פרמטר טכני | מצב מדידה | PSI/VSI/סופר עומק שדה/שדה בהיר |
שדה ראייה בודד למדידה (עדשת אובייקטיבית 20×) | 500*350 מיקרומטר (תפירה אוטומטית) | |
זווית התאמה | ±12° ידני | |
התאמת ציר Z | 20 מ"מ חשמלי + 50 מ"מ ידני (מנגנון כוונון גס ועדין) | |
טווח סריקה אורכי | 0-10mm | |
רזולוציה אורכית | <0.2 ננומטר | |
יכולת חזרה של מדידת חספוס אורכית | 0.01nm (מצב PSI) | |
שגיאת חיווי של גובה הצעד מדידה | <0.75% (מצב VSI) | |
רזולוציה רוחבית: @550nm | 0.69 מיקרומטר (עדשת אובייקטיבית 20×) | |
רפלקטיביות מדגם ניתנת למדידה | % 0.1% 100 | |
זמן מדידה | <5s (מצב PSI) | |
פונקציית ניתוח | פונקציית ניתוח | מדידת גובה תלת מימדית, ניתוח חספוס תלת מימד, מדידת מימד דו מימד |
פלט נתונים תלת מימדיים | נתוני ענן נקודות תלת מימדיים, נתוני תמונה בגווני אפור, דוח מותאם אישית |
הגדלה אובייקטיבית | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
צמצם מספרי | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
רזולוציה אופטית @550nm (מיקרומטר) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
עומק מיקוד (מיקרומטר) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
מרחק עבודה (מ"מ) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת