הציוד הזה הוא מכונת ליתוגרפיה דיוק שפיתחה החברה שלנו במיוחד עבור מאפייני השימוש של מכונות ליתוגרפיה בכלים ומוסדות מחקר שונים. הוא משמש בעיקר לפיתוח והפקה של מעגלים מובנים קטנים ומتوוכים, רכיבים חשמליים, יחידות אופטו-אלקטרוניקה, ויחידות גל קולותי על פני השטח.
מפרט
הפרמטרים הטכניים העיקרי
המכשיר יכול לסחוט מסכה ריבועית בגודל 5"X5" באמצעות שיטת הבהלה, ללא דרישות מיוחדות לעובי הלוח (מ-1 עד 3 מ"מ). המכשיר ניתן להפעיל על בסיס מעגלי בקוטר ф 100 מ"מ; עובי הבסיס ≤ 5 מ"מ; אורה: מקור אור: נורת חמצן ישר תחת לחץ גבוה GCQ350Z משמשת. טווח אורה: ≤ ф 117 מ"מ שטח חשיפה: ф 100 מ"מ בתוך טווח של ф 100 מ"מ, אי השוויון בחשיפה הוא ≤ ± 3%, והENSITY החשיפה היא >6mw/ס"מ2 (מדד זה נמדד באמצעות מקור אור UV I-line 365nm). המכשיר משתמש ברליי זמן מיובא כדי לשלוט בשutters פנימתיים, מה שמבטיח פעולות מדוייקות ובטוחות. המכונה הזו היא מכונת חשיפה בהשקעה שתוכל להשיג: חשיפה בהשקעה קשה: שימוש בvacuum של צינור כדי להשיג מגע ואקום גבוה, אקום ≤ -0.05MPa 8. תצוגה של מגע רך: הלחץ במגע יכול להעלות את הריקון לטווח בין -0.02MPa ל-0.05MPa. 9. תצוגה של מגע מיקרו: פחות ממגע רך, ריקון ≥ -0.02MPa. 10. דקויות התצוגה: הדקויות של תצוגת מגע קשה של המכשיר הזה יכולה להגיע מעל 1 μm (דיוק של "לוח" ו-"ชיפ" של המשתמש חייב להימנע מהתקנות הלאומיות, והסביבה, הטמפרטורה, לחות, ואבק יכולים להיות בקרה חמורה. משתמש בחומר føl positiv שמקורו מחוץ, והעובי אחיד של החומר sensitizer יכול להיות בקרה חמורה. בנוסף, התהליכים הקדומים והאחרונים מתקדמים). 11. התאמת: מערכת הצפייה מורכבת משני מצלמות CCD מותקנות על שני מיקרוסקופים צינוריים יחידים ומחוברות לתצוגה דרך כבל וידאו.
אריזה & שipment
פרופילrofile של החברה
יש לנו 16 שנים של נסיון במכירות ציוד. אנו יכולים להציע לכם פתרון מקצועי כולל של שורות חבילה לבידוד סמי-קונדוקטורים מהסיניים, כולל שלבים ראשוניים וסופיים.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
