სახელმძღვანელო სწრაფი თერმალური გამრავლება / RTP სისტემა

RTP მართვის მოწყობილობები საბრძოლო სემიკონდუქტორებისთვის 、SlC、LED და MEMS

ინდუსტრიის აპლიკაციები

ადამიანი, ნიტრიდის ზრდა

ჰაერული კონტაქტის სწრაფი ალოი

სილიციდის ალოის გამრავლება

ადამიანის გამრავლება

გალიუმ არსენიდის პროცესი

სხვა სწრაფი გათბობის პროცესები

მახასიათებელი:

ინფრაწყალი ჰალოგენის ლამპის ტუბის გათბობა, გამზარი გამოყენებით გამყავი;

PlD ტემპერატურის კონტროლი ლამპის ძალისთვის, რომელიც შეიძლება ზუსტად კონტროლიროს ტემპერატურის ზრდა, დარწმუნებული კარგი განახლებადობა და ტემპერატურის ერთობა;

მასალის შესავალი დაყენებულია WAFER-ის ზედაპირობაზე, რათა არ წარმოქმნას გამყავი წერტილი ანელირების პროცესში და დარწმუნებული იყოს პროდუქტის კარგი ტემპერატურის ერთობა;

შეიძლება აირჩიოს ორი მეთოდი: ატმოსფერული და ვაკუუმური გამოსახატვითი მეთოდები, საწინააღმდეგოდ მოსამზადებლად და გამოსასაფეხურად სხეული;

ორი პროცესური გაზის სეტი არის სტანდარტული და შეიძლება განვითაროს მაქსიმუმ 6 პროცესურ გაზის სეტამდე;

გაზობრივი ერთი ქრისტალური სილიცის ნიმუშის მაქსიმალური ზომა არის 12 ინჩი (300x300 მმ);

სამი საბეჭდი ზომა: საბეჭდი ტემპერატურის გახსნის დაცვა, ტემპერატურის კონტროლის გახსნის დანიშნულების დაცვა და აპარატის ექსტრა გაჩერების საბეჭდი დაცვა მთლიანად განხორციელებულია, რათა დარწმუნდეს ინსტრუმენტის საბეჭდი დაცვა;

ტესტირების რეპორტი:

20 ხარის მრავალწევრების ექვივალენტობა:

20 ხარი ტემპერატურის კონტროლი 850 ℃-ზე

20 საშუალო ტემპერატურის ხარის ექვივალენტობა

1250 ℃ ტემპერატურის კონტროლი

RTP ტემპერატურის კონტროლი 1000 ℃ პროცესი

960 ℃ პროცესი, ინფრაწითელი პირომეტრის მიერ კონტროლიруლი

LED პროცესის მონაცემები

RTD ვაფერი არის ტემპერატურის სენსორი, რომელიც იყენებს განსაკუთრებულ ტექნოლოგიებს, რათა ჩაასადეგინოს ტემპერატურის სენსორები (RTDs) ვაფერის ზედა ზედაპირზე კონკრეტულ ადგილებში, რათა შეძლოს ვაფერის ზედა ზედაპირის ტემპერატურის რეალური დროის ზომის შესახებ.

ვაფერის კონკრეტულ ადგილებზე რეალური ტემპერატურის ზომები და ვაფერის საერთო ტემპერატურის განაწილება შეიძლება მიიღოს RTD ვაფერის მიერ; ის გამოიყენება ასევე ვაფერებზე ტრანსიენტური ტემპერატურის ცვლილებების უწყვეტ მონიტორингისთვის სიათლის გამოსავალების პროცესში.