וופר לשטח
|
גוֹדֶל
|
אינצ'ים
|
4,5,6,8
|
דרך חיכוך
|
-
|
שיטת גרירת תקיעתית אנכית
|
|
ציר מוט גלגל גרירה
|
סוגים
|
-
|
מצעי אוויר
|
כמות
|
-
|
1
|
|
מהירות
|
סל"ד
|
0~5000
|
|
הספק פלט
|
קילוואט
|
5.5/7.5
|
|
העתק
|
מ"מ
|
150
|
|
מהירות אספקה
|
מיקרון/ש
|
0.01~100
|
|
מהירות קדימה מהירה
|
מ"מ/דקה
|
300
|
|
רזולוציה
|
ממ
|
0.1
|
|
ציר גוף עבודה
|
סוּג
|
-
|
גלגלים כדוריים
|
כמות
|
-
|
1
|
|
מהירות
|
סל"ד
|
0~300
|
|
כוח
|
קילוואט
|
0.75
|
|
סוג כף שטח
|
-
|
ספוגים קרמיים
|
|
שיטת סחיבה של וויפר
|
-
|
הצמדה בvakuum
|
|
העברת מעבר של וויפר
|
-
|
מדריך
|
|
פונקציות נוספות
|
Zentrierung של וויפר
|
-
|
-
|
ניקוי וויפר
|
-
|
-
|
|
ניקוי כוסי שטיה
|
-
|
-
|
|
גלגל הגריבה
|
מ"מ
|
φ200
|
|
באינטרנט
מדידה |
טווח מדידה
|
ממ
|
0~1800
|
רזולוציה
|
ממ
|
0.1
|
|
מדויק חוזר
|
ממ
|
±0.5
|
|
עיבוד
דיוק |
דיוק פנימי-וואפר (TTV)
|
ממ
|
≤2
|
דיוק בין וואפרים (WTW)
|
ממ
|
±3
|
|
ח意见反馈ת משטח (Ry)
|
ממ
|
0.1(הסתיימום 2000#)
|
|
מראה
|
צביעת מראה
|
ממ
|
דפוס כתום
|
ממדים(ר×ע×ג)
|
מ"מ
|
690×1720×1780
|
|
משקל
|
ק"ג
|
1400
|
וופר לשטח
|
גוֹדֶל
|
אינצ'ים
|
6,8,12
|
דרך חיכוך
|
-
|
שיטת גרירת תקיעתית אנכית
|
|
ציר מוט גלגל גרירה
|
סוגים
|
-
|
מצעי אוויר
|
כמות
|
-
|
1
|
|
מהירות
|
סל"ד
|
0~5000
|
|
הספק פלט
|
קילוואט
|
5.5/7.5
|
|
העתק
|
מ"מ
|
150
|
|
מהירות אספקה
|
מיקרון/ש
|
0.01~100
|
|
מהירות קדימה מהירה
|
מ"מ/דקה
|
300
|
|
רזולוציה
|
ממ
|
0.1
|
|
ציר גוף עבודה
|
סוּג
|
-
|
גלגלים כדוריים
|
כמות
|
-
|
1
|
|
מהירות
|
סל"ד
|
0~300
|
|
סוג כף שטח
|
-
|
ספוגים קרמיים
|
|
שיטת סחיבה של וויפר
|
-
|
הצמדה בvakuum
|
|
העברת מעבר של וויפר
|
-
|
מדריך
|
|
פונקציות נוספות
|
Zentrierung של וויפר
|
-
|
-
|
ניקוי וויפר
|
-
|
-
|
|
ניקוי כוסי שטיה
|
-
|
-
|
|
גלגל הגריבה
|
מ"מ
|
φ300
|
|
באינטרנט
מדידה |
טווח מדידה
|
ממ
|
0~1800
|
רזולוציה
|
ממ
|
0.1
|
|
מדויק חוזר
|
ממ
|
±0.5
|
|
עיבוד
דיוק |
דיוק פנימי-וואפר (TTV)
|
ממ
|
≤3
|
דיוק בין וואפרים (WTW)
|
ממ
|
±3
|
|
ח意见反馈ת משטח (Ry)
|
ממ
|
0.13(2000#סיום)
|
|
מראה
|
צביעת מראה
|
ממ
|
דפוס כתום
|
ממדים(ר×ע×ג)
|
מ"מ
|
790×2170×1830
|
|
משקל
|
ק"ג
|
1800
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved