Minder-Hightech არის ნახევარგამტარების მწარმოებელი. ნახევარგამტარები კრიტიკული კომპონენტებია იმ დიდი ნაწილის, რაც ქმნის თანამედროვე ცხოვრებას, როგორიცაა მობილური ტელეფონები და კომპიუტერები. ახლა რამდენიმე ნაბიჯია ნახევარგამტარების შესაქმნელად, მაგრამ პირველი ნაბიჯი არის შაბლონის შექმნა ბრტყელ ზედაპირზე, რომელიც ცნობილია როგორც ვაფლი.
ამ ნიმუშის გასაფორმებლად ვაფლზე ვაფენთ სპეციალურ მასალას. ეს ნივთიერება ცნობილია როგორც ფოტორეზისტი. მას შემდეგ რაც დავდებთ ფოტორეზისტს, ვამჟღავნებთ მას სინათლეზე. სინათლის ქვეშ, ფოტორეზისტის არე გამაგრებულია და ძლიერდება. ჩრდილში მყოფი ადგილები რჩება რბილი და შეიძლება წაიშალოს.
ვაფლზე სასურველი ნიმუშის მიღების შემდეგ ფოტორეზისტი უნდა ჩამოიშოროთ იმ უბნებიდან, სადაც შემდგომ დამუშავებას ვასრულებთ. ეს არის სადაც პლაზმური გამწმენდი თამაშში შედის, სიტყვასიტყვით.
პლაზმაზე დაფუძნებული მეთოდები ფოტორეზისტის მოცილებისთვის
პლაზმა არის გაზის მდგომარეობა, რომელსაც აქვს ენერგიის მაღალი დონე, მასზე გამოყენებული მაღალი ელექტრული მუხტის გამო. და ეს გააქტიურებული გაზი ძალიან სასარგებლოა ვაფლის ზედაპირზე ფოტორეზისტის მოსაშორებლად. პლაზმის საშუალებით, ფოტორეზისტი შეიძლება გახდეს მტვრევადი და მისი გაწმენდა ბევრად უფრო ადვილი ხდება.
ჩვენ გვაქვს ორი განსხვავებული ტექნიკა პლაზმის გამოყენებით ფოტორეზისტის მოსაშორებლად: მშრალი ატრაქცია და ფერფლი.
მშრალი გრავირება: ამ ტექნიკაში, ფაქტობრივი პლაზმა, რომელიც ურთიერთქმედებს ფოტორეზისტთან. პლაზმა რეაგირებს ფოტორეზისტთან, სადაც ის კონტაქტს ამყარებს. ეს რეაქცია ანადგურებს ფოტორეზისტს და გარდაქმნის მას გაზად. ეს აირისებრი ნივთიერება შეიძლება შემდგომ გაიწმინდოს ვაფლის ზედაპირიდან, რის შედეგადაც გამოაშკარავდება ის ადგილები, რომლებიც ჩვენ გვჭირდება სუფთა და ხელმისაწვდომი პროგრესისთვის.
Ashing - ეს არის სხვა გზა ამის გასაკეთებლად, ამ მეთოდით გამოიყენება არარეაქტიული პლაზმა ფოტორეზისტებისთვის. პლაზმა ამსხვრევს ფოტორეზისტს წვრილ, პატარა ნაჭრებად. შემდეგ ეს პატარა ნაჭრები შეიძლება ჩამოიბანოთ ვაფლიდან. ეს მიდგომა შესაფერისია და იცავს ვაფლს არასაჭირო ფოტორეზისტის მოხსნისას.
რეაქტიული პლაზმის გამოყენება ფოტორეზისტის ამოღების მიზნით
პლაზმური ზედაპირის მკურნალობა არის ძალიან ძლიერი ხელსაწყო, რომელიც გვეხმარება ვაფლისგან ყველაზე მკაცრი ფოტორეზისტის ამოღებაში. პლაზმა თავისთავად წარმოუდგენელია, მაგრამ საუკეთესო ნაწილი ის არის, რომ ჩვენ შეგვიძლია გადავაქციოთ ის სუპერ შერჩევით აგენტად. ეს ნიშნავს, რომ მისი მორგება შესაძლებელია მხოლოდ სპეციალურად რეაგირებისთვის ფოტორეზისტთან და არა მის ქვემოთ არსებულ სხვა მასალებთან.
