რატომ არის საჭირო ფოტორეზისტის მოხსნა?
როგორც ცნობილია, ფოტორეზისტი არის ნახევარგამტარული ვაფლის წარმოების ძირითადი მასალა. ვაფლის წარმოების პროცესში ფოტოლითოგრაფია შეადგენს ვაფლის წარმოების მთლიანი ღირებულების დაახლოებით 35%-ს და მოიხმარს მთელი ვაფლის პროცესის 40-50%-ს, რაც მას ყველაზე კრიტიკულ პროცესად აქცევს ნახევარგამტარული წარმოების პროცესში.
ფოტოლითოგრაფიის პროცესში შეუცვლელი ნაბიჯი არის ფოტორეზისტის ამოღება ვაფლიდან. ნიმუშის რეპლიკაციისა და გადატანის პროცესის დასრულების შემდეგ, ვაფლის ზედაპირზე დარჩენილი ფოტორეზისტი მთლიანად უნდა მოიხსნას.
ფოტორეზისტის ICP პლაზმური მოცილება
ICP პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილების მანქანა იყენებს მაღალი სიმკვრივის, დაბალი დაზიანების პლაზმური წყაროს დიზაინს და აღჭურვილია სექსუალური დისტანციური ICP ტექნოლოგიით, რათა მიაღწიოს ფოტორეზისტების მოცილების სიჩქარის მაღალ დონეს და დაზიანების ჩახშობას; დამოუკიდებელი კამერის სტრუქტურის დიზაინის მიღება ნაკადის ველის ერთგვაროვანი განაწილებისა და შესანიშნავი ერთგვაროვნების მისაღწევად ფოტორეზისტის მოსაშორებლად.
პროდუქტის უპირატესობები:
● თავსებადია მთავარ 4-8 დიუმიან წრიულ ვაფლებთან
● შეუძლია ერთდროულად ორი ვაფლის დამუშავება, დამუშავების დროს შეინარჩუნოს დაბალი ტემპერატურა
● ავტომატიზაციის მაღალი ხარისხი, ვაფლის სრულად ავტომატური ჩატვირთვა და გადმოტვირთვა, გაწმენდის პროცესი
● მაღალი პლაზმური სიმკვრივე, ფოტორეზისტის კარგი მოცილების ეფექტი
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
არა
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
