1. סוג חשיפה: סוג מגע, יישור צלחת, חשיפה דו צדדית
2. אזור חשיפה: 110X110 מ"מ;
3. אחידות חשיפה: ≥ 97%;
4. עוצמת חשיפה: 0-30mw/cm2 מתכוונן;
5. זווית קרן UV: ≤ 3 מעלות
6. אורך גל מרכזי של אור אולטרה סגול: 365nm;
7. תוחלת חיים של מקור אור UV: ≥ 20000 שעות;;
8. טמפרטורת משטח עבודה: ≤ 30 ℃
9. אימוץ תריס אלקטרוני;
10. רזולוציית חשיפה: 1 מיקרומטר (עומק החשיפה הוא בערך פי 10 מרוחב הקו)
11. מצב חשיפה: חשיפה דו צדדית בו זמנית
12. טווח יישור: x: ± 5 מ"מ Y: ± 5 מ"מ
13. דיוק יישור הלוחות: 2 מיקרומטר
14. טווח סיבוב: התאמת סיבוב בכיוון Q ≤ ± 5 מעלות
15. מערכת מיקרוסקופית: מערכת CCD כפולה של שדה ראייה, עדשת אובייקטיבית 1.6X~10X, מערכת עיבוד תמונה ממוחשבת, צג LCD בגודל 19 אינץ'; הגדלה כוללת 91-570x
16. גודל מסכה: מסוגלת לספוג בוואקום מסכות מרובעות של 5 אינץ', ללא דרישות מיוחדות לעובי המסכה (נע בין 1 ל-3 מ"מ).
17. גודל מצע: מתאים למצעים של 4 אינץ', עם עובי מצע שנע בין 0.1 ל-2 מ"מ.
18. בעת ההזמנה, אין דרישות מיוחדות, ומדף 5 "X5 הוא סטנדרטי; אתה יכול להתאים מדפים מתחת ל-5" X5: