MDICP-5000F מכונה לחיתוך פלזמה ICP אוטומטית מלאה / מתקני סמikonטור עם Kopling אינדוקטיבי , China MDICP-5000F מכונה לחיתוך פלזמה ICP אוטומטית מלאה / מתקני סמikonטור עם Kopling אינדוקטיבי Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

MDICP-5000F מתקן חיתוך ICP אוטומטי מלא

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

תקציר

המתקן הוא מערכת שואב עם שני תאים. אחד התאים הוא תא דגימה והשני הוא תא החיתוך. יש בין שני התאים נעילה בשואב, והדגימה מועברת על ידי מניפולטור.
הציוד מורכב בעיקר מסיסת ואקום, מערכת תעלות גז, מערכת חשמל, מערכת שליטה, מערכת קירור, מנגנון אספקת סרט ולקיחתו, מערכת אזהרה, וכו'.

מערכת וואקום

המערכת כוללת פמפה מולקולרית עם מהירות שיפוע של 600 ליטר לשנייה + פמפת ואקום יבשה מיובאת עם מהירות שיפוע של L / s כדי להעלות את תא האטימה לריק גבוה. צוות לחץ דינמי חשמלי מותקן בין הפמפה המולקולרית לתא האטימה. הפמפה היבשה המיובאת היא הפמפת השיפוע התואמת של תא האטימה והפמפת הקדימה של הפמפה המולקולרית. משתמשים בפמפה מכנית נוספת עם מהירות שיפוע של L / s כדי להעלות את תא המדגם לריק. חיבורים מתבצעים באמצעות כבלים סטainless steel בין הפמפה המכנית לחדר הוואקום ולפמפה המולקולרית, וצוות חסימת אוויר אלקטרומגנטי מותקן.

מערכת שליטה בלחץ קבוע

הציוד הוא מותקן עם מערכת שליטה בלחץ קבוע למטה, ותורן שסתום חשמלי מותקן בשורת הוצאת האוויר. באמצעות מדידת מידה של סנכרון סרט (חלקים מיובאים), תורן השסתום נשלט כדי להבטיח שהחדר הוואקום יגיע ללחץ קבוע, מה שמשפר את יציבות התהליך.

מערכת שליטה בלחץ קבוע

מערכת מעגל גז

שתי קבוצות של מזון רדיו-ufreq עם התאמה אוטומטית.

מערכת אזהרה

דרישות בטיחות לציוד.

מפרט

שם	SPC	מותג	מספר/קבוצה	הערה
חדר חיתוך, שורת הוצאת אוויר, חלון לצפייה, פנים שמורות וכו'	סטנדרטי	JSWN	1	מחוסן נגד קריסה
מסגרת, ארון חשמל, חותמות, חלקים סטנדרטיים וכו'	סטנדרטי	JSWN	1
מערכת העלאה של כיסוי תא חיתוך	סטנדרטי	JSWN	1	מחוסן נגד קריסה
אלקטרודה לחיתוך ומערכת תקרור	סטנדרטי	JSWN	1	מחוסן נגד קריסה
מגש מולקולרי (מהירות שטיפת 600 ליטר / ש)	FF620/150	KYKY	1	מחוסן נגד קריסה
מגש יבש להכנסה (מהירות שטיפה 9 ליטרים / ש)	XDS-35I	EDWARDS	1	מחוסן נגד קריסה
מגש מכני (מהירות שטיפה 9 ליטרים / ש)	TRP-36	BWVAC	1
שסתום חשמלי לרגולציה	DCQ-150	JSWN	1	מחוסן נגד קריסה
שסתום חסימה פנומטי עם שקיות אוויר	KF40	JSWN	3	מחוסן נגד קריסה
מונח סרט	KF16	INFICON	1	מחוסן נגד קריסה
בקר זרימת מסה	D07	Sevenstar	4	מחוסן נגד קריסה
בלב דיאפרגמה פנומטי	1/4"רקרוקס	-	4	מחוסן נגד קריסה
菅 סטילית, חיבור菅 וכו'	1/4"רקרוקס	-	4	מחוסן נגד קריסה
מגזר RF / מותאם אוטומטי	-	סין(אופציונליCROWN1310)	1
מגזר RF / מותאם אוטומטי	-	סין(אופציונליCROWN1310)	1
מִדֵּד ריק פּוֹסְתִי	זדפי	ארבי	1
IPC	2U	סין	1
מסך מגע LCD	17 אינץ'	סין	1
מערכת בקרת plc	S7-200	סימנס	1
מערכת שליטה במנוע חשמלי	סטנדרטי	JSWN	1
גילוי מים קרים ומערכת צינורות	סטנדרטי	JSWN	1
גילוי אוויר דחוס ומערכת צינורות	סטנדרטי	JSWN	1
מכונה למים זורקים קריר	HX	סין	1
חדר הזרקה לחיתוך	סטנדרטי	JSWN	1
נעל תחת vakum	SMC	SMC	1
מערכת שליטה במניפולטור	SMC	SMC	1

פרמטר טכני של דואר

1.vakum גבול: חדר חיתוך 9.0×10-5Pa (לחות פנימית≤55%)
חדר הדגמה להזרקה 6.0×10-1Pa
2. חומר חיתוך: Ⅲ, Ⅴ חומר, Si, SiO2 וכו'
3. קצב חיתוך: ~ 1μ לדקה
4. אחידות חיתוך: ≤±5％ (טווח φ125mm)
6. גודל אלקטרודה: φ200mm

אריזה & שipment

כדי להבטיח טוב יותר את בטיחות הסחורה שלך, יינתנו שירותי אריזות מקצועיים, ידידותיים לסביבה, נוחים ויעילים.

פרופילrofile של החברה

יש לנו 16 שנים של נסיון במכירות ציוד. אנו יכולים להציע לכם פתרון מקצועי כולל של שורות חבילה לבידוד סמי-קונדוקטורים מהסיניים, כולל שלבים ראשוניים וסופיים.