פריט | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
גודל מוצר | ≤6 אינץ' | ≤8 אינץ' | ≤8 אינץ' | ||
מקור כוח RF | 0-300W/500W/1000W מתכוונן, התאמה אוטומטית | ||||
משאבה מולקולרית | -/620(L/s)/1300(L/s)/מותאם אישית | Antiseptic620(L/s)/1300(L/s)/Custom | |||
משאבת פורליין | משאבה מכנית/משאבה יבשה | משאבה יבשה | |||
לחץ תהליך | לחץ לא מבוקר/0-1טור לחץ מבוקר | ||||
סוג גז | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/מותאם אישית (עד 9 ערוצים, ללא גז מאכל ורעיל) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
טווח הגז | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | כן לא | יש | |||
בקרת טמפרטורה לדוגמה | 10°C~טמפרטורת החדר/-30°C~100°C/מותאם אישית | -30°C~100°C /מותאם אישית | |||
קירור הליום אחורי | כן לא | יש | |||
רירית חלל תהליך | כן לא | יש | |||
בקרת טמפרטורת קיר חלל | No/Roomtem~60/120°C | טמפרטורת חדר-60/120 מעלות צלזיוס | |||
מערכת בקרה | אוטומטי/מותאם אישית | ||||
חומר תחריט | מבוסס סיליקון: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC חומרים מגנטיים/חומרי סגסוגת חומר מתכתי: Ni/Cr/Al/Au. חומר אורגני: PR/PMMA/HDMS/סרט אורגני. | מבוסס סיליקון: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. חומרים מגנטיים/חומרי סגסוגת חומר מתכתי: Ni/Cr/A1/Au. חומר אורגני: PR/PMMA/HDMS/סרט אורגני. | |||
מתאים למכשירי מיקרוגל, מכשירי חשמל וכו'.
מכונת תחריט יונים תגובתיים (RIE) של מינדר-היי-טק היא פיסת טכנולוגיה מתקדמת שיכולה לחרוט ולנתח סוגים שונים של חומרים בדיוק מדהים. מכונה זו מיועדת לשימוש בתעשיות שונות בהן נדרשים ייצור מיקרו או תחריט באופן קבוע. הוא עשוי מחומרים איכותיים שהופכים אותו לעמיד, אמין ומסוגל להפיק תוצאות מצוינות.
מצויד במחולל פלזמה RF יעיל. מערכת RIE משתמשת בצימוד שהוא אינדוקטיבי כדי להגיע עם פלזמה מבנזין הזנה. טכניקה זו יוצרת פלזמה בצפיפות גבוהה המגבירה את קצב הצריבה הקשור למוצר. תהליך התחריט של מכונת ה-RIE יעיל, מדויק וניתן לשליטה רבה, המאפשר עומק ספציפי לביצוע. תכונה זו היא ייחודית והיא בחירה מצוינת עבור עבודות מחקר או בתעשייה.
למכונה יש מגוון רחב של, כולל מיקרואלקטרוניקה, ייצור MEMS וייצור מוליכים למחצה. מכונה זו ממלאת תפקיד חשוב בתחריט ומיקרו-עיבוד של חומרים מוליכים למחצה כמו סיליקון, גליום ארסניד וגרמניום בתעשיית המוליכים למחצה. מכשיר ה-RIE של מינדר-היי-טק הוקם בנוסף בתעשיית ה-MEMS לייצור חומרים רכים וחומרים קשים כמו פוליאמיד, סיליקון דו חמצני וסיליקון ניטריד. בנוסף, הוא נגיש לניתוח כשלים בתעשיות הקשורות לשירותים ומוצרים אלקטרוניים.
כולל תכונות שונות שמקלות על השימוש. זוהי תוכנה ידידותית למשתמש מספקת למפעיל שליטה מלאה על פרמטרי התחריט המשמשים במכשיר. הגדרות המכונה נשמרות בזיכרון שלה הוא פנימי הוא יכול לאחסן למעלה מ-100 סטים של הגדרות. יש מסך מגע המאפשר למפעיל להגדיר פרמטרים כמו תנועת גז, עובי כוח ולחץ. למכונת RIE מינדר-היי-טק יש גם תכונת בקרת טמפרטורה המבטיחה שהחומרים ייחרטו בטמפרטורה הנכונה ועוצרת נזקים להם.
מושלם עבור חברות הדורשות מכונה אמינה ויעיל יכולה לספק תוצאות מדויקות ומדויקות. מכשיר זה תוכנן עם טכנולוגיה מהשורה הראשונה והרמה היא הרבה. הרבגוניות והתכונות הידידותיות שלו הופכות אותו לבחירה טובה מאוד במחקר ויישומי תעשייה במגזרים שונים.
יש לו גם מערכת ניתוח תקלות יעילה המאפשרת למכונה לזהות ולתקן כל בעיה מכנית בהקדם האפשרי. מערכת זו מבטיחה שמכונת RIE שומרת על איכות ואמינות גבוהה לאורך כל מחזור החיים שלה. לכל תעשייה הדורשת תחריט או ייצור מיקרו מדוייק ויעיל, מכונת RIE של מינדר-היי-טק היא הפתרון המושלם.
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
לא
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