მაგალითად: თუ ვაფლზე გვაქვს ნიმუში, სადაც მეტალი მოთავსებულია ფოტორეზისტის ქვეშ, შეგვიძლია გამოვიყენოთ პლაზმის ტიპი, რომელიც რეაგირებს მხოლოდ ფოტორეზისტთან. ამრიგად, ჩვენ შეგვიძლია მოვხსნათ ფოტორეზისტი მის ქვეშ მყოფი ლითონის დაზიანების გარეშე. ახლა, ეს ძალიან მნიშვნელოვანია, რადგან ჩვენ გვჭირდება ვაფლის ყველა ნაწილი, რათა შევინარჩუნოთ მისი მთლიანობა პროცესის განმავლობაში.
პლაზმური ტექნიკა ფოტორეზისტის ამოღების მიზნით
Minder-Hightech იყენებს ახალ ეპოქის პლაზმურ ტექნოლოგიას ჩვენი ვაფლიდან ფოტორეზისტის ამოღებაში. ეს საშუალებას გვაძლევს შევქმნათ უშეცდომო ნახევარგამტარები, რომლებიც მაღალი ხარისხისაა.
სწრაფი, თქვენს საჭიროებებზე რეგულირებადი ჩვენი სისტემები შექმნილია იმისთვის, რომ შეუფერხებლად ინტეგრირდეს თქვენს სამუშაო პროცესზე. ეს მიუთითებს იმაზე, რომ ჩვენ შეგვიძლია მოკლედ მოვხსნათ ფოტორეზისტი. და რადგან ჩვენ სწრაფები ვართ, ჩვენ ვაკმაყოფილებთ ჩვენი მომხმარებლების სრულ მოთხოვნას, ვაწვდით დიდ პროდუქტებს, როცა მათ სჭირდებათ.
მაგრამ ჩვენი პლაზმური სისტემები ასევე ძალიან ზუსტია მათი ეფექტურობის გარდა. რასაც ეს სიზუსტე გვაძლევს არის მხოლოდ ფოტორეზისტის ამოღების შესაძლებლობა. ჩვენი ტექნოლოგია ხელს უშლის ვაფლის ყველა სხვა ნაწილის დაზიანებას ჩვენი პროცესით და ჩვენ ამის საშუალება არ გვაქვს. ეს მეთოდური პრაქტიკა კიდევ უფრო არსებითი ხდება იმ ნახევარგამტარების ხარისხისთვის, რომელსაც ჩვენ იქ ვაწარმოებთ.
პლაზმით გამოწვეული ფოტორეზისტის მოცილება ნახევარგამტარებზე
ასე რომ, მოკლედ, პლაზმა არის სუპერ ძალა, რომელიც გვაძლევს საშუალებას ვაფლის ზედაპირიდან ზოგიერთი ფოტორეზისტი ამოიღოთ უაღრესად ეფექტური გზით. ჩვენ, Minder-Hightech-ში, ვიყენებთ უახლეს და საუკეთესო პლაზმურ ტექნოლოგიას ზუსტად ნულოვანი ხარისხის ნახევარგამტარების წარმოებისთვის. რაც შეეხება პლაზმურ სისტემებს, ჩვენი გადაწყვეტილებები დამზადებულია სიჩქარის სიზუსტით დასაბალანსებლად, მაგრამ მაინც ძალიან ეფექტური. ეს ნიშნავს, რომ შევძლოთ ჩვენი მომხმარებლების მოთხოვნების დაკმაყოფილება და ასევე ხარისხიანი პროდუქციის უშეცდომოდ მიწოდება. ეს იხვეწება, რათა გააუმჯობესოს ნახევარგამტარების პროცესი, როგორც ჩვენ ვიყენებთ პლაზმის მოცილება ტექნოლოგია, რომელიც ჩვენს ნახევარგამტარებს მაქსიმალურად კარგს ხდის ყველა სახის ელექტრონული მოწყობილობისთვის საიმედო გაჯეტებად.