תעשיית מוליכים למחצה סוג קסטה מכונה להסרת יחסי ציבור פלזמה אצווה Photoresist Residual Removal , סין תעשיית מוליכים למחצה סוג קסטה מכונה להסרת יחסי ציבור פלזמה אצווה Photoresist Residual Removal יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

מכונה להסרת אצווה פלזמה מסוג קסטה

דסקום
ניקוי רקיקים
הסרת שאריות דבק לאחר תהליך רטוב
הסרת שאריות פני השטח
הסר שאריות דבק לאחר חשיפה ופיתוח

תעשיית מוליכים למחצה סוג קסטה מכונה להסרת יחסי ציבור פלזמה אצווה ייצור Photoresist Residual Removal

התַהֲלִיך

תעשיית מוליכים למחצה סוג קסטה מכונה להסרת יחסי ציבור פלזמה אצווה מפעל Photoresist להסרת שאריות

תעשיית מוליכים למחצה סוג קסטה מכונה להסרת יחסי ציבור פלזמה אצווה Photoresist פרטי הסרת שאריות

תעשיית מוליכים למחצה סוג קסטה מכונה להסרת יחסי ציבור פלזמה אצווה Photoresist ספק הסרת שאריות

יתרון:

יתרון ליבה

קצב ניקוי גומי גבוה: פלזמה בצפיפות גבוהה, קצב ניקוי קמח מהיר
יציבות: לאחר טיפול בפלזמה, יכולת שחזור גבוהה
פלזמה מרוחקת: פלזמה מרוחקת, נזק יונים נמוך לפרוסות
תוכנה מומלצת: מחקר ופיתוח עצמאי של תוכנה, אנימציית תהליכים אינטואיטיבית, נתונים ורשומות מפורטים
אחידות: פלזמה יכולה לשלוט בלחץ ובטמפרטורה באמצעות שסתום פרפר
מקדם בטיחות: פלזמה נמוכה מפחיתה את הנזק לפריקת המוצר.
שירות לאחר המכירה: תגובה מהירה ומלאי מספיק
בקרת אבק: ענה על דרישות הלקוח.
טכנולוגיית ליבה: עם כמעט 40% מחברי צוות המו"פ

פלטפורמת קסטות (MD-ST 6100/620)

1. 4 מנשאי רקיק
2. תאימות גבוהה: הגמישות של בחירת גודל פרוס מביאה לעלות גבוהה וליעילות פתרון
3. תא העברת ואקום ביציבות גבוהה:
עיצוב תמסורת הוואקום הבוגר והיציב מיושם בשוק במשך שנים רבות ומוכר היטב על ידי הלקוחות.
עיצוב פטיפון, שטח קומפקטי, מפחית משמעותית את הסיכון של PARTICAL
4. ממשק תפעול תוכנה הומני:
ממשק תפעול תוכנה מואנש אינטואיטיבי, ניטור בזמן אמת של מצב הפעלה של מכונה;
אזעקה מקיפה ופונקציות חסינות מפני שטויות כדי למנוע הפעלה שגויה.
פונקציית ייצוא נתונים רבת עוצמה, רשומות של פרמטרים שונים של תהליך, ויצוא רשומות ייצור מוצרים.

Robotic

1. פעם אחת עיצוב בחירה ומקום כפול של פרוסות מביא לפרודוקטיביות גבוהה
2. שפר את יעילות החלל.

צלחת חימום

1. צלחת רקיקת בקרת טמפרטורה ברמת דיוק גבוהה
פלטת חימום רקיק מטמפרטורת החדר עד 250°C, דיוק בקרת טמפרטורה ±1°C
צלחת חימום רקיק עברה כיול על ידי מכשירים מקצועיים, והאחידות. בתוך ±3°C, ודא את אחידות הסרת הדבק
2. עיבוד רקיק כפול חד קאמרי
עיצוב רקיק כפול חד קאמרי;
עיצוב פריקת כוח עצמאי עבור כל רקיק, המבטיח שכל רקיק. אפקט הסרת יחסי ציבור עגול;
תחת הנחת היסוד של הבטחת יעילות UPH, הפחת את עלות המוצר. תאימות חזקה
3. כושר ייצור: תא תגובה בעיצוב כפול, יעילות ייצור גבוהה.

מִפרָט

מקור פלזמה	RF	מיקרוגל
כוח	1000w	1250w
היקף החל	4 ~ 8 אינץ '	4~8寸
ספירת פרוסות עיבוד בודדות	4 ~ 6 אינץ' = 50 חתיכות / 8 אינץ' = 25 חתיכות	4~6 אינץ'=50 חתיכות/8 אינץ'=25 חתיכות
מידות מראה	1250x1630x1900mm	1250x1630x1900mm
בקרת מערכת	PC	PC
רמת אוטומציה	אוטומטי	אוטומטי

יכולת חומרה
זמן פעולה/זמן זמין	≧ 95%
זמן ממוצע לניקוי （MTTC）	≦6 שעות
זמן ממוצע לתיקון（MTTR）	≦4 שעות
זמן ממוצע בין תקלות (MTBF)	≧350 שעות
זמן ממוצע בין עוזר (MTBA)	≧24 שעות
רקיק ממוצע בין שבור (MWBB)	≦1 מתוך 10,000 פרוסות
בקרת פלטת חימום	50-250 °