנועי סרוו)
8. מתלה וקונסולת בקרה חשמלית:
1) מחשב תעשייתי אחד
2) סט אחד של PLC;
3) סט אחד של שסתומי סולנואיד ומערכת בקרה
4) סט מכשירים פנאומטיים דיגיטליים
5) סט אחד של קונסולת בקרה
8. אביזרים נלווים:
1) קנה הנשימה: 15 מטר
2) 2 שסתומי סולנואיד
3) משאבת ואקום: יחידה אחת
9. נתונים טכניים:
1) מדריך למשתמש אחד
2) תעודת התאמה אחת
10. תוספת
תוכנת הציוד צריכה להיות מצוידת בפרוטוקול תקשורת SECS, והרוכש מספק ספרייה דינמית עם פונקציה של עגינה למערכת MES של הקונה, רישום אוטומטי של מספר אצווה המוצר, מספר העבודה וסטטוס הפעולה והעלאתם. במקביל, יש לו את הפונקציה לזהות את קוד ה-QR של לוח המסכה, להשוות אותו לקוד ה-QR של לוחית המסכה של מערכת MES ולמנוע נטילת לוחית מסכה שגויה.

אריזה ומשלוח