MDPS-560 Pyriform מערכת ריזור תא כפול / ציוד תעשיית מוליכים למחצה , סין MDPS-560 Pyriform מערכת ריזור תא כפול / ציוד תעשיית מוליכים למחצה יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

MDPS-560 Pyriform Double Chamber System Sputtering

משמש להכנת ננו-פילמים פונקציונליים חד-שכבתיים, כולל סרטים קשיחים, מתכתיים, מוליכים למחצה ודיאלקטריים עבור אוניברסיטאות ומוסדות מדע.

תא ואקום מקרטעת, מטרת קפיצת מגנטרון, פטיפון חימום מצע לקירור מים, תא הזרקת דגימות, תא דגימה, חישול, מטרת שטיפה לאחור, מנגנון שליחת דגימת מגנט, מעגל גז, מערכת שאיבה, מערכת מדידת ואקום, מערכת בקרה חשמלית ובסיס הרכבה.

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / ייצור ציוד בתעשיית מוליכים למחצה

מִפרָט

סוּג			MDPS-560 II
תא הקפיצה הראשי			תא ואקום פיריפורמי, גודל: Φ560×350 מ"מ
תא הזרקה לדוגמא			סוג גלילי ואופקי, גודל: Φ250 מ"מ × 420 מ"מ
מערכת שאיבה			משאבה מולקולרית מורכבת עצמאית ומשאבה מכנית עבור תא הקיזוז הראשי ותא הזרקת דגימות.
ואקום אולטימטיבי	תא הקפיצה הראשי	≤6.67×10-6Pa (לאחר אפייה והסרת גז)
ואקום אולטימטיבי		תא הזרקה לדוגמא	≤6.67×10-4Pa (לאחר אפייה והסרת גז)
החזר זמן ואקום	תא הקפיצה הראשי	6.6×10-4Pa לאחר 40 דקות (שאיבה לאחר זמן קצר חשיפה לאוויר ומלא בחנקן יבש)
החזר זמן ואקום		תא הזרקה לדוגמא	6.6×10-3Pa לאחר 40 דקות (שאיבה לאחר זמן קצר חשיפה לאוויר ומלא בחנקן יבש)
מודול מטרת מגנטרון			5 מטרות מגנט קבוע; גודל Φ60 מ"מ (אחת המטרות יכולה לקרטט חומר פרומגנטי). כל המטרות יכולות לקזז RF ו-DC sputtering תואם; והמרחק בין המטרה למדגם מתכוונן מ-40 מ"מ ל-80 מ"מ.
טבלת מהפכת חימום מצע לקירור מים	מבנה מצע	שש תחנות, תנור חימום מותקן בתחנה אחת, והאחרות הן תחנת מצע לקירור מים.
		מידה	Φ30 מ"מ, שש תמונות.
		אופן תנועה	0-360 מעלות, הדדיות.
		חימום	מקסימום טמפרטורה 600℃±1℃
		הטיית מצע שלילית	-200V
מערכת מעגל גז			בקר זרימת מסה דו-כיווני (MFC)
תא הזרקה לדוגמא	תא לדוגמא	שישה פשוטים פעם אחת
		מחשל	מקסימום טמפרטורת חימום 800℃±1℃
		מודול יעד מחדש	ניקוי מחדש
מערכת שליחת מגנטים לדוגמא			משמש להובלת דגימות בין תא הקזת לתא הזרקת דגימות.
מערכת בקרת מחשב			סיבוב דגימה, פתיחה וסגירה של הבלבול ובקרת מיקום המטרה
קומה תפוסה	סט ראשי	2600 × 900mm2
קומה תפוסה		ארון חשמל	700×700 מ"מ (שני סטים)