რეაქტიული იონური გრავირება საშინელი ტერმინივით ჟღერს, მაგრამ სინამდვილეში ეს არის მეთოდი, რომელსაც ადამიანები იყენებენ ტექნოლოგიისთვის წვრილმანი ნაჭრების დასამზადებლად, როგორც ფილიალის ზომის. ეს პატარა ნაჭრები არის ძირითადი ინგრედიენტები მრავალფეროვან მოწყობილობებში, რომლებიც გამოიყენება ყოველდღიურად, როგორიცაა სმარტფონები, კომპიუტერები და ა.შ. ამ პროცესის მთავარი ფუნქციაა მასალის მონაკვეთების ამოღება, რათა შექმნათ პატარა და ზუსტი ნაწილები. ამ სტატიაში განვიხილავთ რა არის იონების რეაქტიული ოქროვიზაცია - RIE-თან მუშაობის დადებითი და უარყოფითი მხარეები პლაზმურ-ქიმიური დამუშავების სხვა მეთოდებთან შედარებით; პლაზმური ქიმიის როლი ამ პროცესში; როგორ შეგიძლიათ მიაღწიოთ მაღალი ხარისხის შედეგებს RIE აღჭურვილობის სწორად გამოყენებით და ბოლოს სად იკავებს ის ადგილს, როგორც ტექნოლოგიის ინსტრუმენტსreadcrh xvv.
რეაქტიული იონების ამოღება რთული მეთოდია, რომელიც მოიცავს მცირე იონებსა და აირებს მასალის ნაჭრების მოცილებას. წარმოიდგინეთ, რომ ეს არის მაღალი სიმძლავრის სპრეი, რომელიც შერჩევით ანადგურებს მასალას ზუსტი ფორმის შესაქმნელად. იგი მოიცავს ამ იონების აფეთქებას მასალის ზედაპირზე. როგორც კი იონები ურტყამს მასალას, ისინი რეაგირებენ მასზე და იშლება წვრილმან ნაჭრებად, რომელთა ამოღებაც შესაძლებელია. მასალას დებთ სრულიად დალუქულ და ჰაერისგან თავისუფალ ყუთში, რომელსაც ეწოდება ვაკუუმ კამერა. ეს მცირე ნაწილაკები წარმოიქმნება რადიოსიხშირული ენერგიით, სადაც ისინი ქმნიან იონებს.
რეაქტიული იონური ოქროვი ერთ-ერთი საუკეთესოა, როდესაც საქმე დეტალებს ეხება. ეს ნიშნავს, რომ მას შეუძლია შექმნას მაღალი სიზუსტის კუთხოვანი და მრუდი მახასიათებლები, მაგრამ ეს კეთდება გაზით და არა სითხის გამოყენებით. ეს ნიშნავს, რომ ამ მეთოდით შექმნილი ნაწილები ფაქტიურად შეესაბამება ტექნოლოგიას [1]. ასევე, ეს არის ერთ-ერთი ყველაზე სწრაფი პროცესი; მეტი რაოდენობის ნაწილების დამზადება შესაძლებელია მოკლე დროში. ვინაიდან ეს პროცესი ძალიან სწრაფია, ის შეიძლება საკმაოდ ეფექტური იყოს კომპანიებისთვის, რომლებსაც დიდი მოთხოვნილება აქვთ კონკრეტულ ნაწილზე.
მაგრამ რეაქტიული იონების ამოღებას ასევე აქვს პრობლემები. ეს არ არის შესაფერისი ყველა ტიპის მასალისთვის, რადგან ზოგიერთი სხვადასხვა სახის ვერ შეძლებს ამ ლაზერული ჭრის გაკეთებას. და ის მოითხოვს შესაბამის ტემპერატურასა და წნევას ადგილზე. ასევე საჭიროა სწორი პირობების არსებობა, წინააღმდეგ შემთხვევაში შესაძლოა ახალი პროცესიც არ მოხდეს. ერთადერთი ნაკლი ის არის, რომ შეიძლება ძვირადღირებული იყოს ოხრაციის სხვა პრაქტიკასთან შედარებით დადგენა, რამაც შეიძლება შეაჩეროს ზოგიერთი ბიზნესი ფხვნილის საფარით სარგებლობისგან.
