פתרון מיקרוסקופ סריקה אולטרסאונד לתעשיית המוליכים למחצה

עקרון בדיקה אולטרסאונד

מתמר קולי מייצר דופק קולי המגיע ל-DUT דרך מדיום הצימוד (מים).

בשל ההבדל של עכבה אקוסטית, גל קולי מחזיר את הממשק של חומרים שונים.

מתמר אולטראסוני קולט את ההד המוחזר וממיר אותו לאותות חשמליים.

המחשב מעבד את האות החשמלי ואת צורת הגל או התמונה של התצוגה.

טופס סריקה

סריקה: צורת גל בנקודה מסוימת;

הציר האופקי מציין את הזמן שבו מופיעה צורת הגל;

הציר האנכי מציין את משרעת צורת הגל.

סריקה C: סריקת חתך רוחבי;

הצירים האופקיים והאנכיים מציינים את הממדים הפיזיים;

הצבע מציין את משרעת צורת הגל.

סריקה ב': סריקת חתך אורכי;

הציר האופקי מציין את הממדים הפיזיים;

הציר האנכי מציין את הזמן שבו מופיעה צורת הגל;

הצבע מציין את משרעת צורת הגל והפאזה

סריקה רב-שכבתית: סריקה רב-שכבתית C מתבצעת בכיוון העומק של הדגימה.

סריקת שידור: מקלטים מתווספים לתחתית הדגימה כדי לאסוף את גלי הקול המשודרים ליצירת תמונות.

יתרונות ומגבלות של זיהוי

יתרונות:

1. זיהוי אולטרסאונד ישים למגוון רחב של חומרים, כולל מתכות, לא מתכות וחומרים מרוכבים;

2. זה יכול לחדור לרוב החומרים;

3. זה מאוד רגיש לשינויים בממשק;

4. זה לא מזיק לגוף האדם ולסביבה.

מגבלות:

1. בחירת צורות הגל מורכבת יחסית;

2. צורת הדגימה משפיעה על אפקט הגילוי;

3. למיקום ולצורת הפגם יש השפעה מסוימת על תוצאת הגילוי;

4. לחומר ולגודל הגרגר של הדגימה יש השפעה רבה על הגילוי.

בדיקת איכות הריתוך בתהליך טעינת הפרוסים

ניטור במהלך הפעלת מכונת טעינת פרוסות ותהליך איתור באגים כדי לגלות באופן אינטואיטיבי חריגות בפרמטרים ומצבי ציוד שונים.

גובה וזווית ראש היניקה;

חמצון וטמפרטורה של הלחמה;

חומר של מסגרת העופרת וחומר השבב

בדיקת איכות ריתוך במהלך טעינת שבבים

ניטור במהלך ההפעלה ואיתור באגים של מכונת טעינת השבבים יכול למצוא באופן אינטואיטיבי חריגות בפרמטרים ומצבי ציוד שונים

גובה וזווית ראש היניקה;

חמצון וטמפרטורה של הלחמה;

חומר של מסגרת העופרת והשבב

חללים בתהליך ריתוך השבבים יגרמו לפיזור חום לא מספיק במהלך השימוש במכשיר, וישפיעו על חיי השירות והאמינות שלו. באמצעות שיטות בדיקה אולטרסאונד, ניתן לזהות במהירות וביעילות פגמים בריק ריתוך.

איתור פגמים בדה למינציה של החבילה לאחר תהליך עטיפה פלסטית

מצב זיהוי שלב סריקה אולטרסאונד לזיהוי מדויק של פגמי דלמינציה בין שרף פלסטיק למסגרת מתכת

האזור המחומצן לאחר הקילוף זהה בעצם לאזור האדום

זיהוי חללים וזיהוי רב שכבתי של אריזות דקות

מארז זיהוי TO סדרת

בדוק את כל הלוח

בדוק שבב בודד

מארז יישום אופייני: נקבוביות חבילת שבבי זיכרון

מקרה יישום טיפוסי: פגם בשכבת שבב זיכרון

מקרי בדיקה אחרים