מיישר מסכות MDXN-25D, סין יישור מסכות MDXN-25D יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

ציוד זה הוא מכונת ליטוגרפיה מדויקת שפותחה על ידי החברה שלנו במיוחד עבור מאפייני השימוש של מכונות ליתוגרפיה במכללות ומוסדות מחקר שונים. הוא משמש בעיקר לפיתוח וייצור של מעגלים משולבים קטנים ובינוניים, רכיבי מוליכים למחצה, התקנים אופטואלקטרוניים, והתקני גל אקוסטיים עיליים.
בהנחה של שמירה על האינדיקטורים הטכניים העיקריים המקוריים של הציוד, ביצענו אופטימיזציה של כמה מבנים ורכיבים של הציוד, צמצמנו כמה פעולות מכניות מיותרות, והבטחנו שנקודות הכשל של הציוד ממוזערות ככל האפשר, ואת הפעולה. של הציוד הוא גם מאוד יציב ואמין.

מִפרָט

פרמטרים טכניים עיקריים

1. סוג חשיפה: חד צדדי.
2. אזור חשיפה: 110×110 מ"מ.
3. תאורת חשיפה לא אחידה: ≤±3%.
4. עוצמת החשיפה: 0-30mw/cm2 מתכוונן.
5. זווית קרן UV: ≤3°.
6. אורך גל מרכזי של אור אולטרה סגול: 365nm.
7. תוחלת חיים של מקור אור UV: ≥500 שעות.
8. אימוץ תריס אלקטרוני.
9. רזולוציית חשיפה: 1 מיקרומטר;
10.טווח סריקה מיקרוסקופי: X:±15 מ"מ Y:±15 מ"מ;
11. טווח יישור: כוונון X,Y ±4 מ"מ; כיוון Q ±3°;
12. דיוק חריטה: 1 μ הדיוק של "גרסת" ו"שבב" של המשתמש חייב לעמוד בתקנות הלאומיות,
ניתן לשלוט בקפדנות על הסביבה, הטמפרטורה, הלחות והאבק. נעשה שימוש בפוטו-רזיסט חיובי מיובא, והעובי של הפוטו-רזיסט האחיד יכול להיותe מבוקר בקפדנות. בנוסף, התהליכים הקדמיים והאחוריים מתקדמים;
13. כמות הפרדה; 0 ~ 50 מיקרומטר מתכוונן;
14. שיטת חשיפה: חשיפה קרובה, שיכולה להשיג מגע קשה, מגע רך, וחשיפה למגע מיקרו כוח; 15.נוסחת מציאת ריבוע:אוויר

אריזה ומשלוח