მნიშვნელოვანი ადგილი უკავია პლაზმურ ქიმიას რეაქტიული იონური ოქროვის პროცესში. პლაზმის მიერ წარმოქმნილი ეს იონები იწვევს მასალის ქიმიურ ბმას დაშლას, რაც იწვევს ჭრას. მას შემდეგ, რაც ობლიგაციები გატეხილია, მასალა იშლება წვრილმან ნაჭრებად, რომლებიც შემდეგ გაფრინდება გაზის ნაკადით. რა მიიღება ქიმიური რეაქციის დროს, შეიძლება გავლენა იქონიოს გამოყენებული გაზის ტიპზე. მაგალითად, აზოტის გაზს შეუძლია უზრუნველყოს სუფთა გრავირება, რომელიც საშუალებას იძლევა ამოიღონ მასალები არასასურველი ნარჩენების დატოვების გარეშე, მაშინ როდესაც ჟანგბადის გაზი უზრუნველყოფს სხვადასხვა ტიპის ატრანს, რომელიც შეიძლება იყოს შესაფერისი მოთხოვნიდან გამომდინარე.
პროცესის ძლიერი კონტროლი გადამწყვეტია კარგი შედეგების მისაღწევად რეაქტიული იონური ოქროვით. ამისათვის საჭიროა მრავალი პარამეტრის გაზომვა, მათ შორის ტემპერატურა, წნევა, გაზის ნაკადი და იონური ენერგია. სტაბილური გარემო ხელს უწყობს თანმიმდევრულ, პროგნოზირებად შედეგებს ოქროვის ხაზში. თუ რომელიმე ამ ცვლადი არ არის ეფექტურად კონტროლირებადი, ამან შეიძლება გავლენა მოახდინოს საბოლოო პროდუქტზე. უფრო მეტიც, მასალის გაწმენდა და სათანადო მომზადება აუცილებელია სანამ დაიწყებთ ატრასს. თუ მთელი დრო დახარჯულია მოსამზადებელი მასალის მომზადებაზე, ამან უნდა გამოიწვიოს უკეთესი შედეგები.
ამის მაგალითია რეაქტიული იონური გრავირება, რომელიც ჩვეულებრივ გამოიყენება მიკროფაბ ინდუსტრიაში სხვადასხვა ტექნიკური გაჯეტების ძალიან მცირე ნაწილების შესაქმნელად. ერთ-ერთი რამ, რისთვისაც გრაფენი სასარგებლოა, არის პატარა ელექტრონული სქემების, სენსორების და მიკროფლუიდური მოწყობილობების წარმოება, რომლებიც აუცილებელია თანამედროვე ტექნოლოგიებისთვის. იგი ასევე გამოიყენება მიკროელექტრომექანიკური სისტემების (MEMS) დასამზადებლად, რომლებიც არის პატარა მოწყობილობები, რომლებსაც შეუძლიათ სიტყვასიტყვით დაინახონ, მოისმინონ, იგრძნონ და გადაადგილონ საგნები ერთ მოლეკულაში. ეს NG MEMS გამოიყენება მრავალ აპლიკაციაში: პატარა მოწყობილობებიდან, როგორიცაა სმარტფონები, უფრო დიდ ხელსაწყოებამდე და სამედიცინო აღჭურვილობამდეც კი. ამ პროცესებს შორის, რეაქტიული იონების ფორმირება მნიშვნელოვან როლს ასრულებს, რადგან მას შეუძლია შექმნას ასეთი მოწინავე ტექნოლოგიებისთვის საჭირო მცირე და ზუსტი მახასიათებლები.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
არა
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
