MDLB-MC200 ფოტომასკის განსაფლურებელი

Ნომერი

Პროექტი

Სპეციფიკაციები

Შენიშვნები

1

장비 개요

Აპარატის სახელი: ფოტომასკის გასუფთავების მაशინა

Აპარატის მოდელი: MDLB-MC200

Საერთო ზომები (ახალი): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

Საერთო წონა (ახალი): 300KG

Ოპერაციის მაგიდის სიმაღლე: 900 ± 50mm

Სუბსტრატის ზომის სპეციფიკაცია: შესაბამისია 2/4/5/6/8 ინჩის კვადრატული მასკის დაფა

Პროცესის მომხმარებელი მომენტი: ხელით ვეიფერის დამატება → გასუფთავება (ჩიხი, გასუფთავების სა镕ი → მაღალ წ압ის წყალი → მეგასონიკის წყალი → დეიონიზაციის წყალი → აზოტის გასუფთავება) → ხელით ვეიფერის შემოღება

Აპარატურის ტიპი: ნახalf-ავტომატი, ხელით ჩამატება და გამოტანა

2

Აპარატურის კონსტრუქცია

Ქვეშავი: რეზისტენტული წყლის მაღალი, გარე, კოროზიის წინააღმდეგი, მარტივი მოხურვა

Მოხურვის აულა: PP, გარე, კოროზიის წინააღმდეგი, მარტივი მოხურვა

Მაგიდა: PU/PFA მაგიდა გამოყენებულია

Მუშაობის სითხი: კოროზიის წინააღმდეგი ყვითელი სითხის შესანახად

Კარის გახსნა: ორი კარი და კარის გახსნის ალარმის ფუნქცია

Ტაქტის ეკრანი: 10 ინჩიანი სრულყოფილი ტაქტის ეკრანი * 1

FFU: კლასი 100

Წყლის გამოსვლის ქვედა მხარე: ხელმისაწვდომი

3

Მაღალი სიზუსტის სერვო ძრავა

Რაოდენობა: 1

Სიჩქარე: -3000~3000 რpz

Ცხარე მუშაობა

Მაქსიმალური გაჩერება ღირვილის როტაციასთან: 3000 რpz/წ

Ცხარე მუშაობა

Სიჩქარის ზუსტობა: ± 1 რpz (50 რpz~3000 რpz)

Სიჩქარის გარეშე: 1 რpz

4

Ავტომატური გადაკეთვის ხელი

Რაოდენობა: 3

Გადაკეთვის ხელის სიჩქარე: 1~30 °/წ

5

Გასასწრube ერთეული

Გასუფთავების როტორი: 1 დანიონიზებული წყალის კანალი, 1 აზოტის გაზის კანალი

Მეგასონიკის როტორი: 1 მეგასონიკი, 1 მაღალი წნევის წყალი

Შუქის როტორი: 1 შუქი, 1 წყალი, 1 გასუფთავების محلولი

Გასუფთავების მეთოდი: ავტომატური გასუფთავება

Დანიონიზებული წყალის ჩატარების ფუნქცია: ხელმისაწვდომი

Პირველი გასუფთავება (დანიონიზებული წყალი): 1 მარშრუტი

Მოწოდების მეთოდი: გასუფთავების محلولი: დიაფრაგმული პუმპა

Დანიონიზებული წყალი: მწარმოებელი გადაწყვეტილია პირდაპირ

Წნევის ტანკი თოკის დეტექტორით

6

Შუქი შუქი

Რაოდენობა: 1 (თვისეული გახმოვანის ფუნქციას შეიცავს)

Სიჩქარე: მაქსიმუმ 1000 რ.∕წ, რეგულირებადი სიჩქარე

Სიმაღლე ხელით რეგულირებადი

7

Ტვირთის ერთიანი

Რაოდენობა: 5

Მასალა: PPS+რკინაკის მასალა

Ზომები: შესაბამისი 2/4/5/6/8 ინჩიანი კვადრატული მასკის პლატებისთვის

Სუბსტრატის დაყენების მეთოდი: კლოვენ დაყენების მეთოდი

8

Კონტროლის სისტემა

Კონტროლის სისტემა: PLC კონტროლის გამოყენება

Პროგრამა: 100 ჯგუფი, თითოეულ ჯგუფი შედგება 100 ნაბიჯისგან, მაქსიმუმ 3000.0 წამიანი ერთ-ერთი ნაბიჯისთვის

Გარდასვლა: 0.1S

Პროგრამა შეიძლება შეინახო, გაიკითხო, ცვლილება გაიარო და წაიშალო

Დაყოვნეთ შифრირების უფლებები: მოწყობილობებისთვის, ტექნიკურ სპეციალისტებისთვის, ადმინისტრატორებისთვის და წარმოებლებისთვის შესაბამისად

Სიგნალური Türi: წითელი, ყვითელი, მწვანე 3 ფერი