תעשיית המוליכים למחצה RIE PLASMA PR מכונה להסרת שאריות Photoresist , סין תעשיית המוליכים למחצה RIE PLASMA PR מכונה להסרת שאריות Photoresist יצרנים, ספקים, מפעל

תיאור המוצר

RIE PLASMA מסיר פוטו רזיסט

תחריט סיליקון קרביד
ניקוי פני השטח לאחר תחריט
דסקום
שכבת מסכה קשה, הסרה יבשה
תחריט סיליקון אוקסיד או סיליקון ניטריד
הסרת התנגדות אופטית בין מדיה
הסרת שאריות פני השטח

תעשיית המוליכים למחצה RIE PLASMA PR מכונה להסרת Photoresist פרטי הסרת שאריות

התַהֲלִיך

תעשיית מוליכים למחצה RIE PLASMA PR מכונה להסרת Photoresist מפעל להסרת שאריות

תעשיית המוליכים למחצה RIE PLASMA PR מכונה להסרת Photoresist ייצור השארת הסרת

יתרון:

יתרון ליבה

קצב ניקוי גומי גבוה: פלזמה בצפיפות גבוהה, קצב ניקוי קמח מהיר
יציבות: לאחר טיפול בפלזמה, יכולת שחזור גבוהה
פלזמה מרוחקת: פלזמה מרוחקת, נזק יונים נמוך לפרוסות
תוכנה מומלצת: מחקר ופיתוח עצמאי של תוכנה, אנימציית תהליכים אינטואיטיבית, נתונים ורשומות מפורטים
אחידות: פלזמה יכולה לשלוט בלחץ ובטמפרטורה באמצעות שסתום פרפר
מקדם בטיחות: פלזמה נמוכה מפחיתה את הנזק לפריקת המוצר.
שירות לאחר המכירה: תגובה מהירה ומלאי מספיק
בקרת אבק: ענה על דרישות הלקוח.
טכנולוגיית ליבה: עם כמעט 40% מחברי צוות המו"פ

פלטפורמת קסטות (MD-ST 6100/620)

1. 4 מנשאי רקיק
2. תאימות גבוהה: הגמישות של בחירת גודל פרוס מביאה לעלות גבוהה וליעילות פתרון
3. תא העברת ואקום ביציבות גבוהה:
עיצוב תמסורת הוואקום הבוגר והיציב מיושם בשוק במשך שנים רבות ומוכר היטב על ידי הלקוחות.
עיצוב פטיפון, שטח קומפקטי, מפחית משמעותית את הסיכון של PARTICAL
4. ממשק תפעול תוכנה הומני:
ממשק תפעול תוכנה מואנש אינטואיטיבי, ניטור בזמן אמת של מצב הפעלה של מכונה;
אזעקה מקיפה ופונקציות חסינות מפני שטויות כדי למנוע הפעלה שגויה.
פונקציית ייצוא נתונים רבת עוצמה, רשומות של פרמטרים שונים של תהליך, ויצוא רשומות ייצור מוצרים.

Robotic

1. פעם אחת עיצוב בחירה ומקום כפול של פרוסות מביא לפרודוקטיביות גבוהה
2. שפר את יעילות החלל.

צלחת חימום

1. צלחת רקיקת בקרת טמפרטורה ברמת דיוק גבוהה
פלטת חימום רקיק מטמפרטורת החדר עד 250°C, דיוק בקרת טמפרטורה ±1°C
צלחת חימום רקיק עברה כיול על ידי מכשירים מקצועיים, והאחידות. בתוך ±3°C, ודא את אחידות הסרת הדבק
2. עיבוד רקיק כפול חד קאמרי
עיצוב רקיק כפול חד קאמרי;
עיצוב פריקת כוח עצמאי עבור כל רקיק, המבטיח שכל רקיק. אפקט הסרת יחסי ציבור עגול;
תחת הנחת היסוד של הבטחת יעילות UPH, הפחת את עלות המוצר. תאימות חזקה
3. כושר ייצור: תא תגובה בעיצוב כפול, יעילות ייצור גבוהה.

מִפרָט

מקור פלזמה			RF
כוח	ICP	_
כוח		הטיה	1000W (אופציה)
היקף החל			4 ~ 8 אינץ '
ספירת פרוסות עיבוד בודדות			1
מידות מראה			850mmx900mmx1850mm
בקרת מערכת			PLC
רמת אוטומציה			מדריך ל

יכולת חומרה
זמן פעולה/זמן זמין	≧ 95%
זמן ממוצע לניקוי （MTTC）	≦6 שעות
זמן ממוצע לתיקון（MTTR）	≦4 שעות
זמן ממוצע בין תקלות (MTBF)	≧350 שעות
זמן ממוצע בין עוזר (MTBA)	≧24 שעות
רקיק ממוצע בין שבור (MWBB)	≦1 מתוך 10,000 פרוסות
בקרת פלטת חימום	50-250 °