1. סוג חשיפה: מסוג מגע, התאמת לוח, חשיפה חד-צדדית דו-צדדית
2. שטח חשיפה: 110X110 מ"מ;
3. אחידות חשיפה: ≥ 97%;
4. עוצמת חשיפה: 0-30mw/ס"מ2 תקינה;
5. זווית קרן אולטרה חלולה: ≤ 3 °
6. אורך גל מרכזי של אור אולטרה חלול: 365nm;
7. תקופת חיים של מקור אור אולטרה סגול: ≥ 20000 שעות;
8. טמפרטורת שטח עבודה: ≤ 30 ℃
9. שימוש בשטר מאלקטרוני;
10. תוקף התשובה: 1 מיקרו M (עומק התשובה הוא בערך עשר פעמים רוחב השורה)
11. מצב חשיפה: חשיפה דו-צדדית בו זמנית
12. טווח התאמה: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. דיוק התאמה של לוח: 2 מיקרו m
14. טווח סיבוב: היפוך סיבוב כיוון Q ≤ ± 5 °
15. מערכת מיקרוסקופית: מערכת CCD עם שדה ראייה כפול, עדשה אובייקטיבית 1.6X~10X, מערכת עיבוד תמונות מחשב, מסך LCD בגודל 19 "; מגדיל כולל 91-570x
16. גודל מסכה: מסוגל להפעיל מסכים מרובעים בגודל 5" עם יכולת לספוג בvakum, ללא דרישות מיוחדות לעובי המסכה (מ-1 עד 3 מ"מ).
17. גודל בסיס: מתאים לבסיסים בגודל 4", עם עובי בסיס המהווה בין 0.1 ל-2 מ"מ.
18. בעת הזמנה אין דרישות מיוחדות, מדף 5" X5 נורמלי; ניתן להתאים מדפים מותאמים מתחת לגודל 5" X5: