1. האנרגיה הנדרשת לאquipment: מקור כוח ראשי: 220V, 50HZ, הצריכה של אנרגיה ≤1.5KW;
2. מצויד במדחף וואקום עם מקור כוח של 220V;
3. גודל ובמשקל: גודל: 1200(אורך)×720(רוחב)×1500(גובה). משקל ≤170kg;
4. שמור את גוף המכונה על שולחן עבודה מוקדש;
5. סוג חשיפה: מסוג מגע, התאמת לוח, חשיפה דו-צדדית;
6. שטח חשיפה: φ100mm;
7. אי-הומוגניות בחשיפה: ≤±3%;
8. עוצמת חשיפה: ≥5mw/ cm2;
9. דקויות התשובה: 2μm;
10. מוד עילוץ: תצוגה דו-צדדית בו זמנית;
11. טווח התאמה: X: ±5mm Y:±5mm;
12. דיוק חקיקה: 2μm;
13. טווח סיבוב: הידוק סיבוב Q ≤±5°;
14. מערכת מיקרוסקופית: מערכת CCD עם שדה ראייה כפול, עדשה אובייקטיבית 1.6X~10X, מערכת עיבוד תמונות ממוחשבת, מסך LCD בגודל 19";
15. גודל מסכה: מסוגל להפעיל קביעה בvakum