MDLB-MC200
מנקה פוטומסק
יחידת ניקוי:
תא הניקוי מעובד בחומרים עמידים בפני קורוזיה, בעלי משטח חלק וקל לניקוי. בתחתית החלל הפנימי יש פתח פריקת פסולת, המנצל את כוח הכבידה כדי לאפשר זרימת נוזל פסולת לתוך צינור הזרמה של פסולת המפעל. יש פתח יניקה בתוך החלל, שיכול לחלץ בזמן את האטמוספרה מהחלל. מצויד ב-3 זרועות נדנדה אוטומטיות, זה יכול להשיג ניקוי אוטומטי.
טבלת פרמטרי תצורה:
'מס |
פרויקט |
מפרטים |
הערות |
1 |
סקירת ציוד |
שם המכשיר: מנקה Photomask |
|
דגם ציוד: MDLB-MC200 |
|
||
מידות כוללות (בערך): 1300 מ"מ (W) * 1000 מ"מ (D) * 1950 מ"מ (H) |
|
||
משקל כל המכונה (בערך): 300 ק"ג |
|
||
גובה שולחן ניתוח: 900 ± 50 מ"מ |
|
||
מפרטי גודל המצע: מתאים לצלחות מסכה מרובעות בגודל 2/4/5/6/8 אינץ' |
|
||
זרימת תהליך: מיקום פרוסות ידני ← ניקוי (מברשת, תמיסת ניקוי ← מים בלחץ גבוה ← מים מגה-סוניים ← מים מפושטים ← ייבוש גז חנקן) ← הסרת פרוסות ידנית |
|
||
סוג ציוד: חצי אוטומטי, טעינה ופריקה ידנית |
|
||
2 |
בניית ציוד |
מעטפת: נירוסטה, חלקה, עמידה בפני קורוזיה, קלה לניקוי |
|
תא ניקוי: PP, חלק, עמיד בפני קורוזיה, קל לניקוי |
|
||
צינור: נעשה שימוש בצינור תואם PU/PFA |
|
||
תאורת עבודה: תאורת אור צהוב נגד קורוזיה |
|
||
סגנון פתיחת דלת: דלת כפולה עם פונקציית אזעקה לפתיחת דלת |
|
||
מסך מגע: מסך מגע בצבע מלא בגודל 10 אינץ' * 1 |
|
||
FFU: Class 100 |
|
||
תמיכת תחתית חסינת דליפות: זמינה |
|
||
3 |
מנוע סרוו דיוק גבוה |
כמות: 1 |
|
מהירות: -3000 ~ 3000 סל"ד |
מטען ריק |
||
תאוצה מקסימלית של סיבוב הציר: 3000 סל"ד/S |
מטען ריק |
||
דיוק מהירות: ± 1 סל"ד (50 סל"ד ~ 3000 סל"ד) |
|
||
רזולוציית מהירות: 1 סל"ד |
|
||
4 |
זרוע נדנדה אוטומטית |
כמות: 3 |
|
מהירות זרוע הנדנדה: 1~30 °/S |
|
||
5 |
יחידת ניקוי |
זרוע נדנדה לניקוי: ערוץ 1 של מים מופחתים, ערוץ 1 של גז חנקן זרוע Megasonic: 1 Megasonic, 1 מים בלחץ גבוה זרוע מברשת: מברשת אחת, מים אחת, תמיסת ניקוי אחת |
|
שיטת ניקוי: ניקוי אוטומטי |
|
||
פונקציית יניקת מים מפושטת: זמינה |
|
||
שטיפה לאחור (מים מפושטים): מסלול אחד |
|
||
שיטת אספקה: תמיסת ניקוי: משאבת דיאפרגמה מים דה-יונים: מסופקים ישירות על ידי המפעל |
|
||
מיכל לחץ עם זיהוי מפלס נוזל |
|
||
6 |
מברשת מברשת |
כמות: 1 (עם פונקציית ניקוי עצמי) |
|
מהירות: עד 1000 סל"ד, מהירות מתכווננת |
|
||
גובה מתכוונן ידנית |
|
||
7 |
טען מגש |
כמות: 5 |
|
חומר: PPS+נירוסטה |
|
||
גודל: מתאים לצלחות מסכה מרובעות בגודל 2/4/5/6/8 אינץ' |
|
||
שיטת קיבוע מצע: שיטת קיבוע טפרים |
|
||
8 |
מערכת בקרה |
מערכת בקרה: באמצעות בקרת PLC |
|
תוכנית: 100 קבוצות, כל קבוצה מורכבת מ-100 צעדים, עם זמן צעד בודד מקסימלי של 3000.0 שניות רזולוציה: 0.1S |
|
||
ניתן לשמור, לקרוא, לשנות ולמחוק את התוכנית |
|
||
הגדר הרשאות הצפנה: עבור מפעילי מכשירים, טכנאים, מנהלי מערכת ויצרנים בהתאמה |
|
||
סוג מגדל איתות: אדום, צהוב, ירוק 3 צבעים |
|
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת