MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner , סין MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

ציוד זה משמש בעיקר לפיתוח וייצור של מעגלים משולבים קטנים ובינוניים, רכיבי מוליכים למחצה והתקני גל אקוסטיים משטחים. בשל מנגנון הרמה מתקדם וכוח הרמה נמוך, מכונה זו מתאימה לא רק לחשיפה של סוגים שונים של מצעים, אלא גם לחשיפה של מצעים מתפצלים בקלות כמו אשלגן ארסניד ופלדת פוספט, כמו גם לחשיפה של מצעים שאינם מצעים עגולים וקטנים.

מִפרָט

פרמטרים טכניים עיקריים

1. סוג חשיפה: חשיפה צדדית אחת
2. אזור חשיפה: 110X110 מ"מ;
3. אחידות חשיפה: ≥ 97%;
4. עוצמת חשיפה: 0-30mw/cm2 מתכוונן;
5. זווית קרן UV: ≤ 3 מעלות
6. אורך גל מרכזי של אור אולטרה סגול: 365nm;
7. תוחלת חיים של מקור אור UV: ≥ 20000 שעות; (שנתיים אחריות)
8. אימוץ תריס אלקטרוני;
9. רזולוציית חשיפה: 1 מיקרומטר
10.טווח צפייה במצלמה: ± 15 מ"מ Y: ± 15 מ"מ
11. טווח יישור: x: ± 4 מ"מ Y: ± 4 מ"מ Q：±3°.
12. דיוק יישור: 1um (במצב סביבה טוב)
טווח מרחק הפרדה: 13-0um מתכוונן.
14.שיטת חשיפה: חשיפה למגע.(מגע קשה/רך/מיקרו)
15.שיטת איזון: הנפת אוויר.
16. מערכת מיקרוסקופית: מערכת CCD כפולה של שדה ראייה, עדשת אובייקטיבית 1.6X~10X, מערכת עיבוד תמונה ממוחשבת, צג LCD בגודל 19 אינץ'; הגדלה כוללת של 91-570x. מרחק האובייקטיבי: 50-120 מ"מ.
17. גודל מסכה: 127*127 מ"מ; 102*102 מ"מ
18. גודל המצע: Φ102mm；Φ76mm
19. עובי המצע: ≤1 מ"מ
20. זמן חשיפה: 0-999.9 שניות מתכוונן.
21.הספק: 220V 50Hz 1.5kw.
22. מקור אוויר? 0.4Mpa
23.דרגת ואקום: -0.07MPa~-0.09Mpa

אריזה ומשלוח