הדור החדש מנקה פלזמה למיקרוגל מכונת ניקוי פלזמה מוליכים למחצה ציוד פתרונות אריזה, סין הדור החדש לניקוי פלזמה לניקוי פלזמה למיקרוגל מכונת ניקוי פלזמה מוליכים למחצה ציוד פתרונות אריזה יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

מנקה פלזמה למיקרוגל

SPV-100MWR היא מערכת ניקוי פלזמה של מיקרוגל במתח נמוך עבור מוליכים למחצה. על ידי החלת מיקרוגל בתדר של 2.45GHz על החלון שעל דופן חלל הוואקום, נוצרת מספר רב של פלזמה רציפה, והשבב מנוקה על ידי כניסה לחלל.

הדור החדש מנקה פלזמה פלזמה מיקרוגל מכונת ניקוי מוליכים למחצה ספק ציוד פתרונות אריזה

יישומים

הדור החדש מנקה פלזמה למיקרוגל מכונת ניקוי פלזמה מוליכים למחצה במפעל ציוד פתרונות אריזה

מִפרָט

מארח פלזמה ואקום
גודל ציוד	1230X1800X1100 מ"מ (רוחב x גובה x עומק)
מִשׁקָל	450kg
ביקוש כוח	AC380V, 50/60Hz, 5 חוטים, 30A
מפרט מחולל פלזמה
ספק כוח למיקרוגל	כוח	0 ~ 1250W
		תדר	2.45GHz
שואב אבק
חוֹמֶר	סגסוגת אלומיניום (תא נירוסטה הניתן להתאמה אישית)
עוֹבִי	25mm
מידות פנימיות של החלל	480mmX470mmX480mm
סביבות עבודה	6 מדורי מגזין
ECR	מגזין חריץ מספק אפקט עיבוד משופר ECR
יכולת פלזמה
יכולת עיבוד	גובה 35 אום 40 מיקרומטר בליטה גודל המות המרבי 15X15 מ"מ