MDICP-5000F מכונת תחריט ICP אוטומטית לחלוטין / ציוד מוליכים למחצה פלזמה משולבת אינדוקטיבית , סין MDICP-5000F מכונת תחריט ICP אוטומטית לחלוטין / ציוד מוליכים למחצה יצרני פלזמה מצמודים אינדוקטיביים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

MDICP-5000F מכונת תחריט ICP אוטומטית לחלוטין

תקציר מנהלים

הציוד הוא מערכת ואקום דו קאמרית. תא אחד הוא תא דגימת ההזרקה והשני הוא תא התחריט. מנעול ואקום מותקן בין תא דגימת ההזרקה לתא התחריט, ודגימת ההזרקה מועברת על ידי מניפולטור.
הציוד מורכב בעיקר ממערכת ואקום, מערכת מעגל גז, מערכת חשמל, מערכת בקרה, מערכת קירור, מנגנון הזנה ולקיחת סרטים, מערכת אזעקה וכו'.

שואב אבק

המערכת מורכבת ממשאבה מולקולרית במהירות שאיבה של 600 L/S + משאבת ואקום יבשה מיובאת במהירות שאיבה של L/s לשאיבת תא התחריט לוואקום גבוה. שסתום ויסות לחץ דינמי חשמלי מותקן בין המשאבה המולקולרית לתא התחריט. המשאבה היבשה המיובאת היא משאבת השאיבה המוקדמת של תא התחריט ומשאבת הבמה הקדמית של המשאבה המולקולרית. השתמש במשאבה מכנית אחרת עם מהירות שאיבה של L/s כדי לשאוב את תא המדגם. מפוח נירוסטה משמש לחיבור בין משאבה מכנית לתא ואקום ומשאבה מולקולרית, ומותקן שסתום בלוק פנאומטי אלקטרומגנטי.

מערכת בקרת לחץ קבוע

הציוד מצויד במערכת בקרת לחץ קבוע במורד הזרם, ושסתום חשמלי מתכוונן מותקן בצינור שאיבת האוויר. באמצעות מדידת מד הסרט (חלקים מיובאים), השסתום המתכוונן נשלט כדי לגרום לתא הוואקום להגיע ללחץ קבוע, כדי לשפר את יציבות התהליך.

מערכת בקרת לחץ קבוע

מערכת מעגל גז

שני סטים של ספק כוח RF עם התאמה אוטומטית.

מערכת אזעקה

דרישות בטיחות לציוד.

מִפרָט

שם	Spc	מותג	מס'/סט	הערות
תא תחריט, צינור שאיבת אוויר, חלון תצפית, ממשק שמור וכו'	תֶקֶן	JSWN	1	נגד קורוזיה
מסגרת, ארון חשמלי, אטמים, חלקים סטנדרטיים וכו'	תֶקֶן	JSWN	1
מערכת הרמת מכסה תא תחריט	תֶקֶן	JSWN	1	נגד קורוזיה
אלקטרודת תחריט ומערכת קירור	תֶקֶן	JSWN	1	נגד קורוזיה
משאבה מולקולרית (מהירות שאיבה 600 ליטר לשנייה)	FF620/150	KYKY	1	נגד קורוזיה
משאבת כניסה יבשה (מהירות שאיבה 9 ליטר לשנייה)	XDS-35I	אדוארדס	1	נגד קורוזיה
משאבה מכנית (מהירות שאיבה 9 ליטר לשנייה)	TRP-36	BWVAC	1
שסתום שער וויסות חשמלי	DCQ-150	JSWN	1	נגד קורוזיה
שסתום עצור מפוח פנאומטי	KF40	JSWN	3	נגד קורוזיה
מד סרט	KF16	אינפיקון	1	נגד קורוזיה
בקר זרימת המונים	D07	שבעה כוכבים	4	נגד קורוזיה
שסתום דיאפרגמה פנאומטי	1/4 אינץ' וידיאו	-	4	נגד קורוזיה
צינור נירוסטה, מפרק צינור וכו'	1/4 אינץ' וידיאו	-	4	נגד קורוזיה
ספק כוח RF / התאמה אוטומטית	-	סין (אופציונליCROWN1310)	1
ספק כוח RF / התאמה אוטומטית	-	סין (אופציונליCROWN1310)	1
מד ואקום מרוכב	ZDF	RB	1
IPC	2U	סין	1
מסך מגע LCD	17inch	סין	1
מערכת בקרת PLC	S7-200	סימנס	1
מערכת בקרת כונן חשמלי	תֶקֶן	JSWN	1
זיהוי מי קירור ומערכת צנרת	תֶקֶן	JSWN	1
מערכת זיהוי אוויר דחוס וצנרת	תֶקֶן	JSWN	1
מכונת קירור מים במחזור	HX	סין	1
תא הזרקת תחריט	תֶקֶן	JSWN	1
נעילת ואקום	SMC	SMC	1
מערכת בקרת מניפולטור	SMC	SMC	1

דואר פרמטר טכני

1. הגבלת ואקום: תא תחריט 9.0×10-5Pa (לחות פנימית≤55%)
תא דגימת הזרקה 6.0×10-1Pa
2. חומר תחריט: Ⅲ、Ⅴחומר、Si 、SiO2 וכו'
3. קצב תחריט: ~ 1μ/דקה
4. אחידות תחריט: ≤±5％ (טווח φ125 מ"מ)
6. גודל האלקטרודה: φ200 מ"מ

אריזה ומשלוח