PECVD פלזמה ציוד לשקיעת אדים כימיים משופרת / תהליך PECVD בטמפרטורה גבוהה, סין PECVD פלזמה ציוד לתצהיר כימיקלים / תהליך PECVD בטמפרטורה גבוהה יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

PECVD פלזמה משופר ציוד לשקיעת אדים כימיים

◆ בקרה אוטומטית מלאה של זמן התהליך, הטמפרטורה, זרימת הגז, פעולת השסתום ולחץ תא התגובה מתבצעת על ידי
מחשב תעשייתי.
◆ מערכת בקרת לחץ מיובאת ומערכת לולאה סגורה מאומצות, עם יציבות גבוהה.
◆ צינורות ושסתומים מיובאים עמידים בפני קורוזיה משמשים כדי להבטיח את אטימות האוויר של מעגל הגז.
◆ יש לו פונקציית אזעקה מושלמת והתקן נעילת בטיחות.
◆ יש לו אזעקת טמפרטורה גבוהה במיוחד ואזעקת תת-טמפרטורה, אזעקת MFC, אזעקת לחץ תא תגובה, אזעקת RF, אזעקת לחץ אוויר דחוס נמוך, אזעקת לחץ N2 נמוך, ואזעקת זרימת מי קירור נמוכה.
◆ ל-PECVD הקיים יש את הפונקציה של גידול סרט SiO2 לאחר שדרוג, מה שפותר את בעיית ה-PID של מודול הסוללה. ניתן לגדל סרט SiNxOy (תהליך פסיבציה לאחור), מה שיכול לשפר מאוד את יעילות ההמרה של הסוללה.

PECVD פלזמה משופרת ציוד לתצהיר אדים כימיים / ספק תהליך PECVD בטמפרטורה גבוהה

PECVD פלזמה משופר ציוד לשקיעת אדים כימיים / פרטי תהליך PECVD בטמפרטורה גבוהה

PECVD פלזמה משופרת ציוד לשקיעת אדים כימיים / מפעל תהליכי PECVD בטמפרטורה גבוהה

סוּג

◆ כמות טעינה: 384 חתיכות/סירה (125*125); 336 חתיכות/סירה (156 * 156)
◆ ניקיון שולחן הטיהור: דרגה 100 (צמח דרגה 10000)
◆ דרגת אוטומציה: שליטה אוטומטית בטמפרטורה ובתהליך.
◆ מצב שליחה ולקיחת שבבים: סוג נחיתה רכה, בעל מאפיינים יציבים ואמינים, ללא זחילה, מיקום מדויק, כושר נשיאה גדול וחיי שירות ארוכים.

מִפרָט

טעינה מקסימלית לכל צינור	384 חתיכות/סירה (125125) 336 חתיכות/סירה (156156)
אינדקס תהליך	± 3% בטבליות, ± 3% בין טבליות, ± 3% בין מנות
טמפרטורת עבודה	200 ~ 500 ℃
דיוק ואורך אזור הטמפרטורה (בדיקת צינור סגור סטטי)	1200 מ"מ±1℃
דיוק זרימת גז	± 1% FS
אטימות אוויר של מערכת מעגל האוויר	1×10-7Pa.m³/S
לִשְׁלוֹט	מערכת ויסות לולאה סגורה אוטומטית ביבוא מלא, שליטה מדויקת בוואקום התגובה; עוצמה של 40KHz בתדר גבוה לְסַפֵּק; נחיתה רכה של סירת מלאכה; שליטה דיגיטלית מלאה, הגנת בקרת תהליכים מושלמת ובטוחה.
1 צינור, 2 צינורות, 3 צינורות ו-4 צינורות הם אופציונליים; מניפולטור הטעינה האוטומטי הוא אופציונלי, וביצועי הציוד וביצועי התהליך יכולים להיות ניתנים להשוואה לציוד הדומה המוביל בעולם.