1. אנרגיה נדרשת לציוד: ספק כוח מיינפריים: 220V, 50HZ, צריכת חשמל≤1.5KW;
2. מצויד במשאבת ואקום עם ספק כוח של 220V;
3. גודל ומשקל: גודל: 1200(אורך)×720(רוחב)×1500(גבוה). משקל ≤170 ק"ג;
4. הנח את גוף המכונה על שולחן עבודה ייעודי;
5. סוג חשיפה: סוג מגע, יישור צלחת, חשיפה דו-צדדית;
6. אזור חשיפה: φ100 מ"מ;
7. חשיפה לא אחידה: ≤±3%;
8. עוצמת חשיפה: ≥5mw/cm2;
9. רזולוציית חשיפה: 2μm;
10. מצב חשיפה: חשיפה דו צדדית בו זמנית;
11.טווח יישור: X: ±5 מ"מ Y:±5 מ"מ;
12. דיוק חריטה: 2μm;
13. טווח סיבוב: התאמת סיבוב בכיוון Q≤±5°;
14. מערכת מיקרוסקופית: מערכת CCD כפולה של שדה ראייה, עדשת אובייקטיבית 1.6X~10X, מערכת עיבוד תמונה ממוחשבת, צג LCD בגודל 19 אינץ';
15. גודל מסכה: מסוגל לספוח בוואקום