1. פלטן מתאים: פלטן 12'' ו-8''
2. גודל כדור: ф60[מיקרון]~ ф760 [מיקרון], ф30 [מיקרון] ברמה של בדיקת מעבדה
3. נקודות בומפ על הפלטן:
a). המרחק הקטן ביותר בין נקודות הבומפ: 100 [מיקרון]
b). הגודל הקטן ביותר של שטח הבומפ: 85 [מיקרון]
c). מספר מקסימלי של קפיצות: 2.2KK [פינים]
*הנתונים תקפים תחת תנאים של התקן
4. מקרה של וופר בקוטר 12":
a). עובי מינימלי: 200[מיקרו מ"ר], 100[מיקרו מ"ר] בתנאי בדיקת מעבד
b). סובלנות קעירות מקסימלית: 6 [מ"מ]/מקרה קעור, 3 [מ"מ]/מקרה חלול
5. יכולת תקינה של כדור
a). דיוק הדפסת פלקס
מעל ф75[מיקרו מ"ר] כדור: +25[מיקרו מ"ר]
פחות מ-ф75[מיקרו מ"ר] כדור: +1/3 מהקוטר של הכדור
b). דיוק תקינת כדור
כדור מעל ф75[מ"מ]::±25[מ"מ]
פחות מ-ф75[מיקרו מ"ר] כדור: +1/3 מהקוטר של הכדור
במקרה מיוחד, נוכל להשיג: +13μm
ג). יחס כישלון תקינה של כדורים: פחות מ-30 [ppm]