מכונה לטיפול פלזמה בש vakuum מיקרוגלים ניקוי פלזמה טיפול על פני פלזמה פתרונות אריזת חומרים חשמליים IC TO אריזה , China מכונה לטיפול פלזמה בש vakuum מיקרוגלים ניקוי פלזמה טיפול על פני פלזמה פתרונות אריזת חומרים חשמליים IC TO אריזה Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור מוצרים

פתרון אריזה של חומרים סמישים מנקה פלזמה מיקרוגל

SPV-100MWR הוא מערכת ניקוי פלזמה מיקרוגל עם לחץ נמוך עבור חומרים סמישים. באמצעות מיקרוגל בתדר של 2.45GHz לחלון על הקיר של המאגר הvakuum, מופק כמות גדולה של פלזמה רציפה, והחפצים נקיים על ידי כניסה לתוך המאגר.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

פרמטרים טכניים

מארח פלזמה חשמלי
גודל ציוד	1230X1800X1100 מ"מ (רוחב x גובה x עומק)
משקל	450 ק"ג
דרישת חשמל	AC380V, 50/60Hz, 5-תubi, 30A
פרטים של מפיק פלזמה
ספק כוח מיקרוגלים	כוח	0~1250W
		תדירות	2.45GHz
מערכת וואקום
חומר	אלומיניום סגולי (תא המרחב מתכתי לפי בקשת הלקוח)
עובי	25 מ"מ
מימדים פנימיים של המגש	480מ"מX470מ"מX480מ"מ
מרחבים עבודה	6 חלקים של מגזין
ECR	מגזין מפוחת מספקת תהליך ECR מוגבר
יכולת פלזמה
יכולת עיבוד	35מיקרון פITCH 40μm בומפ' 15X15mm גודל דיאט מקסימלי