דור חדש של מכשיר ניקוי פלזמה מיקרוגל מכשיר ניקוי פלזמה לפתרון אירוז חומרים חשמליים , China דור חדש של מכשיר ניקוי פלזמה מיקרוגל מכשיר ניקוי פלזמה לפתרון אירוז חומרים חשמליים Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

מקרוגל Cleaner פלזמה

SPV-100MWR הוא מערכת ניקוי פלזמה מיקרוגל עם לחץ נמוך עבור חומרים סמישים. באמצעות מיקרוגל בתדר של 2.45GHz לחלון על הקיר של המאגר הvakuum, מופק כמות גדולה של פלזמה רציפה, והחפצים נקיים על ידי כניסה לתוך המאגר.

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment manufacture

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment supplier

יישומים

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment factory

מפרט

מארח פלזמה חשמלי
גודל ציוד	1230X1800X1100 מ"מ (רוחב x גובה x עומק)
משקל	450 ק"ג
דרישת חשמל	AC380V, 50/60Hz, 5-תubi, 30A
פרטים של מפיק פלזמה
ספק כוח מיקרוגלים	כוח	0~1250W
		תדירות	2.45GHz
מערכת וואקום
חומר	אלומיניום סגולי (תא המרחב מתכתי לפי בקשת הלקוח)
עובי	25 מ"מ
מימדים פנימיים של המגש	480מ"מX470מ"מX480מ"מ
מרחבים עבודה	6 חלקים של מגזין
ECR	מגזין מפוחת מספקת תהליך ECR מוגבר
יכולת פלזמה
יכולת עיבוד	35מיקרון פITCH 40μm בומפ' 15X15mm גודל דיאט מקסימלי