MDXN-25X מכונת ליטוגרפיה חד צדדית דיוק גבוהה, סין MDXN-25X מכונות ליטוגרפיה חד צדדית דיוק גבוה יצרני, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

ציוד זה הוא מכונת ליטוגרפיה מדויקת שפותחה על ידי חברתנו במיוחד עבור מאפייני השימוש של מכונות ליתוגרפיה במכללות ובמוסדות מחקר שונים. הוא משמש בעיקר לפיתוח וייצור של מעגלים משולבים קטנים ובינוניים, רכיבי מוליכים למחצה, התקנים אופטואלקטרוניים והתקני גל אקוסטיים משטחים.

מפעל מכונת ליטוגרפיה MDXN-25X דיוק גבוה צד אחד

מִפרָט

פרמטרים טכניים עיקריים

1. המכשיר יכול לספוג בוואקום מסכה מרובעת 5 "X5", ללא דרישות מיוחדות לעובי הצלחת (נע בין 1 ל-3 מ"מ).
2. ניתן ליישם את המכשיר על מצע עגול בגודל 100 מ"מ;
3. עובי מצע ≤ 5 מ"מ;
4. תאורה:
מקור אור: נעשה שימוש במנורת כספית כספית בלחץ גבוה במיוחד GCQ350Z.
טווח תאורה: ≤ ф 117 מ"מ אזור חשיפה: ф 100 מ"מ
להישאר ф בטווח של 100 מ"מ, חוסר אחידות החשיפה הוא ≤ ± 3%, ועוצמת החשיפה היא> 6mw/cm2 (מחוון זה נמדד באמצעות מקור אור UV I-line 365nm).
5. מכשיר זה מאמץ ממסר זמן מיובא לשליטה על התריס הפנאומטי, המבטיח פעולה מדויקת ואמינה.
6. מכונה זו היא מכונת חשיפה למגע שיכולה להשיג:
7. חשיפה למגע קשה: השתמש בוואקום בצינור כדי להשיג מגע גבוה בוואקום, ואקום ≤ -0.05MPa
8. חשיפה למגע רך: לחץ המגע יכול להעלות את הוואקום בין -0.02MPa ל-0.05MPa.
9. חשיפה למיקרו מגע: פחות ממגע רך, ואקום ≥ -0.02MPa.
10. רזולוציית חשיפה: הרזולוציה של חשיפה למגע קשה של מכשיר זה יכולה להגיע ל-1 μ מעל m (הדיוק של ה"צלחת" וה"שבב" של המשתמש חייב לעמוד בתקנות הלאומיות, והסביבה, הטמפרטורה, הלחות והאבק יכולים ניתן לשלוט בקפדנות על פוטו-רזיסט מיובא, וניתן לשלוט בקפדנות על עובי הפוטורסיסט האחיד. בנוסף, התהליכים הקדמיים והאחוריים מתקדמים.
11. יישור: מערכת התצפית מורכבת משתי מצלמות CCD המותקנות על שני מיקרוסקופים של צינור בודד ומחוברים למסך התצוגה באמצעות כבל וידאו.

אריזה ומשלוח